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发明公开
卷轴装置和利用其的薄膜装载装置无效

公开(公告)号：CN102272028A

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN200980154199.0

申请日：2009-12-14

申请人： SEC株式会社

发明人： 柳基雄 , 李相律

IPC分类号： B65H18/04 , B65H18/02 , H01L21/00

CPC分类号： B65H18/28 , B65H2301/4127

摘要： 本发明公开了卷轴装置和利用该卷轴装置的薄膜装载装置。所公开的卷轴装置包括：卷绕有半导体薄膜的供给卷轴；与所述供给卷轴布置在同一轴线上，卷绕有从所述半导体薄膜剥离的保护薄膜的卷收卷轴；分别驱动所述供给卷轴和卷收卷轴的驱动单元。