-
公开(公告)号:CN101174630A
公开(公告)日:2008-05-07
申请号:CN200710184871.3
申请日:2007-10-30
申请人: 恩益禧电子股份有限公司
IPC分类号: H01L27/105 , H01L23/522
CPC分类号: H01L27/105 , H01L27/0207 , H01L27/10897 , H01L27/11 , H01L27/1116 , Y10S257/903
摘要: 提出了一种混合安装了DRAM和SRAM的半导体器件。DRAM和SRAM具有堆叠型结构,其中在电容元件下形成位线。在形成DRAM的电容下电极的层中或所述层下、以及在形成位线的层中或所述层上形成SRAM的交叉耦合连接。例如,在与电容接触部相同的层中形成SRAM的交叉耦合连接。
-
公开(公告)号:CN1127768C
公开(公告)日:2003-11-12
申请号:CN99110921.X
申请日:1999-06-15
申请人: 恩益禧电子股份有限公司
IPC分类号: H01L27/11 , H01L21/8244
CPC分类号: H01L27/11 , H01L23/522 , H01L23/5226 , H01L23/5228 , H01L23/5286 , H01L23/53223 , H01L27/1112 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 提供一种半导体存储器,其中不需要在SRAM的布线层之间的接触孔处的布图裕量,可减小在位线的布线电容,并可高速地进行存储处理。由一对驱动晶体管、一对转移晶体管、高电阻负载、一对位线、VCC线和GND线构成该SRAM。在第一层形成各晶体管的栅电极和字线,在第二层形成高电阻负载,在第三层形成VCC线和GND线,和第四层形成位线。连接高电阻负载与晶体管的源/漏区的共用接触孔不贯穿其它导电层。因此,不再需要在共用接触孔与其它导电层之间的布图裕量,并由此可减小单元尺寸。
-