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公开(公告)号：CN111649404B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202010521671.8
申请日：2020-06-10
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种内部气流自调节型洁净室及气流调节方法，洁净室包括作业腔室、晶圆储备腔室、风机、送风缓冲腔室、循环送风通道、循环回风通道、送风流量调节机构及回风多级多孔板机构。方法为：启动风机向作业腔室内送风；机械手抓取晶圆后移动；通过传感器获取机械手移动速度和位置信息、作业腔室压力并反馈至计算机；计算机调用内部数据库与反馈数据对比并拟合出乱流度；根据乱流度拟合结果，计算机控制送风流量调节机构增加送风速度，同时调高回风多级多孔板机构的孔隙率，加快涡流耗散；机械手停止移动时，计算机根据机械手停止位置及作业腔室压力大小确定流场恢复所需时间，当流场恢复时间达到后，送风流量调节机构及回风多级多孔板机构恢复初始状态。
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公开(公告)号：CN109665822B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201910029153.1
申请日：2019-01-12
Applicant: 东北大学
IPC: C04B35/10 , C04B35/626
Abstract: 本发明提供一种多孔氧化铝复合陶瓷粉制备方法，具体步骤如下：(1)先将硼酸粉，氧化铝粉和添加剂包括硫酸钠或者碳酸钠按一定的配比进行配料、混料；(2)向原料中加入适量的水，进一步混匀并压制成球团；(3)将球团放到真空干燥箱中进行烘干；(4)将球团放入感应炉内进行高温冶炼；(5)冶炼结束之后，将产品空冷至室温。(6)将产品分级，破碎；(7)将破碎后的产品粉浸入水中。本发明的优点是：与传统多孔氧化铝制备方法相比，省去了大量的繁琐的工艺步骤，显著地降低了生产成本和能耗；产品孔径大小与初始原料粒径无直接关系，生成的多孔氧化铝复合陶瓷粉具有孔径均匀以及较好的硬度。
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公开(公告)号：CN111649404A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN202010521671.8
申请日：2020-06-10
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种内部气流自调节型洁净室及气流调节方法，洁净室包括作业腔室、晶圆储备腔室、风机、送风缓冲腔室、循环送风通道、循环回风通道、送风流量调节机构及回风多级多孔板机构。方法为：启动风机向作业腔室内送风；机械手抓取晶圆后移动；通过传感器获取机械手移动速度和位置信息、作业腔室压力并反馈至计算机；计算机调用内部数据库与反馈数据对比并拟合出乱流度；根据乱流度拟合结果，计算机控制送风流量调节机构增加送风速度，同时调高回风多级多孔板机构的孔隙率，加快涡流耗散；机械手停止移动时，计算机根据机械手停止位置及作业腔室压力大小确定流场恢复所需时间，当流场恢复时间达到后，送风流量调节机构及回风多级多孔板机构恢复初始状态。
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公开(公告)号：CN111365220A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811600707.0
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及真空干泵测试领域，具体地说是一种真空干泵内部流场参数测试系统，包括待测真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一维持泵、第二维持泵和气瓶，第一真空室与待测真空干泵的进气口相连，第二真空室与待测真空干泵的出气口相连，第一维持泵和气瓶分别与第一真空室相连，第二真空室与第二维持泵相连，在气待测真空干泵的进气口和出气口内均设有温度传感器，在气待测真空干泵内设有多个压力传感器，所述压力传感器包括封装层、压感膜和电感线圈，在待测真空干泵外侧与各个压力传感器对应的位置均固设有耦合电感。本发明能够更客观地测量真空干泵内部流场参数，并且不会对泵体造成过多损坏。
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公开(公告)号：CN108550644B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201810573107.3
申请日：2018-06-06
Applicant: 东北大学
IPC: H01L31/048 , H01L31/18
Abstract: 一种半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池及其制备方法，属于硅基薄膜太阳能电池领域。该半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池的结构包括依次连接的前电极、吸收体和背电极；其中，吸收体为PI1N1I2N2结构的半叠层吸收体，P为P型非晶硅层，I1为本征非晶硅层，N1为N1型非晶硅层，I2为本征微晶硅层，N2为N2型非晶硅层；其制备方法为，处理衬底层，根据结构，采用射频磁控溅射法依次沉积各层。该半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池采用半叠层PI1N1I2N2结构，有效避免传统叠层电池中隧穿结的重掺杂问题。在减薄叠层电池厚度的基础上，半叠层结构可以提高电池的内建电场强度、短路电流和转化效率。采用的磁控溅射方法，沉积过程高效、清洁、易于控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110004043A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201910281813.5
申请日：2019-04-09
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种单细胞捕获微流控芯片，包括：功能层和盖片层；功能层包括：硅片本体和修饰在硅片本体上的多个功能区；多个功能区至少包括：样品进样及预处理区、捕获功能区和废液处理区；样品进样及预处理区由细胞液流入口、进口储液池、设置有微型分散柱的流入通道组成；捕获功能区由设置有缓冲柱和捕获阱阵列的微型反应池组成；废液处理区由设置有微型分散柱的流出通道、出口储液池及废液流出口组成；细胞液流入口与进口储液池连通；进口储液池借助于流入通道与微型反应池连通；微型反应池借助于流出通道与出口储液池连通；出口储液池与废液流出口连通。本发明提供的微流控芯片能够实现细胞载流液的均匀进样和单个细胞的芯片内捕获。
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公开(公告)号：CN109721363A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201910192309.8
申请日：2019-03-14
Applicant: 东北大学
IPC: C04B35/563 , C04B35/622 , C04B35/626
Abstract: 本发明提出一种添加碳化稻壳原位制备SiC/B4C复合陶瓷粉的方法。步骤如下：(1)先将碳质还原剂和碳化稻壳破碎成粉料；(2)将破碎好的碳质还原剂粉，硼酸粉和碳化稻壳粉按一定的配比进行配料、混料、并压制成球团，再将球团进行烘干；(3)将生坯放入感应炉内进行高温冶炼制备碳化硼复合陶瓷粗粉；(4)将得到的粗粉破碎并进行分级除杂；(5)将得到的渣粉进行回收再利用，精粉用于制作碳化硼复合陶瓷烧结原料。本发明不仅提高了原料利用率，还显著地降低生产成本和能耗；直接在制备B4C的原料中添加碳化稻壳原位制备碳化硼基复合陶瓷粉，然后烧结制备复合陶瓷，相比于机械混合存在明显优势；显著改善碳化硼基复合陶瓷的力学性能；同时降低环境污染，减少高温气体排放。
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公开(公告)号：CN108194343B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201711410851.3
申请日：2017-12-23
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及一种真空泵测试系统及测试方法。真空泵测试系统包括分别用于与待测泵室的吸气口和排气口连通的第一和第二真空室、分别测量第一和第二真空室的压力的第一和第二测压系统、为第一和第二真空室供气的供气设备、分别从第一和第二真空室抽气的第一和第二抽气设备、测量和控制第一真空室气体流量的气体流量测控设备、分别控制第一和第二真空室的温度的第一和第二控温设备。真空泵测试方法应用该真空泵测试系统。上述真空泵测试系统和测试方法可提供压力、流量和温度可控的测试环境，可以模拟不同情况下真空泵的抽气状态，且可用于不同种类的真空泵的抽气性能测试。
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公开(公告)号：CN109441802A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811212222.4
申请日：2018-10-18
Applicant: 东北大学
CPC classification number: F04C18/0215 , F04C25/02 , F04C29/026
Abstract: 本发明涉及一种干式真空泵工作系统，其包括：干式真空泵，四通阀；四通阀第一工作状态时，第一阀口和第二阀口连通，第三阀口和第四阀口连通；四通阀第二工作状态时第一阀口和第四阀口连通，第二阀口和第三阀口连通；第一管道和第一阀口连通，另一端为工作端；第二管道和第二阀口连通，另一端和干式真空泵的进气口连通；第三管道和第四阀口连通，另一端和干式真空泵的出气口连通；安全管道和第三阀口连通，另一端和大气连通。本发明提供的干式真空泵工作系统，采用干式真空泵，腔内无油，节省了配备油气分离器的费用和空间，避免了油等介质与污水污物产生反应影响系统性能的隐患，干式真空泵结构简单、维修方便，降低了保养和维修难度。
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公开(公告)号：CN108119352B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201711408179.4
申请日：2017-12-22
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法。干式真空泵套件包括固定模块、多种规格的外侧罩、多种规格的轴套和多种规格的定子，固定模块包括驱动室、主动轴和从动轴，根据可拆卸地安装在主动轴和从动轴上的一对或多对啮合转子，选配定子、轴套和外侧罩以使得定子、轴套、外侧罩、主动轴和从动轴上的轴向定位结构以及驱动室形成针对每对啮合转子独立的泵室，并整体形成一个干式真空泵。测试方法应用上述干式真空泵套件。由此，可通过一台干式真空泵上不同转子组合形式的简单快速装配并构成测试系统来探究不同压力区域段不同转子组合形式的抽气效果与优化方案，解决了干式真空泵产品研发阶段样泵的不必要材料与能源浪费的技术问题。
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