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公开(公告)号：CN107238733A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201710178412.8
申请日：2017-03-23
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/065 , G01Q60/00 , G01B21/30 , G01Q20/02
摘要： 本发明提供扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法，其在探针接触的试样表面是斜面的情况下能改善检测出探针与试样表面的接触的压接力的值相比于水平面产生变化的现象。该扫描型探针显微镜使探针与试样表面接触，利用上述探针扫描上述试样表面，具备：悬臂，其在前端具有上述探针；位移检测部，其检测上述悬臂的挠曲量和扭曲量；以及接触判定部，其根据由上述位移检测部检测到的无变形的悬臂中的全方位的挠曲量和扭曲量，判定上述探针对于上述试样表面的一次接触。
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公开(公告)号：CN110361565B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN201910226947.7
申请日：2019-03-25
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： G01Q10/00
摘要： 本发明提供扫描型探针显微镜及其扫描方法。在进行间歇测定方法时，避免探针和试样表面相互成为过负荷，并且缩短试样表面的凸凹形状的测定时间。扫描型探针显微镜具有安装有探针的悬臂，通过使所述探针与试样表面间歇地接触而对所述试样表面进行扫描，其中，所述扫描型探针显微镜具有控制装置，该控制装置进行使所述探针和所述试样表面接触的第1动作、以及在所述第1动作后使所述探针和所述试样表面分离的第2动作，所述控制装置通过使所述悬臂进行热变形来执行所述第2动作。
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公开(公告)号：CN113155080A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110422491.9
申请日：2018-03-06
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
摘要： 本发明提供扫描型探针显微镜及其探针扫描方法。扫描型探针显微镜使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有：悬臂，在其前端具有所述探针；驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动作；判定部，其在所述分开动作中根据所述悬臂的振动的振幅的变化或所述振动的振动频率的变化判定所述探针相对于所述试样表面的分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
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公开(公告)号：CN108663010A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810182105.1
申请日：2018-03-06
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
CPC分类号： G01Q10/045 , G01Q60/34 , G01B21/30 , G01Q70/00
摘要： 本发明提供扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法，其能够提高试样表面的凸凹形状的测定效率。该扫描型探针显微镜具有：悬臂，在其前端具有探针；驱动部，其从所述探针与试样表面接触的状态起以超过所述悬臂的响应速度的速度进行使所述试样向从所述探针分开的方向动作的分开动作；判定部，其在所述分开动作中，在该悬臂的(包含高阶频率的)谐振频率下检测到所述悬臂的规定振幅的振动的情况下，判定为所述探针相对于所述试样表面分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
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公开(公告)号：CN115752351A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211464852.7
申请日：2018-03-06
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
摘要： 本发明提供扫描型探针显微镜，其使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有：悬臂，在其前端具有所述探针；驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动作；激振部，其在所述分开动作中使所述悬臂以谐振频率进行激振；判定部，其在所述分开动作中，根据所述悬臂在挠曲方向或扭曲方向上的振动的相位与通过所述激振部进行激振的谐振频率的相位之间的相位差，判定所述探针相对于所述试样表面的分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
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公开(公告)号：CN108663010B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN201810182105.1
申请日：2018-03-06
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
摘要： 本发明提供扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法，其能够提高试样表面的凸凹形状的测定效率。该扫描型探针显微镜具有：悬臂，在其前端具有探针；驱动部，其从所述探针与试样表面接触的状态起以超过所述悬臂的响应速度的速度进行使所述试样向从所述探针分开的方向动作的分开动作；判定部，其在所述分开动作中，在该悬臂的(包含高阶频率的)谐振频率下检测到所述悬臂的规定振幅的振动的情况下，判定为所述探针相对于所述试样表面分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
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公开(公告)号：CN101995416B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201010258421.6
申请日：2010-08-12
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
摘要： 提供一种软化点测定装置及热传导测定装置，以在使用具有发热部的悬臂来对样品局部加热以测定样品的软化点或热传导时，通过仅在探针与样品的接触部进行热交换，不给测定点的周边部带来热影响，而可以进行仅在接触部的软化点测定及热传导测定。在以探测显微镜为基础的局部的软化点测定装置及热传导测定装置中，通过使探针和样品面的环境为1/100气压(103Pa)以下、或者将探针侧面由绝热材料涂敷至热逃逸为1/100以下的厚度，降低来自探针侧面的热逃逸，仅在大约探针与样品面的接触部进行热交换。
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公开(公告)号：CN113155080B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202110422491.9
申请日：2018-03-06
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
摘要： 本发明提供扫描型探针显微镜及其探针扫描方法。扫描型探针显微镜使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有：悬臂，在其前端具有所述探针；驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动作；判定部，其在所述分开动作中根据所述悬臂的振动的振幅的变化或所述振动的振动频率的变化判定所述探针相对于所述试样表面的分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
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公开(公告)号：CN104048988B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201410217170.5
申请日：2010-08-12
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
摘要： 提供一种软化点测定装置及热传导测定装置，以在使用具有发热部的悬臂来对样品局部加热以测定样品的软化点或热传导时，通过仅在探针与样品的接触部进行热交换，不给测定点的周边部带来热影响，而可以进行仅在接触部的软化点测定及热传导测定。在以探测显微镜为基础的局部的软化点测定装置及热传导测定装置中，通过使探针和样品面的环境为1/100气压（103Pa）以下、或者将探针侧面由绝热材料涂敷至热逃逸为1/100以下的厚度，降低来自探针侧面的热逃逸，仅在大约探针与样品面的接触部进行热交换。
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公开(公告)号：CN105320152B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201510397370.8
申请日：2015-07-08
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： G05D3/12
摘要： 本发明提供一种三维微动装置，其利用在相比于移动体的微动相对不动的基体部或粗动部上固定的移动量检测单元直接检测固定有悬臂等移动体的固定部件的三维位置，由此能够简易且正确地测定固定部件以至移动体的位置。该三维微动装置(200A)具备：移动体(1)；固定部件(101)，所述移动体固定在该固定部件上；三维微动部(111)，所述固定部件固定在该三维微动部上，该三维微动部能够隔着该固定部件使移动体三维地微动；基体部(13)，三维微动部固定在该基体部上；以及移动量检测单元(130)，其固定于基体部来检测固定部件的移动量。
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