半导体领域用石墨材料表面防腐蚀复合涂层制备方法

    公开(公告)号:CN118256850A

    公开(公告)日:2024-06-28

    申请号:CN202311866332.3

    申请日:2023-12-29

    发明人: 吕孝永

    摘要: 本发明公开了一种半导体领域用石墨材料表面防腐蚀复合涂层制备方法,涉及石墨材料领域,旨在提高石墨材料防腐蚀能力,技术方案为:步骤一、对石墨材料表面喷砂处理;步骤二、清洗喷砂后的石墨材料表面;步骤三、烘干石墨材料表面;步骤四、在石墨材料的表面依次真空等离子喷涂中间过渡层涂层和面层涂层,中间过渡层涂层材质为碳化钽、石墨复合材料,面层涂层材质为碳化钽;步骤五、清洗喷涂后的石墨材料表面涂层;步骤六、烘干石墨材料表面涂层。本发明的半导体领域用石墨材料表面防腐蚀复合涂层制备方法能够有效避免石墨材料在侵蚀性环境下发生腐蚀,有效提高石墨部件的使用寿命并提高集成电路的良率。

    一种PVD镀膜用Ag管靶材制备方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118166317A

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN202410225090.8

    申请日:2024-02-29

    摘要: 本发明公开了一种PVD镀膜用Ag管靶材制备方法,涉及溅射镀膜领域,旨在解决喷涂后的靶材密度低,喷涂过程中Ag收集难度大等问题,方案为S1:将Ag纳米粉末、分散剂、粘接剂和溶剂混合均匀,然后进行球磨后得到浆料;S2:将所述浆料进行喷雾造粒,得到Ag粉体;S3:将所述Ag粉体进行烧结,得到Ag烧结粉体;S4:将背管进行表面粗化处理,然后采用火焰喷枪将所述Ag烧结粉体热喷涂于背管上,在真空环境下,将所述Ag烧结粉体热喷涂于背靶上,得到Ag靶。本发明的一种PVD镀膜用Ag管靶材制备方法工艺操作简单、可控、稳定性高、成本较低的优点,靶材纯度高、密度高、气体含量低,适合大批量生产。

    用于处理柔性衬底的方法和用于实施方法的真空处理系统

    公开(公告)号:CN114729444B

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN202080079254.0

    申请日:2020-11-07

    摘要: 本发明解决的问题涉及用于处理柔性衬底(18)的方法和用于实施用于处理柔性衬底(18)的方法的真空处理系统,提供了能够实现产生足够的质量的可靠和均匀处理的解决方案。通过该方法解决了所述问题,柔性衬底(18)为柔性矩阵状或格子状构造材料,柔性衬底(18)的第一层在第一传输方向(64)上传输,并且柔性衬底(18)的至少一个第二层在相反的第二传输方向(65)上平行于第一层并且与第一层紧密间隔地传输穿过可以排空的处理区域中的自由区域(26),其中至少一个处理介质(11)的至少一种可用通量(13)同时穿透柔性衬底(18)的第一层和第二层,同时它们在相反方向上传输穿过自由区域(26)。通过该布置解决了该问题,布置辊组(20)和辊组(21),在每个辊组(20、21)中布置用于使柔性衬底(18)偏转的多个较小的辊(24)和多个较大的辊(23),包括处理介质(11)的自由区域(26)布置在辊组(20)和辊组(21)之间,柔性衬底(18)在相反方向上传输穿过自由区域并且不改变方向,并且柔性衬底(18)的至少两个紧密间隔的层在传输方向(64)和传输方向(65)上在相反方向上传输。

    一种铁素体或马氏体钢表面改性方法

    公开(公告)号:CN117051352A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202311087100.8

    申请日:2023-08-28

    摘要: 本发明公开了一种铁素体或马氏体钢表面改性方法,包括以下工作步骤:步骤一:对高熵合金粉末的处理;步骤二:对基体表面进行处理;步骤三:对基体进行进一步处理;步骤四:对基体表面进行粗糙化处理;步骤五:高熵合金涂层的制备;步骤六:对高熵合金涂层的进一步处理。本发明的有益效果是,本发明是主要利用了电子束毛化、等离子喷涂、激光重熔等技术,在铁素体/马氏体钢表面形成高熵合金涂层,从而提高钢的硬度以及抗氧化性,表面涂层致密且均匀,裂纹与孔隙很少,成分偏析很少,与铁素体/马氏体钢基体为冶金结合,结合强度非常高,不易剥落。

    一种高温环境障涂层粘结层的喷涂工装及其喷涂方法

    公开(公告)号:CN116463580A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202211001236.8

    申请日:2022-08-19

    摘要: 本发明公开了一种高温环境障涂层粘结层的喷涂工装,其特征在于:包括基材加热炉,基材加热炉内安装有基材,基材加热炉的两侧安装有氩气预热炉,氩气预热炉内安装有氩气管道,氩气管道呈来回蜿蜒盘旋的设置在氩气预热炉内,基材加热炉的一侧安装有等离子喷枪。本发明与传统大气等离子喷涂的主要区别:传统的大气等离子喷涂基体为冷态,涂层粉末在飞行至基体前为热态,在飞行至基体表面后瞬间冷却。本发明在喷涂过程中,将基材保持为热态,涂层粉末飞行至基材后呈现缓慢冷却的状态,减少了热应力。更进一步的,为了保证基材在喷涂过程中不被氧化,在基材周围进行氩气保护,采用本发明喷涂的涂层,其结合力可达40MPa,达到普通喷涂方式的2倍以上。

    金属涂层在铝及铝合金餐饮器具上的应用

    公开(公告)号:CN112831745B

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN202011623145.9

    申请日:2020-12-30

    申请人: 王炯

    发明人: 王炯

    摘要: 本发明涉及粉末冶金技术领域,尤其涉及金属涂层在铝及铝合金餐饮器具上的应用。所述金属涂层由镍金属涂层、复合金属涂层、银或钛金属涂层组成。本发明金属涂层具有耐高温的特点,耐热温度>750℃,不会因烹饪食物事过度加热而使涂层收到破坏。本发明金属涂层的附着力等级高、摩擦系数低,既不容易从容器上剥脱,又能满足不粘锅的性能特点。本发明金属涂层导热性能好,不会因涂层的厚度影响总体的导热效率,从而发挥铝制容器的导热特点。本发明金属涂层具有一定的耐酸性,总迁移量满足GBT4806.10‑2016的要求。

    一种抗磨性的耐热钢
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112410719B

    公开(公告)日:2023-01-20

    申请号:CN202011124676.3

    申请日:2020-10-20

    发明人: 谢枫 杨胜

    摘要: 本发明涉及钢材性能研究技术领域,公开了一种抗磨性的耐热钢,采用等离子喷涂技术将增强颗粒材料喷涂至钢材表面,得到厚度在30‑35微米之间的涂层,在钢材表面形成一层硬度高,耐高温抗氧化的耐磨层,具有很高的强度和韧性等综合力学性能,防止钢材件整体发生脆断,还能有效阻止腐蚀介质的侵蚀,该耐磨层能够有效防止钢材在高温工作条件下磨损导致颗粒脱落,氧化,不会因为热胀系数突变导致裂纹产生,成本低,寿命长,性能优于高铬铸钢材料,并且避免了现有技术中采用高铬铸钢在热环境工作下的耐磨性降低引发黏连事故的问题。

    一种抗气蚀性能优异的NiTi-TiB2复合涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN113088865B

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202110299174.2

    申请日:2021-03-21

    摘要: 本发明公开了一种抗气蚀性能优异的NiTi‑TiB2层状复合涂层及其制备方法。所述涂层可以发挥NiTi合金的超弹性与TiB2陶瓷复高硬度、高耐磨性的优点,而NiTi弹性好可以抵消TiB2陶瓷相脆性大的缺点。在氩气保护环境下,将粉末与丝材依次送入等离子焰流中,喷涂至基体表面制备NiTi‑TiB2层状复合涂层。其中层状复合涂层喷涂参数为:电流400‑600A,电压50‑70V,氩气流量30‑40SLPM,氢气流量6‑12SLPM,喷涂距离:80‑150mm,送丝速度:3‑5m/min,送粉率:20‑40g/min。所制备的涂层TiB2部分的体积比在10%‑50%之间,NiTi部分的体积比在50%‑90%之间。制备的涂层表现出较为优异的抗空蚀性能,适合用作水轮机的涡轮叶片、泵、阀门等过流件的表面防护材料。

    一种飞灰中污染物的去除及资源化方法

    公开(公告)号:CN112792099B

    公开(公告)日:2022-10-11

    申请号:CN202011600066.6

    申请日:2020-12-29

    发明人: 牛连勇

    摘要: 本发明提供了一种可在高盐和高氯水体中同步高效去除有机污染物和重金属离子的电化学氧化还原系统,并以此为基础形成整套高效飞灰资源化回收的方法,属于环境污染控制工程技术领域。本发明方法中结合淬火法(制备中间层)和等离子喷涂法(制备超薄催化层)制备具有钌‑铱中间层的Ti4O7阳极,与哈氏合金电极(阴极)构建电化学氧化还原体系,可在高盐和高氯环境下降解矿化飞灰水洗液中的二噁英等有机污染物,并在阴极通过还原作用固定重金属离子,达到降低水洗液TOC和重金属含量的目的。该方法中涉及电极制备方法简便、成本低廉、易于规模化生产。且对飞灰的无害化及资源化方法设计合理,各组分回收利用率高。