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公开(公告)号：CN106255890A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201580022722.X
申请日：2015-03-10
申请人： 欧朋艾欧拉普斯有限公司
发明人： 安德鲁·詹姆斯·理查森
摘要： 一种用于使用SICM而检查浸在电解质溶液中的样本的表面的方法，包括：控制浸在电解质溶液中的第一电极与第二电极之间的电位以在电解质溶液中诱发离子电流，第一电极的浸没部分包含在微量移液管中，并且第二电极处于微量移液管外部；在控制微量移液管相对于支撑样本的平台移动的同时记录离子电流；以及从离子电流和校准数据确定样本的表面高度轮廓。所述电位可以根据扩频调制信号来控制。所述微量移液管移动可以是根据AC模式式样，其中AC模式式样具有大于微量移液管、第一电极以及被配置成控制所述微量移液管的z轴移动的第一压电致动器的组装件的谐振频率的调制频率。
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公开(公告)号：CN105320152A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510397370.8
申请日：2015-07-08
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： G05D3/12
摘要： 本发明提供一种三维微动装置，其利用在相比于移动体的微动相对不动的基体部或粗动部上固定的移动量检测单元直接检测固定有悬臂等移动体的固定部件的三维位置，由此能够简易且正确地测定固定部件以至移动体的位置。该三维微动装置(200A)具备：移动体(1)；固定部件(101)，所述移动体固定在该固定部件上；三维微动部(111)，所述固定部件固定在该三维微动部上，该三维微动部能够隔着该固定部件使移动体三维地微动；基体部(13)，三维微动部固定在该基体部上；以及移动量检测单元(130)，其固定于基体部来检测固定部件的移动量。
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公开(公告)号：CN101603911B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200910100818.X
申请日：2009-07-13
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G01N13/16
摘要： 本发明公开了一种大样品大范围高分辨原子力显微检测方法及装置。采用压电陶瓷探头扫描和步进电机大范围移动相结合的方法，同时设计了开放式的样品台，实现大型超精密工件的微纳米检测。它具有激光器、光路跟踪透镜、压电陶瓷、微悬臂探针及光电探测元件组成的大范围高分辨扫描探头系统和对大尺寸样品进行大范围移动的X、Y向步进电控平移台以及光学平台、扫描成像及反馈控制系统。本发明的优点是克服了常规AFM仅适用于小样品的小范围检测的局限性，设计了简单实用的透镜系统解决探针大范围扫描时的光路跟踪问题，采用开放式的样品台和二维步进电机，可对大型超精密工件样品，在保持AFM的超高分辨率下实现任意区域大范围扫描检测。
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公开(公告)号：CN106796246A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580021412.6
申请日：2015-02-24
申请人： 布鲁克纳米公司
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/065 , G01Q30/06
摘要： 一种扫描探针显微镜(SPM)系统及相关方法。该SPM系统具有适于与样本的纳米级特征交互并在目标区域内扫描以产生那个目标区域的三维图像的探针，该系统根据样本特定坐标系来保持样本的多个关注特征的位置信息，其中SPM系统被配置为根据SPM坐标系来调整探针相对于样本的定位，SPM系统进一步被配置为通过确定样本特定坐标系和SPM坐标系之间的一组对准误差并且将校正应用到SPM坐标系以偏移所确定的对准误差，从而管理样本特定坐标系和SPM坐标系之间的动态关系。
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公开(公告)号：CN1259558C
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200410054324.X
申请日：2004-09-07
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海爱建纳米科技发展有限公司
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/04 , G01Q20/02 , G01Q30/025
摘要： 一种模块化原子力显微镜，由7个模块组成：第一模块为步进电机；第二模块是四维调整的样品架，固定在步进电机上；第三模块是z向扫描器；第四模块包括微悬臂针尖和聚焦透镜；第五模块是xy向的扫描器；第六模块包括具有调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探测器；第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本发明模块化原子力显微镜的调整和更换方便；利用各模块又很容易搭建不同结构的原子力显微镜；样品具有粗定位的功能。
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公开(公告)号：CN107238733A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201710178412.8
申请日：2017-03-23
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/065 , G01Q60/00 , G01B21/30 , G01Q20/02
摘要： 本发明提供扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法，其在探针接触的试样表面是斜面的情况下能改善检测出探针与试样表面的接触的压接力的值相比于水平面产生变化的现象。该扫描型探针显微镜使探针与试样表面接触，利用上述探针扫描上述试样表面，具备：悬臂，其在前端具有上述探针；位移检测部，其检测上述悬臂的挠曲量和扭曲量；以及接触判定部，其根据由上述位移检测部检测到的无变形的悬臂中的全方位的挠曲量和扭曲量，判定上述探针对于上述试样表面的一次接触。
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公开(公告)号：CN106645802A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201510734666.4
申请日：2015-10-30
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
发明人： 陆轻釉
摘要： 本发明公开了一种通过杠杆扫描的高精度压电扫描器及其扫描探针显微镜，包括X形变压电体、扫描杆、第一钳位片、第二钳位片，所述第一钳位片固定于X形变压电体形变的一端，X形变压电体形变的另一端为其自由端，第二钳位片固定于该自由端并钳住扫描杆的一端，扫描杆的另一端为其扫描端，扫描杆垂直于X形变压电体的形变方向，第一钳位片钳住扫描杆的中部，X形变压电体的X形变带动扫描杆围绕第一钳位片钳住扫描杆的地方做杠杆转动，也即带动扫描杆的扫描端做X方向扫描。若X形变压电体换成XY形变压电体可得两维杠杆扫描情形。通过调节支点位置，可使压电扫描器自由端的不稳定性通过扫描杆的杠杆减弱作用，从而实现高精度、高稳定扫描。
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公开(公告)号：CN101603911A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200910100818.X
申请日：2009-07-13
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G01N13/16
摘要： 本发明公开了一种大样品大范围高分辨原子力显微检测方法及装置。采用压电陶瓷探头扫描和步进电机大范围移动相结合的方法，同时设计了开放式的样品台，实现大型超精密工件的微纳米检测。它具有激光器、光路跟踪透镜、压电陶瓷、微悬臂探针及光电探测元件组成的大范围高分辨扫描探头系统和对大尺寸样品进行大范围移动的X、Y向步进电控平移台以及光学平台、扫描成像及反馈控制系统。本发明的优点是克服了常规AFM仅适用于小样品的小范围检测的局限性，设计了简单实用的透镜系统解决探针大范围扫描时的光路跟踪问题，采用开放式的样品台和二维步进电机，可对大型超精密工件样品，在保持AFM的超高分辨率下实现任意区域大范围扫描检测。
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公开(公告)号：CN1587982A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410054324.X
申请日：2004-09-07
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/04 , G01Q20/02 , G01Q30/025
摘要： 一种模块化原子力显微镜，由7个模块组成：第一模块为步近电机；第二模块是四维调整的样品架，固定在步近电机上；第三模块是z向扫描器；第四模块包括微悬臂针尖和聚焦透镜；第五模块是xy向的扫描器；第六模块包括具有调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探测器；第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本发明模块化原子力显微镜的调整和更换方便；利用各模块又很容易搭建不同结构的原子力显微镜；样品具有粗定位的功能。
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公开(公告)号：CN2733342Y
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN200420082610.2
申请日：2004-09-07
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海爱建纳米科技发展有限公司
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q10/04 , G01Q10/02 , G01Q20/02 , G01Q30/025
摘要： 一种模块化原子力显微镜，由7个模块组成：第一模块为步近电机；第二模块是四维调整的样品架，固定在步近电机上；第三模块是z向扫描器；第四模块包括微悬臂针尖和聚焦透镜；第五模块是xy向的扫描器；第六模块包括具有调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探测器；第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本实用新型模块化原子力显微镜的调整和更换方便；利用各模块又很容易搭建不同结构的原子力显微镜；样品具有粗定位的功能。
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