固态微波发生器和功率放大器

    公开(公告)号:CN107852140B

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201680043472.2

    申请日:2016-05-11

    申请人: MKS仪器公司

    IPC分类号: H03F3/60 H03F3/195 H03F3/21

    摘要: 提供了一种微波发生器及其功率放大器系统(100)。功率放大器系统(100)可以包括可以接收输入功率信号并且可以提供输出功率信号的第一功率放大器单元(110)。功率分配器单元(125)可以接收输出功率信号并且可以产生多个分离的功率输入信号。分离的功率输入信号可以由可以提供多个分离的功率输出信号的第二功率放大器单元(160)接收。至少一个隔离器单元(175),其可以将第二功率放大器单元(160)的至少一部分与功率合并器单元(180)耦合。功率合并器单元(180)可以经由至少一个隔离器单元(175)从第二功率放大器单元(160)接收多个分离的功率输出信号,并且可以合并多个分离的功率输出信号。