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公开(公告)号:CN113365781B
公开(公告)日:2023-07-18
申请号:CN201980088075.0
申请日:2019-12-24
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: B24B57/00 , C09G1/02 , C09K3/14 , B24B37/00 , H01L21/304
Abstract: 本发明的课题是,提供一种研磨剂的再生方法以及研磨剂回收处理系统,其可以从化学强化玻璃的研磨中使用的加工后的研磨剂浆料中有效地除去含有K2O的玻璃成分,并有效地分离被研磨物、提高研磨速度稳定性和防止研磨物划痕等导致的品质降低。本发明的研磨剂的再生方法是从研磨剂浆料中,除去被研磨物的构成成分,对研磨剂进行回收、再生的研磨剂的再生方法,其至少依次包括:研磨加工工序、研磨剂浆料供给工序、研磨剂浆料回收工序、沉降分离浓缩工序,其中,向所述研磨剂浆料供给工序中的K2O浓度在0.05~1.0质量%的范围内的研磨剂浆料,在所述研磨剂浆料回收工序或所述沉降分离浓缩工序中,添加水稀释至5~50倍。
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公开(公告)号:CN113365781A
公开(公告)日:2021-09-07
申请号:CN201980088075.0
申请日:2019-12-24
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: B24B57/00 , C09G1/02 , C09K3/14 , B24B37/00 , H01L21/304
Abstract: 本发明的课题是,提供一种研磨剂的再生方法以及研磨剂回收处理系统,其可以从化学强化玻璃的研磨中使用的加工后的研磨剂浆料中有效地除去含有K2O的玻璃成分,并有效地分离被研磨物、提高研磨速度稳定性和防止研磨物划痕等导致的品质降低。本发明的研磨剂的再生方法是从研磨剂浆料中,除去被研磨物的构成成分,对研磨剂进行回收、再生的研磨剂的再生方法,其至少依次包括:研磨加工工序、研磨剂浆料供给工序、研磨剂浆料回收工序、沉降分离浓缩工序,其中,向所述研磨剂浆料供给工序中的K2O浓度在0.05~1.0质量%的范围内的研磨剂浆料,在所述研磨剂浆料回收工序或所述沉降分离浓缩工序中,添加水稀释至5~50倍。
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