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公开(公告)号：CN113916891B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202111121299.2
申请日：2021-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 基于光纤环形光束的暗场共焦布里渊显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。本发明装置包括光纤环形光照明模块、环形光扫描模块、明场共聚焦模块、暗场共焦布里渊频谱分析模块；通过光纤产生环形照明光束与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号，可同时获取微米级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；共聚焦及布里渊频谱立体测量可对样品机械性质进行三维检测。
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公开(公告)号：CN116399222A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310253068.X
申请日：2023-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种基于圆二向色性暗场非线性热波共焦显微测量装置和方法，装置包括：时分复用圆偏光产生模块，用于将偏振激光分为左右旋圆偏光，调制后耦合；热波探测光整形模块，用于将耦合的光束整形成环形光；热波泵浦光产生模块，用于产生热波泵浦光；光束照明模块，用于利用环形光和热波泵浦光合束后的光束对待测样品进行扫描；暗场非线性热波探测模块，用于过滤出扫描光束中的热波散射光，根据热波散射光得到暗场热波信号，对暗场热波信号进行解调得到圆二向色性暗场热波成像结果。通过本发明可获取多种几何缺陷的三维分布信息以及缺陷的手性检测。
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公开(公告)号：CN113916891A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111121299.2
申请日：2021-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 基于光纤环形光束的暗场共焦布里渊显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。本发明装置包括光纤环形光照明模块、环形光扫描模块、明场共聚焦模块、暗场共焦布里渊频谱分析模块；通过光纤产生环形照明光束与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号，可同时获取微米级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；共聚焦及布里渊频谱立体测量可对样品机械性质进行三维检测。
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公开(公告)号：CN109596063B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201811496695.1
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 多波长高分辨力立体视觉测量系统与方法光学非接触三维测量领域，具体涉及一种利用立体视觉与扫描放大测量系统联用测量大尺度三维物体形貌、形变、位移等的系统和方法；该系统有多个多波长高分辨力立体视觉单目测量装置组成，每一个多波长高分辨力立体视觉单目测量装置包括激光照明模块、视觉摄像模块、扫描放大测量模块；该方法首先将待测物体放置在本装置视场范围及清晰成像范围内；其次，利用扫描放大测量模块通过摄像模块逐点扫描整个物体；利用视觉三维成像原理对采集到的图片进行处理得到高分辨力的物体三维形貌；本发明可以显著提高大尺度视觉系统的测量分辨力。
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公开(公告)号：CN111239993A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010059141.6
申请日：2020-01-18
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 南京恒锐精密仪器有限公司 , 江苏锐精光电研究院有限公司
IPC: G02B21/00 , G02B21/06 , G02B21/36 , G01N21/552 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种基于极性散射的超分辨全内反射显微成像装置及方法，该装置包括偏振照明模块、光束扫描模块和检偏探测模块，偏振照明模块、光束扫描模块和检偏探测模块沿光线传播方向依次布置；偏振照明模块沿光线传播方向依次设有激光器、第一偏振片以及四分之一玻片；光束扫描模块沿光线传播方向依次设有二维扫描振镜、扫描透镜、第一管镜、圆锥反射镜以及圆锥透镜；检偏探测模块沿光线传播方向依次设有物镜、第二偏振片、第二管镜以及相机。该装置以及方法不需要荧光染色即可实现超分辨成像，可以更加真实观测样品动态，无类似荧光成像的漂白特性，可以长时间成像，无需标记即可超分辨，根据不同阶数m可得到m倍分辨率提升。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111220625A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN202010058975.5
申请日：2020-01-18
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 南京恒锐精密仪器有限公司 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了表面及亚表面一体化共焦显微测量装置和方法，装置包括环形光照明模块、环形光扫描模块、暗场共焦探测模块和反射共焦探测模块；环形光照明模块包括激光器、扩束镜、偏振片一、凹面锥透镜和半反半透膜一；环形光扫描模块包括二维扫描振镜、扫描透镜、管镜、物镜和待测样品；暗场共焦探测模块包括半反半透膜二、光阑、偏振片二、聚焦透镜一、针孔一和相机一；反射共焦探测模块包括偏振片三、聚焦透镜二、针孔二和相机二。本发明通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号，可同时获取纳米级表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息，兼具表面及亚表面缺陷一体化检测功能。
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公开(公告)号：CN110146972A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910390024.5
申请日：2019-05-10
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京锐驰恒业仪器科技有限公司 , 江苏锐精光电有限公司
IPC: G02B19/00
Abstract: 本发明公开了一种集光器，包括：透镜阵列板、集光孔阵列板、导光槽和侧向集光系统；所述导光槽内设置有集光孔阵列板，所述集光孔阵列板的底部设有一级反射体，所述侧向集光系统设置于所述导光槽一侧，所述透镜阵列板安装于所述导光槽的上方，与所述导光槽形成一体式封闭结构。在本发明中，光线通过透镜阵列板照射入集光孔阵列板，通过所述集光孔阵列板上的反射体对光线逐一反射进行传递，并传递至侧向集光系统，最终本发明可以将所有从透镜阵列板射入的光集成一束，产生了极强的集光效果，且本发明结构简单，降低了制作成本，且减小了集光器的体积，安装也更加方便。
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公开(公告)号：CN107941770B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201711242152.2
申请日：2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 变焦双光子光镊显微成像装置和方法，属于光学显微成像与光学操控技术领域。本发明专利的技术特点是：装置包括：双光子照明模块、双光子扫描模块、双光子探测模块、双光子轴向调焦模块和光镊聚焦模块。本发明在常规双光子显微系统中增加由偏振分光镜、四分之一波片、低孔径物镜、管镜和平面反射镜组成的轴向调焦装置，实现共光路光镊双光子显微镜中双光子焦面的轴向移动，从而抓取悬浮样品实现轴向移动，完成双光子三维层析扫描成像。该发明具有装调简单，变焦与轴向层析速度快，低观测成本低的优点。
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公开(公告)号：CN109580640A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811497545.2
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明提供一种环形光式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法，属于光学精密测量技术领域。点光源发出的光依次经过准直镜、环形光发生器、分光棱镜和物镜，物镜将激光汇聚至待测样品，载有待测样品信息的反射光和散射光依次经过物镜和分光棱镜，入射至探测互补光阑，反射光被探测互补光阑遮挡，散射光依次经过探测互补光阑、收集透镜和探测针孔，最终入射至光电探测器，从而完成对亚表面的检测。本发明采用环形光束照明，结合探测互补光阑实现暗场共焦，解决了普通共焦显微技术检测亚表面损伤信噪比低的问题，适用于亚表面无损检测。
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公开(公告)号：CN109470710A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811495808.6
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种基于同轴双圆锥透镜的暗场共焦亚表面检测装置和方法，点光源发出的光经准直镜形成平行光，平行光依次经扩束器、圆锥透镜一和圆锥透镜二形成环形光，环形光经分光棱镜和物镜汇聚至待测样品；待测样品发出的反射光和散射光依次经过物镜和分光棱镜，入射至探测互补光阑，反射光被探测互补光阑遮挡，散射光依次经过探测互补光阑、收集透镜和探测针孔，入射至光电探测器。本发明采用扩束器以及一组对称放置的同轴圆锥透镜实现占空比可调的环形光照明，结合探测互补光阑实现暗场共焦，解决了普通共焦显微技术检测亚表面损伤信噪比低、遮挡式环形光发生器占空比不可调、能量损失大的问题，适用于亚表面无损检测。
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