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公开(公告)号：CN111755376B
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202010227806.X
申请日：2020-03-27
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，在极低温的环境下，能够抑制发生陶瓷电介体基板从基座板的剥离及陶瓷电介体基板的裂开。一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板；金属制的基座板，支撑所述陶瓷电介体基板；及接合层，设置在所述陶瓷电介体基板与所述基座板之间且含有树脂材料，其特征为，满足相关于接合层的伸长率、接合强度、弹性模量的第1～第6条件中至少任意一个。
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公开(公告)号：CN118538652A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410172429.2
申请日：2024-02-07
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 静电吸盘具备：电介体基板，形成有第1气孔；底盘，形成有第2气孔；及接合层，设置在电介体基板和底盘之间，由绝缘性的材料形成。在电介体基板中的接合层侧的面上，形成有第1气孔的端部即第1开口。在底盘中的接合层侧的面上，在与第1开口不同的位置上，形成有第2气孔的端部即第2开口。在底盘中的接合层侧的面上，形成有使第1开口和第2开口之间连通的连通槽。
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公开(公告)号：CN116313981A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310336113.8
申请日：2019-02-28
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/20 , H01J37/32
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够确保对电弧放电的抗性及流动的气体流量，同时能够提高多孔质部的机械强度(刚性)。提供一种静电吸盘，其特征为，第1多孔质部具有：疏松部分，具有多个孔；及紧密部分，具有比疏松部分的密度更高的密度，多个疏松部分分别在从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向上延伸，紧密部分位于多个疏松部分的彼此之间，疏松部分具有设置在孔与孔之间的壁部，在与第1方向大致正交的第2方向上，壁部的尺寸的最小值比紧密部分的尺寸的最小值更小。
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公开(公告)号：CN111755376A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010227806.X
申请日：2020-03-27
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，在极低温的环境下，能够抑制发生陶瓷电介体基板从基座板的剥离及陶瓷电介体基板的裂开。一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板；金属制的基座板，支撑所述陶瓷电介体基板；及接合层，设置在所述陶瓷电介体基板与所述基座板之间且含有树脂材料，其特征为，满足相关于接合层的伸长率、接合强度、弹性模量的第1～第6条件中至少任意一个。
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公开(公告)号：CN104253282B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201410283147.6
申请日：2014-06-23
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01M8/243 , H01M8/2485 , H01M8/249 , H01M8/0276
CPC classification number: H01M8/249 , H01M8/0276 , H01M8/0286 , H01M8/2425 , H01M8/243 , H01M8/2485
Abstract: 本发明提供一种固体氧化物型燃料电池装置，使用陶瓷粘接剂气密地接合燃料电池模块内的燃料电池单电池。本发明是一种通过使燃料及氧化剂气体进行反应而发电的固体氧化物型燃料电池装置(1)，其特征在于，具有：燃料电池模块(2)，收容有多个燃料电池单电池(16)；及燃料气体分散室(76)，用于向各燃料电池单电池(16)分配并供给燃料，各燃料电池单电池通过陶瓷粘接剂而被气密地固定于构成燃料气体分散室的固定构件(63)，在各燃料电池单电池的周围通过陶瓷粘接剂层而形成有气体泄漏抑制部，抑制因陶瓷粘接剂固化时的收缩而产生裂纹。
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公开(公告)号：CN103715442B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310417122.6
申请日：2013-09-13
Applicant: TOTO株式会社
CPC classification number: H01M8/1286 , H01M8/004 , H01M8/0206 , H01M8/0236 , H01M8/0245 , H01M8/0258 , H01M8/0267 , H01M8/0271 , H01M8/0297 , H01M8/1226 , H01M8/243 , H01M8/2483 , H01M2008/1293
Abstract: 本发明提供一种燃料电池单电池，可防止形成含有Ca及其它元素的扩散层，并防止因烧成而导致电解质的结晶结构崩溃，且低温下的发电性能优异。一种固体氧化物型燃料电池单电池，是在多孔质支撑体的表面上依次层叠内侧电极、固体电解质及外侧电极而构成的固体氧化物型燃料电池单电池，其特征在于，所述多孔质支撑体含有镁橄榄石而构成，所述多孔质支撑体的Mg/Si比以摩尔比为1.90以上且2.2以下，并且，在使用Cu-Kα射线的粉末X射线衍射图谱中，衍射角2θ=26.5o～27.0o处出现的最大峰高A与36.5o～37.0o处出现的最大峰高B的比A/B为0.0%以上且9.0%以下。
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公开(公告)号：CN104078697A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410124623.X
申请日：2014-03-28
Applicant: TOTO株式会社
CPC classification number: H01M8/1286 , H01M8/004 , H01M8/0236 , H01M8/0243 , H01M8/0245 , H01M8/0252 , H01M8/1226 , H01M8/124 , H01M8/1246 , H01M2300/0074 , Y02E60/521 , Y02E60/525 , Y02P70/56
Abstract: 本发明提供一种燃料电池单电池，在将镁橄榄石用于支撑体的燃料电池单电池中，提高发电性能、长期稳定性等。一种固体氧化物型燃料电池单电池，是在多孔质支撑体的表面上依次层叠内侧电极、固体电解质及外侧电极而构成的固体氧化物型燃料电池单电池，其为，所述多孔质支撑体含有镁橄榄石而构成，以SrO换算相对于所述镁橄榄石的质量还含有0.02质量％以上且1质量％以下的锶元素而构成。
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公开(公告)号：CN103715443A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310447558.X
申请日：2013-09-25
Applicant: TOTO株式会社
CPC classification number: H01M8/243 , C01B3/384 , C01B2203/0233 , C01B2203/066 , C01B2203/0811 , H01M8/04022 , H01M8/04201 , H01M8/0625 , H01M8/0662 , H01M8/2457 , H01M8/2465 , H01M8/2475 , H01M2008/1293
Abstract: 本发明提供一种固体氧化物型燃料电池装置，可以将混合后的燃料气体和水蒸气均衡且均一地供给至重整部（重整器）整体。本发明的固体氧化物型燃料电池装置（1）具有：重整部（94），配置在比蒸发部（86）更靠上方的燃料气体供给流路（20）内，包围燃料电池电堆（14）的上部，通过在蒸发部中生成的水蒸气（S）对从燃料气体导入部（90a）导入的原燃料气体（F）进行水蒸气重整；及回旋流路部（156），设置在蒸发部和重整部之间的燃料气体供给流路内，使从燃料气体导入部导入燃料气体供给流路内并上升的原燃料气体和在蒸发部中生成并上升的水蒸气沿燃料气体供给流路的周向回旋，形成使混合后的原燃料气体和水蒸气均一地供给至重整部全周的气流。
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公开(公告)号：CN118538651A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410172200.9
申请日：2024-02-07
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种能够抑制基板的面内温度分布的不均的静电吸盘。具体而言，静电吸盘(10)具备：电介体基板(100)，具有载放基板W的面(110)，且形成有贯穿面(110)的穿通孔(气孔(150)及升降销孔(160))；电极端子(121)，设置在电介体基板(100)中的与面110相反侧的面(120)上；底盘(200)，与电介体基板(100)的面(120)接合；及接合层(300)，设置在电介体基板(100)和底盘(200)之间，由绝缘性的材料形成。在从垂直于面(110)的方向进行观察时，在接合层(300)中，在与上述的穿通孔及电极端子(121)中的任一均不重叠的位置上，形成有空间(340)。
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