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公开(公告)号：CN108194343B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201711410851.3
申请日：2017-12-23
申请人： 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC分类号： F04B51/00
摘要： 本发明涉及一种真空泵测试系统及测试方法。真空泵测试系统包括分别用于与待测泵室的吸气口和排气口连通的第一和第二真空室、分别测量第一和第二真空室的压力的第一和第二测压系统、为第一和第二真空室供气的供气设备、分别从第一和第二真空室抽气的第一和第二抽气设备、测量和控制第一真空室气体流量的气体流量测控设备、分别控制第一和第二真空室的温度的第一和第二控温设备。真空泵测试方法应用该真空泵测试系统。上述真空泵测试系统和测试方法可提供压力、流量和温度可控的测试环境，可以模拟不同情况下真空泵的抽气状态，且可用于不同种类的真空泵的抽气性能测试。
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公开(公告)号：CN111365221B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201811601913.3
申请日：2018-12-26
申请人： 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC分类号： F04B51/00
摘要： 本发明涉及集成干泵测试台控制方法，该控制系统由流量控制单元、温度控制单元、压力控制单元及待测泵检测单元组成。该系统的主要特点是可实现一种控制量单独控制或多种控制量同时控制，通过对温度、流量、真空度、转速的控制，可以模拟干泵在带负载情况下的性能。所测数据均集成到PLC中分析处理，所有阀门均为电控阀门，系统可以全面实现自动化。
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公开(公告)号：CN108194343A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201711410851.3
申请日：2017-12-23
申请人： 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC分类号： F04B51/00
CPC分类号： F04B51/00
摘要： 本发明涉及一种真空泵测试系统及测试方法。真空泵测试系统包括分别用于与待测泵室的吸气口和排气口连通的第一和第二真空室、分别测量第一和第二真空室的压力的第一和第二测压系统、为第一和第二真空室供气的供气设备、分别从第一和第二真空室抽气的第一和第二抽气设备、测量和控制第一真空室气体流量的气体流量测控设备、分别控制第一和第二真空室的温度的第一和第二控温设备。真空泵测试方法应用该真空泵测试系统。上述真空泵测试系统和测试方法可提供压力、流量和温度可控的测试环境，可以模拟不同情况下真空泵的抽气状态，且可用于不同种类的真空泵的抽气性能测试。
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公开(公告)号：CN111365221A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811601913.3
申请日：2018-12-26
申请人： 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC分类号： F04B51/00
摘要： 本发明涉及集成干泵测试台控制方法，该控制系统由流量控制单元、温度控制单元、压力控制单元及待测泵检测单元组成。该系统的主要特点是可实现一种控制量单独控制或多种控制量同时控制，通过对温度、流量、真空度、转速的控制，可以模拟干泵在带负载情况下的性能。所测数据均集成到PLC中分析处理，所有阀门均为电控阀门，系统可以全面实现自动化。
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公开(公告)号：CN105606020A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201410627753.5
申请日：2014-11-10
申请人： 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
摘要： 本发明涉及无油真空获得领域，具体地说是一种用于罗茨干泵转子的快速检测系统及方法。系统包括检测台、光源系统、图像采集系统和计算机。方法包括：将待检测转子置于检测台上；通过光源系统将光束照射到待检测转子上；光束透过待检测的转子，投影于图像采集系统；图像采集系统采集投影信息进行成像、放大，并形成待检测模型传输至计算机中；计算机将待检模型与理论模型进行分析对比，最终打印检测结论及偏差报告。与传统的检测方法相比，本发明的应用可以降低三坐标的检测成本，提高检测效率。
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公开(公告)号：CN103899523A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201210589931.0
申请日：2012-12-29
申请人： 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC分类号： F04B49/06
摘要： 本发明涉及一种干泵统一电气控制平台系统，主控单元与辅助接口单元、外设适配接口单元连接；主控单元：根据来自辅助接口单元的指令对干泵进行控制，并输出控制命令至外设适配接口单元，同时将外设适配接口单元的干泵反馈信息输出至辅助接口单元；辅助接口单元：接收外部输入指令并显示干泵运行状态，通过多种接口与上位机通信；外设适配接口单元：用于将干泵的反馈信息反馈至主控单元并将主控单元的控制命令发送至干泵。本发明采用了干泵统一控制平台，增加了主板的适用范围，模块化了系统架构，提高了研发效率，也为新的泵种电气控制系统的研发提供了良好的研发平台。
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公开(公告)号：CN103047144A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210593500.1
申请日：2012-12-29
申请人： 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC分类号： F04C28/08
摘要： 一种能自动调压的干式真空泵控制方法，测量从大气压到真空状态时真空腔体的真空度参数，比较目标真空度参数与已存的真空度参数，读取频率信号，使真空腔体达到频率信号下的真空度，通过循环逼近过程，完成闭环控制。本发明可以根据客户需要的真空度，进行抽速自动调整，达到想要的真空度，并且具有温度，流量，排气压力，功率自动采集系统，可以根据报警设置值进行自我监测并具有自动保护功能。
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公开(公告)号：CN116085256A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211673395.2
申请日：2022-12-26
摘要： 本发明公开了一种多级干式真空泵的循环水冷控温系统，包括干式真空泵系统和多级水冷温控组件，所述干式真空泵系统包括有罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱，所述多级水冷温控组件用于分别检测控制罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱的温度。本发明通过多水路电磁阀根据腔体温度实时反馈，精准控温，将干式真空泵各压力段温度控制在标准范围内，确保工艺气体不会因为温度过低而凝结，不会因为温度过高而腐蚀零件，同时对需要控温的水路支路增加电磁阀，精准控温，不需要控温的水路支路，不安装电磁阀，可使电机变频器等零件保持低温，延长电控零部件寿命，也降低成本，整体设计延长干式真空泵使用寿命，避免干式真空泵过早失效。
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公开(公告)号：CN104632630B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201310573925.0
申请日：2013-11-13
申请人： 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种罗茨干泵热膨胀的控制系统及方法，温度采集单元连接温度传感器，采集温度传感器的温度信号后，转换为数字量信号发送给CPU控制单元；CPU控制单元连接电磁法执行单元，发送脉冲信号到电磁阀执行单元进行周期间歇性冷却；流量控制单元一端连接CPU控制单元，接收CPU控制单元的信号，控制流量供应，另一端连接冷却水水路单元，将调整后的流量信号发送给冷却水水路单元；冷却水水路单元一端连接电磁法执行单元，接收电磁阀执行单元的脉冲信号，另一端连接罗茨干泵泵体，对罗茨干泵泵体进行冷却处理。本发明可以根据材质热膨胀系数和温升速度计算冷却水流量，达到最佳热平衡。
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公开(公告)号：CN103104493B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201110356327.9
申请日：2011-11-11
申请人： 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
摘要： 本发明公开一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统，它包括双轴无油真空泵机械部分，还增设电动机控制部分；其中，双轴无油真空泵的每一根轴上分别装有电动机、定位齿轮和编码器，控制部分包括交流变频器、人机界面及CPU单元；通过该控制系统的精确控制，使无油干式真空泵双主轴运转保持位置同步，同时完成干式真空泵运转时的转速、旋转力矩、瞬时功率、故障等信息实时显示，与传统干式真空泵控制系统相比，本发明的应用可以降低原齿轮与轴封加工精度和省去润滑油进而减少了生产成本，可提高整机寿命一倍以上。
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