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公开(公告)号：CN119173748A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202380039571.3
申请日：2023-04-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种压力传感器，即使受到来自流体的压力，也能够防止灵敏度降低、流体泄漏。本发明的压力传感器具备：壳体(32)，其在内部具有作为流体的流路(33)的空间；传感器芯片(31)，其具备应变检测部(31b)且由薄膜半导体构成；以及应变传递物质(36)，其设置于壳体(32)的内部。应变传递物质(36)具备：受压面(36a)，其与作为流路(33)的空间接触；以及接合面(36b)，其相对于应变传递物质(36)位于与受压面(36a)相反的一侧的位置且固定于壳体(32)的内表面。传感器芯片(31)的整体埋设于应变传递物质(36)的内部。
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公开(公告)号：CN115004065B
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202180010423.X
申请日：2021-01-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明提供凹面衍射光栅和使用了该凹面衍射光栅的光学装置，该凹面衍射光栅能够防止反射膜因温度的影响而变形且能够防止由温度导致的光学特性的降低。本发明的凹面衍射光栅具备：反射膜(22)，其具备多个光栅槽(21)；保持膜(25)，其由金属构成，且在一方的面设有反射膜(22)；凹面基板(24)，其具备凹面(24a)；以及固定层(23)，其设于凹面(24a)与保持膜(25)的另一方的面之间，将保持膜(25)和反射膜(22)固定于凹面基板(24)。
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公开(公告)号：CN118202217A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202280073321.7
申请日：2022-10-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种压力传感器模块，其维持将流路基板与搭载有应变检测部的半导体元件接合的接合层的强度且可靠性高。本发明的压力传感器模块在流路基板的内部具有系统水流通的流路以及与流路连接的分支路，在分支路的出口部分以堵塞分支路的出口部分的方式将搭载有应变检测部的半导体元件经由接合层接合于流路基板，该压力传感器模块的特征在于，以覆盖分支路中的流路基板的表面、分支路中的接合层的表面以及半导体元件中的未搭载应变检测部的一侧的表面的方式具有防水膜。
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公开(公告)号：CN117501156A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202280042297.0
申请日：2022-06-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明的衍射光栅的制造方法和复制衍射光栅的制造方法中，首先，准备在其表面(FS1)上具有图案(1b)的晶片(1a)，该图案(1b)形成凹部和凸部交替配置的形状。接下来，在晶片(1a)的表面(FS1)上形成金属膜(3)，在金属膜(3)的表面(FS2)的一部分上形成转印有图案(1b)的形状的转印区域(3a)。接下来，从晶片(1a)上去除金属膜(3)。接下来，将金属膜(3)的背面BS2通过粘接剂(4)粘接到玻璃制基板(5)上。由此，制造衍射光栅(7)。
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公开(公告)号：CN105074512A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201480013530.8
申请日：2014-01-30
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G02B5/1852 , G01N21/31 , G02B1/04 , G02B5/1814 , G02B5/1857 , G02B5/1861
Abstract: 本发明提供一种制作高精度衍射光栅的技术，能够通过使在硅基板上使用半导体工艺制作的平面衍射光栅沿曲面基板塑性变形，制造具有所希望的曲率的曲面衍射光栅。其特征为：将使用半导体工艺制作的硅制平面衍射光栅转印至非晶质材料，并将非晶质材料基板曲面化，安装在曲面固定基板上，得到具有抑制转位线的产生的结晶性材料的曲面衍射光栅。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115917371A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202180040233.2
申请日：2021-02-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种高精度地制造具有均匀的衍射光栅图案的凹面衍射光栅的技术。本公开的凹面衍射光栅的制造方法包括如下步骤：准备具有光栅槽、以及形成于成为凹面衍射光栅的模具的区域外的伸长部、薄膜部或低摩擦部的平面衍射光栅；将所述平面衍射光栅安装于凸面基板来取得所述凹面衍射光栅的模具；以及将所述模具的所述光栅槽转印于凹面基板。
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公开(公告)号：CN115004065A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202180010423.X
申请日：2021-01-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明提供凹面衍射光栅和使用了该凹面衍射光栅的光学装置，该凹面衍射光栅能够防止反射膜因温度的影响而变形且能够防止由温度导致的光学特性的降低。本发明的凹面衍射光栅具备：反射膜(22)，其具备多个光栅槽(21)；保持膜(25)，其由金属构成，且在一方的面设有反射膜(22)；凹面基板(24)，其具备凹面(24a)；以及固定层(23)，其设于凹面(24a)与保持膜(25)的另一方的面之间，将保持膜(25)和反射膜(22)固定于凹面基板(24)。
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公开(公告)号：CN112313548B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN201980042410.3
申请日：2019-04-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 提供能通过球面像差的抑制来提升衍射效率的凹面衍射光栅。凹面衍射光栅(2)对光进行分光、聚光，在凹面状的基板(24)上具有锯齿形状的光栅槽(21)，锯齿形状的光栅槽(21)的间隔不等。另外，通过用光刻法以及蚀刻、或机械加工在平面基板上形成锯齿形状，使形成锯齿形状为不等间隔的光栅槽(21)的平面衍射光栅在凸面固定基板上变形，来将安装的凹面衍射光栅的模转印到金属或树脂的表面，由此形成对光进行分光、聚光的凹面衍射光栅(2)。
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公开(公告)号：CN113167944A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980046336.2
申请日：2019-07-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种凹面衍射光栅的制造方法，包括如下步骤：使在推压面具有衍射光栅的槽图案的平面金属模具的上述推压面与在凹面涂布有树脂的凹面基板的上述凹面对置，配置上述平面金属模具及上述凹面基板；利用流体对上述平面金属模具进行加压，将上述推压面推压到涂布于上述凹面的上述树脂；以及使通过上述推压面被推压而转印有上述槽图案的上述树脂固化。由此，能够改善载荷不均匀性，能够制造具有高的面精度的凹面衍射光栅。
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公开(公告)号：CN112313548A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201980042410.3
申请日：2019-04-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 提供能通过球面像差的抑制来提升衍射效率的凹面衍射光栅。凹面衍射光栅(2)对光进行分光、聚光，在凹面状的基板(24)上具有锯齿形状的光栅槽(21)，锯齿形状的光栅槽(21)的间隔不等。另外，通过用光刻法以及蚀刻、或机械加工在平面基板上形成锯齿形状，使形成锯齿形状为不等间隔的光栅槽(21)的平面衍射光栅在凸面固定基板上变形，来将安装的凹面衍射光栅的模转印到金属或树脂的表面，由此形成对光进行分光、聚光的凹面衍射光栅(2)。
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