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公开(公告)号：CN118226580A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410442407.3
申请日：2024-04-12
Abstract: 本发明公开了一种二维多矩形微纳结构，具有二维周期性间隔设置的脊和沟槽，所述的二维多矩形微纳结构由上至下为介质层和基底，每个周期的介质层包含两个以上的垂直矩形柱状结构作为脊；其中，每个周期中所述垂直矩形柱状结构的宽度不同、长度不同、高度相同。本发明还公开了包括上述二维多矩形微纳结构的AR衍射型波导的基于微纳结构的耦入光栅及其设计优化方法。本发明提供的二维多矩形微纳结构的透射衍射(0,1)级可以在TE和TM偏振光入射时均有90％以上的均匀度，且平均衍射效率较高，在大角度范围内仍能满足波导内的全反射；本发明提供的AR衍射型波导的基于微纳结构的耦入光栅可以提高图像源入射的衍射均匀性。
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公开(公告)号：CN119901754A
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202510345084.0
申请日：2025-03-24
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01N21/95 , G06T7/00 , G06V10/764 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/096 , G06N3/045
Abstract: 本发明公开一种基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检测系统及方法，系统包括：双光梳光源模块、空间编码照明模块、时间编程控制模块、信号采集处理模块及数据分析处理模块，数据分析处理模块接收待测晶圆表面的复原三维形貌信息并进行分析，提取缺陷相关特征，建立光谱特征与缺陷之间的映射关系，对晶圆表面缺陷进行识别得到相应的缺陷种类和位置信息。本发明采用基于双光梳时空编码的晶圆缺陷检测技术，利用双光梳干涉技术实现快速扫描和并行探测，大幅提高检测效率，本发明能够获得晶圆表面的绝对距离信息，将此结果反馈给精密气浮运动平台可以省去自动对焦光路系统及反馈控制部分，提高检测效率，降低整个晶圆检测系统的体积、复杂度和成本。
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公开(公告)号：CN119738999A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411991173.4
申请日：2024-12-31
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F1/44 , G02B26/12 , G02B21/00 , G01N21/956 , G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种基于高灵敏探测模块的多光束共焦掩模版缺陷检测系统与方法，本发明基于微透镜阵列实现对探测所得艾里斑的分割，并利用光纤分别将对应信号传输至光电倍增管进行探测，微透镜阵列、光纤及光电倍增管共同组成高灵敏探测模块实现对掩模版缺陷的准确检测。相较于传统的仅使用光电倍增管的探测方式，本发明摆脱了传统探测方法对单侧照明方式及楔形分光器件的依赖，具有检测分辨率更高，检测结果更加准确以及缺陷形貌判断更加准确等优势。
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公开(公告)号：CN119642744A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202510163756.6
申请日：2025-02-14
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01B11/27 , G06T7/73 , G06V10/774 , G06V10/82 , G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种同轴光学组件光学轴位姿测量及装调方法，采用基于干涉测量与亚波长结构的计算全息片结合的测量方式，分离各个光学组件的光学轴空间位姿，并将各个光学轴的空间位姿信息反映到干涉图中；结合基于深度学习的失调量参数解算方法，可以快速迭代、反馈光学组件的失调量，进而完成同轴光学组件的快速装调。本发明的优点在于采用基于干涉测量与亚波长结构的计算全息片结合的测量方式，在保证测量精度的同时，可以分离出各个光学组件的光学轴空间位姿信息；通过深度学习神经网络模型分析光学轴空间位姿与失调量之间的映射关系，提高空间位姿解算、迭代效率。
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公开(公告)号：CN119596647A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411891856.2
申请日：2024-12-20
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开基于圆采样函数分解叠加瞳移矩阵的光刻仿真方法及系统，方法包括：对扩展光源的形状函数及光瞳函数进行采样，得到相应的叠加瞳移矩阵；将叠加瞳移矩阵、扩展光源及光瞳面的频域圆采样函数矩阵进行处理，得到频域交叉传输系数矩阵并得到投影矩阵；将投影矩阵进行奇异值分解处理，得到奇异值分解结果；基于奇异向量对空间域圆采样函数矩阵进行处理，得到卷积核矩阵；基于奇异值分解结果、卷积核矩阵和初始霍普金斯模型，构建空间域图像仿真模型；基于空间域图像仿真模型，得到空间域图像仿真结果。本发明利用叠加瞳移矩阵方法和解析圆采样函数分解，能够减少对TCC矩阵的直接计算和存储，显著降低获得核所需的计算消耗。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119504398A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411668509.3
申请日：2024-11-21
Applicant: 浙江大学衢州研究院
IPC: C07C51/09 , C07C63/26 , C07C51/235 , C07C59/06 , C07C59/08 , B01J23/888 , B01J23/89 , B01J23/46 , B01J23/28 , B01J29/46 , B01J29/78
Abstract: 本发明属于废旧混纺纺织品的回收利用技术领域，具体公开一种废旧混纺纺织品氧化解聚为α‑羟基酸和对苯二甲酸的方法，将废旧混纺纺织品、固体酸催化剂、反应溶液加入到催化反应釜中，充入一定量空气和/或氧气，升温至指定温度搅拌下进行选择性氧化解聚，反应结束，产物经过滤、浓缩和分离提纯得到对苯二甲酸、乙醇酸和乳酸，对苯二甲酸和α‑羟基酸既是混纺纺织品的解聚产物又能够作为催化剂参与混纺的解聚，实现了废旧混纺纺织品解聚转化的自催化过程，产物组成简单，易于回收，充分利用原料中碳原子，符合绿色化学的要求，实现“一锅法”解聚转化废旧混纺纺织品中的多种组份，工艺步骤少、经济效益高、实际操作简单。
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公开(公告)号：CN118795737B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202410827223.9
申请日：2024-06-25
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于电光高速移相的干涉超分辨光刻系统和方法，该干涉超分辨光刻系统通过分别对两束相位调控后的激光进行偏振方向调控，使得两束激光的偏振方向相同，以保证最高对比度的干涉条纹，减少干涉条纹图案中的伪影，并通过对偏振方向相同的两束激光束的径向相对位置进行调控，从而能够实现对干涉条纹周期方向的灵活调控；本发明还通过对分束的两束激光的相位差进行调控，从而实现对干涉条纹的位置进行灵活调控；基于对干涉条纹的周期方向和位置的灵活调控，从而能够灵活实现各类微结构表面形貌和排列。
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公开(公告)号：CN119310726A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411759308.4
申请日：2024-12-03
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明公开了一种非线性焦点调制显微成像装置及方法，涉及显微成像技术领域。包括照明系统、探测系统和计算机，照明系统包括依次设置的激光器、电光调制模块、相位调制模块和荧光探测模块，激光器用于发出功率足够使荧光分子的响应产生非线性饱和效应的激光光束，电光调制模块快速转换激光光束的偏振状态，相位调制模块对线偏振光进行相位调制，形成照明样品并激发荧光信号的光斑，荧光探测模块，对荧光信号进行处理得到饱和实心光斑和空心光斑的扫描结果。本发明能够简化光学系统，减少样品运动和系统不稳定可能带来的噪声和差分操作后可能引入的伪像，提升成像质量和信噪比。
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公开(公告)号：CN118671956B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411141311.X
申请日：2024-08-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种集成量子隧穿传感的单分子等离激元光镊系统，该系统包括用于激发隧穿电极探针局域表面等离激元共振的激发光模块，用于照明成像视场的照明模块，用于观测隧穿电极探针在待测溶液中的位置、定位隧穿电极探针的尖端纳米电极对所在焦平面的成像模块，用于单分子量子隧穿信号探测的电学检测模块。隧穿电极探针的尖端具有纳米电极对，且两个电极的间隙满足使得探针具有量子隧穿效应，电极的材料满足能够产生等离激元共振效应。本发明使用具有量子隧穿传感功能的纳米电极探针作为等离激元光镊操纵平台，可以实现亚5纳米尺度下的单分子的同步光学捕获与实时测量。
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公开(公告)号：CN118759731A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202411049360.0
申请日：2024-08-01
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种非相干光照明的合成孔径超分辨望远镜的成像系统和方法，包括用于对目标物实现照明的非相干光源，用于对望远镜接收的光场信号进行滤波的多通道窄带滤光片和小孔，用于收集成像信号的望远光学系统，用于确定望远镜位置的望远镜定位系统，用于移动望远镜的位移平台，用于记录望远光学系统的成像信号的光学相机，用于图像的存储、重构和显示的计算系统。位移平台负载望远光学系统、多通道窄带滤光片、小孔、望远镜定位系统、光学相机和计算系统。该技术方案能够避免传统相干合成孔径成像只能获取单一波长的高分辨信息，还能提升超分辨成像的光子利用率和信噪比。
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