公开(公告)号：CN110277343B

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN201910149763.5

申请日：2019-02-28

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 片山宝 ,  山口康介 ,  板仓郁夫 ,  籾山大 ,  白石纯 ,  西愿修一郎

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够提高强度。提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面、在从所述第2主面到所述第1主面的跨度上设置的穿通孔；基座板，支撑所述陶瓷电介体基板且具有连通于所述穿通孔的气体导入路；及第1多孔质部，设置于所述穿通孔，其特征为，所述第1多孔质部具有位于所述陶瓷电介体基板侧的第1区域，所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1区域侧的第1基板区域，所述第1区域与所述第1基板区域被设置成接触，所述第1区域中的平均粒径不同于所述第1基板区域中的平均粒径。

公开(公告)号：CN110277343A

公开(公告)日：2019-09-24

申请号：CN201910149763.5

申请日：2019-02-28

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 片山宝 ,  山口康介 ,  板仓郁夫 ,  籾山大 ,  白石纯 ,  西愿修一郎

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够提高强度。提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面、在从所述第2主面到所述第1主面的跨度上设置的穿通孔；基座板，支撑所述陶瓷电介体基板且具有连通于所述穿通孔的气体导入路；及第1多孔质部，设置于所述穿通孔，其特征为，所述第1多孔质部具有位于所述陶瓷电介体基板侧的第1区域，所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1区域侧的第1基板区域，所述第1区域与所述第1基板区域被设置成接触，所述第1区域中的平均粒径不同于所述第1基板区域中的平均粒径。