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公开(公告)号：CN106461458A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580032136.3
申请日：2015-04-17
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
CPC classification number: G02B21/0048 , G01J3/06 , G01J3/44 , G01N21/65 , G01N2021/656 , G02B21/0032 , G02B21/0076 , G02B26/101 , G02B26/105
Abstract: 本发明涉及一种光束扫描显微镜检查设备，包括适配于发射光束(2)的光源和适配于将所述光束(2)聚焦在物平面(11)中的显微镜物镜(1)。根据本发明，所述显微镜检查设备包括：串联设置在所述光源和所述显微镜物镜(1)之间的所述光束(2)的光路上的第一和第二反射光学装置(M-X1，M-X2)，适配于根据第一预定旋转角度(RX1)倾斜所述第一反射光学装置(M-X1，M-XY1)的第一角度倾斜装置(21，25)，以及适配于根据第二旋转角度(RX2)倾斜所述第二反射光学装置(M-X2，M-XY2)的第二角度倾斜装置(22，26)，以如此方式通过围绕所述显微镜物镜(1)的光瞳的中心(O)枢转而成角度地倾斜所述光束(2)的轴(12)。
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公开(公告)号：CN106461458B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201580032136.3
申请日：2015-04-17
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
Abstract: 本发明涉及一种光束扫描显微镜检查设备，包括适配于发射光束(2)的光源和适配于将所述光束(2)聚焦在物平面(11)中的显微镜物镜(1)。根据本发明，所述显微镜检查设备包括：串联设置在所述光源和所述显微镜物镜(1)之间的所述光束(2)的光路上的第一和第二反射光学装置(M‑X1，M‑X2)，适配于根据第一预定旋转角度(RX1)倾斜所述第一反射光学装置(M‑X1，M‑XY1)的第一角度倾斜装置(21，25)，以及适配于根据第二旋转角度(RX2)倾斜所述第二反射光学装置(M‑X2，M‑XY2)的第二角度倾斜装置(22，26)，以如此方式通过围绕所述显微镜物镜(1)的光瞳的中心(O)枢转而成角度地倾斜所述光束(2)的轴(12)。
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公开(公告)号：CN103261857B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201180061382.3
申请日：2011-12-20
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
Abstract: 本发明涉及用于拉曼光谱学以及用于观察样品（7）的方法和光学设备，所述设备包括光学装置和光学分离装置，所述光学装置用于叠加具有光谱带B0的激励激光束（1）和具有光谱带BV的观察束（2）以便形成组合的激励和观察入射束，所述光学分离装置设置在来自所述样品（7）上的散射的收集束的路径中并且包括能够将所述收集束空间分成第一次级束和两个三级束的第一滤波装置（12）和第二滤波装置（13），所述次级束和所述三级束中的每一个分别包括选自所述激光的光谱带B0、所述观测束的光谱带BV以及所述拉曼散射束的光谱带BR的光谱带。
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公开(公告)号：CN103261857A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201180061382.3
申请日：2011-12-20
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
Abstract: 本发明涉及用于拉曼光谱学以及用于观察样品（7）的方法和光学设备，所述设备包括光学装置和光学分离装置，所述光学装置用于叠加具有光谱带B0的激励激光束（1）和具有光谱带BV的观察束（2）以便形成组合的激励和观察入射束，所述光学分离装置设置在来自所述样品（7）上的散射的收集束的路径中并且包括能够将所述收集束空间分成第一次级束和两个三级束的第一滤波装置（12）和第二滤波装置（13），所述次级束和所述三级束中的每一个分别包括选自所述激光的光谱带B0、所述观测束的光谱带BV以及所述拉曼散射束的光谱带BR的光谱带。
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