一种光学曲面加工用五轴二维超声抛光机床

    公开(公告)号:CN206263736U

    公开(公告)日:2017-06-20

    申请号:CN201621338724.8

    申请日:2016-12-08

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 一种光学曲面加工用五轴二维超声抛光机床,由机架、三维移动装置、旋转式超声振动抛光装置、旋转工作台、抛光液超声雾化施液装置和工件在线检测装置组成。使用时超声振动抛光装置的振幅按计算公式求得;通过程序控制系统使五轴联动,使抛光头轴线与工件抛光点法线始终保持重合;抛光液喷射方向与抛光点法线保持45度夹角。该抛光机床具有超声传递能量集中、抛光头和工件表面间接触应力均匀、抛光精度高、抛光过程去除率高、抛光液利用率高和工件抛光精度可在线检测等有益效果。

    一种三自由度可调课桌
    92.
    实用新型

    公开(公告)号:CN204169335U

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:CN201420599309.2

    申请日:2014-10-16

    Applicant: 东北大学

    Inventor: 程帅 徐昊 张涛

    Abstract: 一种三自由度可调课桌,属于教学用课桌技术领域。本实用新型的桌面与固定支座通过三自由度可调连接机构相连;桌面固定支架一端与桌面相固接,另一端与铰接转轴相铰接,其中部安装第一转动轴;第一摆杆一端铰接在第一转动轴上,另一端与第二可控气弹簧一端相铰接,其中部安装第二转动轴,第一可控气弹簧设置在铰接转轴与第二转动轴之间,第一可控气弹簧的两端分别与铰接转轴及第二转动轴相铰接;第二可控气弹簧另一端铰接在第三转动轴上,第三转动轴固装于固定支座上;第二摆杆一端铰接在第二转动轴上,另一端与第三可控气弹簧一端相铰接,第二摆杆中部铰接在第三转动轴上;第三可控气弹簧另一端铰接在第四转动轴上,第四转动轴固装于固定支座上。

    一种测量材料表面水蒸气吸附率与脱附动力学的设备

    公开(公告)号:CN218766860U

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202223139603.9

    申请日:2022-11-25

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本实用新型具体涉及一种测量材料表面水蒸气吸附率与脱附动力学的设备,包括真空系统、气体供应系统和水蒸气含量测量系统,管路和真空腔室采用PFA接头连接,加热套的面积大于真空腔室表面积的五分之四,第一水罐和第二流量计之间通过管路连接有第二水罐。本实用新型具有以下有益效果:设置的真空系统可有效模拟半导体制造过程中气体输送系统、设备腔室中的压力环境,并通过真空计检测真空腔室中的压力是否达到实验所需的压力值,设置了特殊的干、湿氮气供应系统,可通过调节干、湿氮气的流量比,设置了温度控制系统,在进行温度控制时,控制器根据热电偶向其反馈的测试值来控制加热套是否加热,通过设置两个水罐,使得湿度调节范围可以进行变化。

    一种光学曲面加工用五轴三维超声抛光机床

    公开(公告)号:CN206316881U

    公开(公告)日:2017-07-11

    申请号:CN201621445748.3

    申请日:2016-12-27

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 一种光学曲面加工用五轴三维超声抛光机床,由机床、抛光液超声雾化施液装置和工件在线检测装置组成;机床上有X、Z和Y向移动机构;Z向移动机构上有主轴超声振动抛光装置,Y向移动机构上有Y向超声振动装置,在Y向超声振动装置上有C向转动工作台。该机床通过五轴联动可使抛光头轴线方向与工件抛光点的法线平行,抛光头转动时,Y向超声振动装置的超声波和绕Z向摆动的超声振动抛光装置的超声波在平面内垂直耦合,当Y向超声振动装置的振幅A1大于超声振动抛光装置的振幅A2时,抛光头与工件能够形成长轴在Y方向、短轴处于工件抛光点法线位置的椭圆形加工轨迹,从而使抛光头与工件的接触面积增大,曲面去除率和抛光加工效率可大幅提高。

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