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公开(公告)号：CN112272600B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN201980020537.5
申请日：2019-03-06
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: B24B57/02 , B24B37/00 , C09K3/14 , H01L21/304
Abstract: 本发明的课题在于提供用于从加工完的研磨剂浆料中有效率地回收研磨剂、将其作为再生研磨剂浆料而再利用的研磨剂再循环处理系统及研磨剂回收·再生方法。本发明的研磨剂再循环处理系统控制用于研磨的研磨剂浆料中的研磨剂的构成成分和被研磨物的构成成分的浓度，且继续研磨加工，从加工完的研磨剂浆料中将被研磨物的构成成分除去，将研磨剂回收·再生，其特征在于，具有：研磨加工工序部；和具有浆料供给罐的研磨剂浆料回收工序部，所述浆料供给罐贮存用于研磨的研磨剂，一边进行控制以使浆料供给罐中的研磨剂的构成成分的浓度成为研磨加工工序开始时的初期浓度以下，一边向浆料供给罐中供给再生研磨剂浆料。
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公开(公告)号：CN115443206B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202180030565.2
申请日：2021-04-12
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: B24B37/005 , B24B37/013 , B24B49/08 , H01L21/304 , B23Q17/00 , B23Q17/09
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够简单且精度良好地对被研磨物的研磨量进行测量的研磨系统。本发明的研磨系统是使用研磨剂浆料对被研磨物进行研磨的研磨系统，其特征在于，具有研磨量计算工序部，该研磨量计算工序部对来源于完成加工浆料中被研磨物的、元素周期表第一主族或第二主族的金属元素的游离金属离子的量进行测定，根据所述游离金属离子的量来计算所述被研磨物的研磨量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113365781B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN201980088075.0
申请日：2019-12-24
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: B24B57/00 , C09G1/02 , C09K3/14 , B24B37/00 , H01L21/304
Abstract: 本发明的课题是，提供一种研磨剂的再生方法以及研磨剂回收处理系统，其可以从化学强化玻璃的研磨中使用的加工后的研磨剂浆料中有效地除去含有K2O的玻璃成分，并有效地分离被研磨物、提高研磨速度稳定性和防止研磨物划痕等导致的品质降低。本发明的研磨剂的再生方法是从研磨剂浆料中，除去被研磨物的构成成分，对研磨剂进行回收、再生的研磨剂的再生方法，其至少依次包括：研磨加工工序、研磨剂浆料供给工序、研磨剂浆料回收工序、沉降分离浓缩工序，其中，向所述研磨剂浆料供给工序中的K2O浓度在0.05～1.0质量％的范围内的研磨剂浆料，在所述研磨剂浆料回收工序或所述沉降分离浓缩工序中，添加水稀释至5～50倍。
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公开(公告)号：CN113365781A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201980088075.0
申请日：2019-12-24
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: B24B57/00 , C09G1/02 , C09K3/14 , B24B37/00 , H01L21/304
Abstract: 本发明的课题是，提供一种研磨剂的再生方法以及研磨剂回收处理系统，其可以从化学强化玻璃的研磨中使用的加工后的研磨剂浆料中有效地除去含有K2O的玻璃成分，并有效地分离被研磨物、提高研磨速度稳定性和防止研磨物划痕等导致的品质降低。本发明的研磨剂的再生方法是从研磨剂浆料中，除去被研磨物的构成成分，对研磨剂进行回收、再生的研磨剂的再生方法，其至少依次包括：研磨加工工序、研磨剂浆料供给工序、研磨剂浆料回收工序、沉降分离浓缩工序，其中，向所述研磨剂浆料供给工序中的K2O浓度在0.05～1.0质量％的范围内的研磨剂浆料，在所述研磨剂浆料回收工序或所述沉降分离浓缩工序中，添加水稀释至5～50倍。
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公开(公告)号：CN115443206A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202180030565.2
申请日：2021-04-12
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: B24B37/005 , B24B37/013 , B24B49/08 , H01L21/304 , B23Q17/00 , B23Q17/09
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够简单且精度良好地对被研磨物的研磨量进行测量的研磨系统。本发明的研磨系统是使用研磨剂浆料对被研磨物进行研磨的研磨系统，其特征在于，具有研磨量计算工序部，该研磨量计算工序部对来源于完成加工浆料中被研磨物的、元素周期表第一主族或第二主族的金属元素的游离金属离子的量进行测定，根据所述游离金属离子的量来计算所述被研磨物的研磨量。
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公开(公告)号：CN115305056A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210485071.X
申请日：2022-05-06
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: C09K3/14
Abstract: 本发明的课题在于提供研磨速度的降低少且划痕、腐蚀的产生少的再生研磨剂浆料的制备方法和研磨剂浆料。本发明的再生研磨剂浆料的制备方法的特征在于，使用含有氧化铈研磨剂和分散剂的基准研磨剂浆料研磨硅为主成分的被研磨物后，由使用完毕的研磨剂浆料制备再生研磨剂浆料，其中，经过浆料回收工序、分离浓缩工序和研磨剂再生工序来制备再生研磨剂浆料，所述研磨剂再生工序是通过在该分离浓缩后的上述氧化铈研磨剂中添加pH调节剂和上述分散剂从而调整再生研磨剂浆料以使得25℃换算的pH值在6.0～10.5的范围内并使电导率的值相对于上述基准研磨剂浆料在0.10～10.00倍的范围内。
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公开(公告)号：CN112272600A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201980020537.5
申请日：2019-03-06
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: B24B57/02 , B24B37/00 , C09K3/14 , H01L21/304
Abstract: 本发明的课题在于提供用于从加工完的研磨剂浆料中有效率地回收研磨剂、将其作为再生研磨剂浆料而再利用的研磨剂再循环处理系统及研磨剂回收·再生方法。本发明的研磨剂再循环处理系统控制用于研磨的研磨剂浆料中的研磨剂的构成成分和被研磨物的构成成分的浓度，且继续研磨加工，从加工完的研磨剂浆料中将被研磨物的构成成分除去，将研磨剂回收·再生，其特征在于，具有：研磨加工工序部；和具有浆料供给罐的研磨剂浆料回收工序部，所述浆料供给罐贮存用于研磨的研磨剂，一边进行控制以使浆料供给罐中的研磨剂的构成成分的浓度成为研磨加工工序开始时的初期浓度以下，一边向浆料供给罐中供给再生研磨剂浆料。
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