集成光谱单元
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109983313A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201780037361.5

    申请日:2017-06-15

    申请人: 斯维尔系统

    IPC分类号: G01J3/02 G01J3/26

    摘要: 本公开的方面涉及集成光谱单元,其包括在第一基板内制造的微机电系统(MEMS)干涉仪以及在第二基板上集成的光重定向结构,其中第二基板被耦合到第一基板。光重定向结构包括至少一个镜,该至少一个镜用于接收在相对于第一基板的面外方向上传播的输入光束以及将输入光束重定向到朝向MEMS干涉仪的相对于第一基板的面内方向。

    集成光谱单元
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109983313B

    公开(公告)日:2021-12-31

    申请号:CN201780037361.5

    申请日:2017-06-15

    申请人: 斯维尔系统

    IPC分类号: G01J3/02 G01J3/26

    摘要: 本公开的方面涉及集成光谱单元,其包括在第一基板内制造的微机电系统(MEMS)干涉仪以及在第二基板上集成的光重定向结构,其中第二基板被耦合到第一基板。光重定向结构包括至少一个镜,该至少一个镜用于接收在相对于第一基板的面外方向上传播的输入光束以及将输入光束重定向到朝向MEMS干涉仪的相对于第一基板的面内方向。