公开(公告)号：CN102272028A

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN200980154199.0

申请日：2009-12-14

申请人： SEC株式会社

发明人： 柳基雄 ,  李相律

IPC分类号： B65H18/04 ,  B65H18/02 ,  H01L21/00

CPC分类号： B65H18/28 ,  B65H2301/4127

摘要： 本发明公开了卷轴装置和利用该卷轴装置的薄膜装载装置。所公开的卷轴装置包括：卷绕有半导体薄膜的供给卷轴；与所述供给卷轴布置在同一轴线上，卷绕有从所述半导体薄膜剥离的保护薄膜的卷收卷轴；分别驱动所述供给卷轴和卷收卷轴的驱动单元。

公开(公告)号：CN104024836B

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201280063323.4

申请日：2012-12-21

申请人： SEC株式会社

发明人： 金锺显 ,  金万石 ,  柳基雄 ,  柳基俊

IPC分类号： G01N23/04 ,  G01B15/00

CPC分类号： G01N23/046 ,  G01N2223/419 ,  H01J37/18

摘要： 公开了一种SMT在线自动X射线检查装置。所公开的检查装置包括：台单元，可拆装地支撑被检查体，且能够沿平面上的X轴、Y轴移动和旋转；X射线真空管，布置在所述台单元的下侧，向设置在所述台单元上的所述被检查体照射X射线；检测器，沿一侧可旋转地布置在所述台单元的上侧上，检测透过所述被检查体的X射线，其中，所述X射线真空管被设置为针对所述检测器的旋转而同步旋转且所述X射线真空管的X射线辐射面与所述台单元平行，其中，所述台单元包括中空轴，且包括可旋转地支撑所述中空轴的中空轴承。

公开(公告)号：CN104024836A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201280063323.4

申请日：2012-12-21

申请人： SEC株式会社

发明人： 金锺显 ,  金万石 ,  柳基雄 ,  柳基俊

IPC分类号： G01N23/04 ,  G01B15/00

CPC分类号： G01N23/046 ,  G01N2223/419 ,  H01J37/18

摘要： 公开了一种SMT在线自动X射线检查装置。所公开的检查装置包括：台单元，可拆装地支撑被检查体，且能够沿平面上的X轴、Y轴移动和旋转；X射线真空管，布置在所述台单元的下侧，向设置在所述台单元上的所述被检查体照射X射线；检测器，沿一侧可旋转地布置在所述台单元的上侧上，检测透过所述被检查体的X射线，其中，所述X射线真空管被设置为针对所述检测器的旋转而同步旋转且所述X射线真空管的X射线辐射面与所述台单元平行，其中，所述台单元包括中空轴，且包括可旋转地支撑所述中空轴的中空轴承。