公开(公告)号：CN115004065B

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN202180010423.X

申请日：2021-01-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 青野宇纪 ,  江畠佳定 ,  八重樫健太 ,  松井繁 ,  内田功 ,  山本治朗

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明提供凹面衍射光栅和使用了该凹面衍射光栅的光学装置，该凹面衍射光栅能够防止反射膜因温度的影响而变形且能够防止由温度导致的光学特性的降低。本发明的凹面衍射光栅具备：反射膜(22)，其具备多个光栅槽(21)；保持膜(25)，其由金属构成，且在一方的面设有反射膜(22)；凹面基板(24)，其具备凹面(24a)；以及固定层(23)，其设于凹面(24a)与保持膜(25)的另一方的面之间，将保持膜(25)和反射膜(22)固定于凹面基板(24)。

公开(公告)号：CN115004065A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202180010423.X

申请日：2021-01-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 青野宇纪 ,  江畠佳定 ,  八重樫健太 ,  松井繁 ,  内田功 ,  山本治朗

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明提供凹面衍射光栅和使用了该凹面衍射光栅的光学装置，该凹面衍射光栅能够防止反射膜因温度的影响而变形且能够防止由温度导致的光学特性的降低。本发明的凹面衍射光栅具备：反射膜(22)，其具备多个光栅槽(21)；保持膜(25)，其由金属构成，且在一方的面设有反射膜(22)；凹面基板(24)，其具备凹面(24a)；以及固定层(23)，其设于凹面(24a)与保持膜(25)的另一方的面之间，将保持膜(25)和反射膜(22)固定于凹面基板(24)。