公开(公告)号：CN101801839B

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN200880102146.X

申请日：2008-04-03

Applicant: SNU研发业务基金会

Inventor： 金龙协 ,  李廷勋 ,  姜泰俊 ,  张议允

IPC: B82B1/00

CPC classification number: B81C1/00158 ,  B81B2201/0214 ,  H01G11/40 ,  Y02E60/13 ,  Y10T428/31678 ,  Y10T428/31786 ,  Y10T428/31855

Abstract: 本发明涉及导电纳米膜以及使用该导电纳米膜的微机电系统传感器，更具体地，涉及通过堆叠聚合物电解质膜和碳纳米管层形成的导电纳米膜，以及使用该导电纳米膜的MEMS传感器。

公开(公告)号：CN101801839A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200880102146.X

申请日：2008-04-03

Applicant: SNU研发业务基金会

Inventor： 金龙协 ,  李廷勋 ,  姜泰俊 ,  张议允

IPC: B82B1/00

CPC classification number: B81C1/00158 ,  B81B2201/0214 ,  H01G11/40 ,  Y02E60/13 ,  Y10T428/31678 ,  Y10T428/31786 ,  Y10T428/31855

Abstract: 本发明涉及导电纳米膜以及使用该导电纳米膜的微机电系统传感器，更具体地，涉及通过堆叠聚合物电解质膜和碳纳米管层形成的导电纳米膜，以及使用该导电纳米膜的MEMS传感器。