一种晶圆缺陷检测系统及方法

    公开(公告)号:CN114441440A

    公开(公告)日:2022-05-06

    申请号:CN202111589118.9

    申请日:2021-12-23

    Inventor: 杨青 王智 庞陈雷

    Abstract: 本发明公开了一种晶圆缺陷检测系统及方法,系统包括处理单元、控制单元、信号采集单元、位移组件和检测组件;工作过程为位移组件带动晶圆移动,巡边探测单元将拍摄到的晶圆边缘信息结合位移台移动位置,得到晶圆相对于检测组件光轴的坐标位置,随后,根据晶圆的坐标位置移动位移台,线阵探测单元和面阵探测单元分别对晶圆表面进行扫描拍摄,采集得到的数据经信号采集单元传输给处理单元分析使用。本系统中包含了巡边探测单元,能够补偿由于晶圆放置位置的偏差带来的定位偏差,同时,线阵探测单元和面阵探测单元根据位移组件高精度的位置反馈,在不同位置拍摄图像,可以建立晶圆位置与图像的对应关系,有利于后续的图像拼接和缺陷识别处理。

    一种基于大色散镜头的双模态高分辨大深度显微内窥成像系统

    公开(公告)号:CN113349708A

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN202110639676.5

    申请日:2021-06-08

    Abstract: 本发明公开了一种基于大色散镜头的双模态高分辨大深度显微内窥成像系统,包括光纤束共聚焦模块,OCT成像模块和内窥探头模块;所述光纤束共聚焦模块包括:激光器模块、共聚焦扫描模块和共聚焦成像模块;所述OCT成像模块包括扫频激光模块、样品臂模块、参考臂模块和干涉探测模块。本发明一次下镜就可实现多种功能,既能对病变部位进行高分辨高精度二维成像,又能对病变组织进行大深度三维成像,从而使医师能够对病变的显微结构做出更加精确的判断,并且不会对组织部位造成伤害,提高癌症的检出率和诊断水平。

    一种基于图像重构算法的纵向层析成像方法和装置

    公开(公告)号:CN113049550A

    公开(公告)日:2021-06-29

    申请号:CN202110158098.3

    申请日:2021-02-04

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开一种基于图像重构算法的纵向层析成像方法,包括:利用激光产生的倏逝波,照明具有非线性效应的样品,并拍摄激发的荧光强度图像;将样品的归一化非线性发光效率与激光输入强度之间的关系曲线和倏逝波沿纵向强度分布曲线联立,获得描述样品纵向位置与其对拍摄的图像强度贡献之间关系的贡献曲线;改变倏逝波照明强度,使贡献曲线的线型发生改变,拍摄N幅对应不同强度下的图像,构建包含N个方程的方程组;使用图像重构算法在约束条件下求解方程组,获得倏逝波穿透深度内样品高分辨率、高精度的纵向空间分布。本发明可获得远高于倏逝波穿透深度的纵向分辨率和定位精度,无需控制倏逝波照明的全内反射角,适用于基于片上波导结构的倏逝波照明。

    一种结合SfM和双目匹配的内窥图像三维重建方法

    公开(公告)号:CN112967330A

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN202110305793.8

    申请日:2021-03-23

    Abstract: 本发明公开了一种结合SfM(Structure from Motion)和双目匹配的内窥图像三维拼接方法,包括内窥镜左右视图序列获取,左视图或右视图序列SfM重建,双目匹配位点判断,双目匹配重建,点云预处理和SfM点云与双目匹配点云配准等步骤,本方法针对胃肠道场景的特点,在SfM三维重建点云框架的基础上,通过双目匹配点云的三维拼接,实现整个场景的快速稠密重建,重建结果保留了原有的特征和尺度信息,方便医生进行重点区域的观察和三维测量。

    一种环形光纤束照明装置
    96.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112710611A

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN202110026818.0

    申请日:2021-01-09

    Abstract: 本发明公开了一种环形光纤束照明装置,包括会聚透镜、一分多束的光纤束、安装支架和光学元件,一分多束的光纤束中的各根光纤的弯折半径大于100毫米,安装支架设有光路通道,光学元件安装于光路通道中,光源经会聚透镜会聚后耦合到一分多束的光纤束的母光纤束中,一分多束的光纤束的各子光纤束分别以垂直于物面的方向插入到光路通道中且各子光纤束呈环形分布,一分多束的光纤束的子光纤束发出的光束以垂直于物面的角度出射且经对应的光学元件准直并转折后以环形照明光倾斜照射到物面上。本发明在使用石英光纤等弯折半径较大的光纤作传导介质且一分多束的光纤束的子光纤束数量较多时仍具有紧凑而小型的结构,可实现对半导体晶圆的亚表面缺陷的检测。

    一种用于检测甲状旁腺位置的AR检测眼镜

    公开(公告)号:CN112704474A

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN202011377245.8

    申请日:2020-11-30

    Abstract: 一种用于检测甲状旁腺位置的AR检测眼镜,包括镜架,所述镜架包括横梁以及镜腿,所述横梁内设中空腔,且其横向两端部各固连一根镜腿;横梁的中空腔内设供电电源、近红外自体荧光接收器件和数据信号处理组件,横梁前端面的中部设有近红外自体荧光激发器件和近红外光源照明和自体荧光接收光路组件;所述横梁前端面的横向两端部对称设有各设有一个相机,两个相机组成可见光RGB双目相机;横梁的底部沿其长度方向固装两片遮挡在使用者眼部的增强显示镜片组件,两片增强显示镜片组件包括镜片以及AR显示器,两片增强显示镜片组件的相互靠拢的内侧沿架于鼻梁上,AR显示器设置于镜片内。本发明的有益效果是:迅速检测甲状旁腺位置,并与实际场景融合。

    基于噪声标定的内窥镜摄像系统自适应时域降噪方法

    公开(公告)号:CN112291447B

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:CN202011473693.8

    申请日:2020-12-15

    Abstract: 本发明公开了一种基于噪声标定的内窥镜摄像系统自适应时域降噪方法,该方法包括噪声标定模块和自适应时域降噪模块。噪声标定模块自动调整摄像系统的增益和曝光并连续拍摄多幅测试标板图像,计算不同增益不同曝光下各个灰阶的亮度均值和降噪阈值,并保存到参数文件中,其中降噪阈值在时域降噪时用来判定像素点是否属于静止。自适应时域降噪模块读取保存的参数文件,依据摄像系统当前的增益和曝光值,结合视频帧各个像素点的局部亮度,对每个像素点自动选取最合适的降噪阈值来判定是否属于静止并进行时域降噪。本发明提出的降噪方法能有效降低静止区域的时域噪声,无需人为设定降噪阈值,同时考虑了摄像系统的增益和曝光,自适应性强,实时性好。

    基于噪声标定的内窥镜摄像系统自适应时域降噪方法

    公开(公告)号:CN112291447A

    公开(公告)日:2021-01-29

    申请号:CN202011473693.8

    申请日:2020-12-15

    Abstract: 本发明公开了一种基于噪声标定的内窥镜摄像系统自适应时域降噪方法,该方法包括噪声标定模块和自适应时域降噪模块。噪声标定模块自动调整摄像系统的增益和曝光并连续拍摄多幅测试标板图像,计算不同增益不同曝光下各个灰阶的亮度均值和降噪阈值,并保存到参数文件中,其中降噪阈值在时域降噪时用来判定像素点是否属于静止。自适应时域降噪模块读取保存的参数文件,依据摄像系统当前的增益和曝光值,结合视频帧各个像素点的局部亮度,对每个像素点自动选取最合适的降噪阈值来判定是否属于静止并进行时域降噪。本发明提出的降噪方法能有效降低静止区域的时域噪声,无需人为设定降噪阈值,同时考虑了摄像系统的增益和曝光,自适应性强,实时性好。

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