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公开(公告)号：CN111365220B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201811600707.0
申请日：2018-12-26
申请人： 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC分类号： F04B51/00
摘要： 本发明涉及真空干泵测试领域，具体地说是一种真空干泵内部流场参数测试系统，包括待测真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一维持泵、第二维持泵和气瓶，第一真空室与待测真空干泵的进气口相连，第二真空室与待测真空干泵的出气口相连，第一维持泵和气瓶分别与第一真空室相连，第二真空室与第二维持泵相连，在气待测真空干泵的进气口和出气口内均设有温度传感器，在气待测真空干泵内设有多个压力传感器，所述压力传感器包括封装层、压感膜和电感线圈，在待测真空干泵外侧与各个压力传感器对应的位置均固设有耦合电感。本发明能够更客观地测量真空干泵内部流场参数，并且不会对泵体造成过多损坏。
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公开(公告)号：CN108194343A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201711410851.3
申请日：2017-12-23
申请人： 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC分类号： F04B51/00
CPC分类号： F04B51/00
摘要： 本发明涉及一种真空泵测试系统及测试方法。真空泵测试系统包括分别用于与待测泵室的吸气口和排气口连通的第一和第二真空室、分别测量第一和第二真空室的压力的第一和第二测压系统、为第一和第二真空室供气的供气设备、分别从第一和第二真空室抽气的第一和第二抽气设备、测量和控制第一真空室气体流量的气体流量测控设备、分别控制第一和第二真空室的温度的第一和第二控温设备。真空泵测试方法应用该真空泵测试系统。上述真空泵测试系统和测试方法可提供压力、流量和温度可控的测试环境，可以模拟不同情况下真空泵的抽气状态，且可用于不同种类的真空泵的抽气性能测试。
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公开(公告)号：CN111365220A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811600707.0
申请日：2018-12-26
申请人： 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC分类号： F04B51/00
摘要： 本发明涉及真空干泵测试领域，具体地说是一种真空干泵内部流场参数测试系统，包括待测真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一维持泵、第二维持泵和气瓶，第一真空室与待测真空干泵的进气口相连，第二真空室与待测真空干泵的出气口相连，第一维持泵和气瓶分别与第一真空室相连，第二真空室与第二维持泵相连，在气待测真空干泵的进气口和出气口内均设有温度传感器，在气待测真空干泵内设有多个压力传感器，所述压力传感器包括封装层、压感膜和电感线圈，在待测真空干泵外侧与各个压力传感器对应的位置均固设有耦合电感。本发明能够更客观地测量真空干泵内部流场参数，并且不会对泵体造成过多损坏。
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公开(公告)号：CN108194343B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201711410851.3
申请日：2017-12-23
申请人： 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC分类号： F04B51/00
摘要： 本发明涉及一种真空泵测试系统及测试方法。真空泵测试系统包括分别用于与待测泵室的吸气口和排气口连通的第一和第二真空室、分别测量第一和第二真空室的压力的第一和第二测压系统、为第一和第二真空室供气的供气设备、分别从第一和第二真空室抽气的第一和第二抽气设备、测量和控制第一真空室气体流量的气体流量测控设备、分别控制第一和第二真空室的温度的第一和第二控温设备。真空泵测试方法应用该真空泵测试系统。上述真空泵测试系统和测试方法可提供压力、流量和温度可控的测试环境，可以模拟不同情况下真空泵的抽气状态，且可用于不同种类的真空泵的抽气性能测试。
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公开(公告)号：CN113549900A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110828995.0
申请日：2021-07-22
申请人： 东北大学
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 一种MOCVD设备的喷淋盘结构，包括喷淋盘主体、喷淋盘封盖、III族气体进气管及V族气体进气管；喷淋盘主体上表面固设有同心且沿径向方向等间距分布的环状隔板；隔板间环向空间作为III族或V族气体进气缓存腔；III族与V族气体进气缓存腔沿径向方向交替布设；III族/V族气体进气缓存腔对应的喷淋盘主体上设有若干III族/V族气体出气孔道；环状隔板与喷淋盘封盖之间通过密封圈进行密封；喷淋盘封盖上表面设有冷却管路；III族和V族气体进气管在喷淋盘主体上具有两种进气方式，分为周向进气方式和中心进气方式。本发明进一步简化了喷淋盘结构设计，结构更加简单紧凑，保证了进气均匀性，降低了喷淋盘的空间占用率，更加有利于MOCVD设备的小型化。
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公开(公告)号：CN109336047B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201811168892.0
申请日：2018-10-08
申请人： 东北大学
摘要： 本发明涉及一种基于MEMS工艺的多层结构离子源芯片，包括底层硅、中间层玻璃、导电硅和顶层玻璃；底层硅上侧设有电极层和碳纳米管；中间层玻璃两侧分别设电极层；顶层玻璃下侧设电极层；底层硅与中间层玻璃结合，中间层玻璃及顶层玻璃分别与导电硅结合。中间层玻璃对应碳纳米管的上方区域为栅网结构，对中间玻璃层下侧电极层和底层硅电极层施加高电压激发碳纳米管产生电子，电子透过中间层玻璃的栅网结构进入该中间层玻璃上方的电离室中，在电离室内与待测气体样品发生碰撞产生离子，离子被设置在该电离室后方的离子提取与聚焦区引出和聚焦并加速。本发明的离子源芯片为“硅‑碳纳米管‑玻璃‑硅‑玻璃”的多层结构，具有体积小重量轻、低功耗、便携化等优点。
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公开(公告)号：CN109830422A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910142821.1
申请日：2019-02-26
申请人： 东北大学
IPC分类号： H01J41/18
摘要： 本发明涉及一种溅射离子泵磁路结构及溅射离子泵,包括抽气组件、一对梯台型磁轭、磁铁和下方磁轭，所述下方磁轭的两端上方分别设有所述磁铁，所述磁铁的上面固定梯台型磁轭，所述梯台型磁轭下宽上窄设置，所述一对梯台型磁轭的垂直面相对设置，所述抽气组件固定于两个梯台型磁轭之间，随着与磁铁距离的增大，所述梯台型磁轭的厚度逐渐缩小，收缩其中的磁力线，使抽气组件空间内形成磁感应强度不变的均匀磁场。该磁路结构中磁轭将大量磁力线束，带有磁轭的抽气组件内阳极筒轴线处的磁感应强度整体高于没有磁轭的抽气组件，磁场利用率高，提高效果明显，结构简单，有效降低了泵的体积和重量，降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN103572221A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310562024.1
申请日：2013-11-13
申请人： 东北大学
摘要： 一种在旋转机械薄壳构件表面制备阻尼减振复合涂层的方法，属于材料技术领域，按以下步骤进行：（1）以旋转机械薄壳构件作为基体，置于过滤电弧离子镀膜机的真空室内；（2）抽真空后将基体预热；（3）通入氩气，开启过滤电弧离子镀膜机，向基体表面沉积钛涂层；（4）向钛涂层表面沉积Ni60Cr33.7Al4.5Y1.8合金涂层；（5）向Ni60Cr33.7Al4.5Y1.8涂层表面沉积镁铝合金涂层，在基体表面制成阻尼减振复合涂层。本发明的方法制备阻尼减振复合涂层还具备以下特点：基底预处理不破坏叶片表面结构；预热温度低对叶片材料结构特性影响小；涂层选用材料普遍，不受采购等条件制约，工艺简单稳定性高，清洁无粉尘废气等污染物产生。
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公开(公告)号：CN114510800A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202210142173.1
申请日：2022-02-16
申请人： 东北大学
IPC分类号： G06F30/17 , G06F30/27 , G06N3/12 , G06F111/06 , G06F111/08 , G06F113/08
摘要： 本发明公开一种基于NSGA‑Ⅱ算法的罗茨真空机组设计结构优化的方法，方法首先初步拟定设计多级罗茨真空机组的级数、各级的转子半径、型线方程、转子厚度以及特征装配间隙，并以真空机组的极限压强、理论抽速和压缩功率作为待优化目标；然后拟定决策变量，以及决策变量的范围和其余变量数值参数；接着利用NSGA‑Ⅱ算法对三叶罗茨真空机组设计结构进行优化；最后根据优化所得的结果，判断对应的目标函数值是否符合标准，若符合要求则输出所有的结构参数；若不符合要求则重新拟定决策变量以及其余变量数值，重复上述步骤。本发明的方法不仅节约了罗茨真空机组结构优化成本，还具有较强的普适性，可以应用于不同领域内的罗茨泵机组结构设计。
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公开(公告)号：CN109830422B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201910142821.1
申请日：2019-02-26
申请人： 东北大学
IPC分类号： H01J41/18
摘要： 本发明涉及一种溅射离子泵磁路结构及溅射离子泵,包括抽气组件、一对梯台型磁轭、磁铁和下方磁轭，所述下方磁轭的两端上方分别设有所述磁铁，所述磁铁的上面固定梯台型磁轭，所述梯台型磁轭下宽上窄设置，所述一对梯台型磁轭的垂直面相对设置，所述抽气组件固定于两个梯台型磁轭之间，随着与磁铁距离的增大，所述梯台型磁轭的厚度逐渐缩小，收缩其中的磁力线，使抽气组件空间内形成磁感应强度不变的均匀磁场。该磁路结构中磁轭将大量磁力线束，带有磁轭的抽气组件内阳极筒轴线处的磁感应强度整体高于没有磁轭的抽气组件，磁场利用率高，提高效果明显，结构简单，有效降低了泵的体积和重量，降低了加工成本。
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