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公开(公告)号：CN1208599C
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN03132258.1
申请日：2003-08-07
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明提出一种适应于工程应用的不可见像的光学成像方法及光学成像装置，它是通过检测微梁的转角来实现的，既有很高的测量灵敏度，又有很好的抗振性能。上述不可见像的光学成像方法是：用点光源的光照射兼有获取热像信号的微梁阵列，来自微梁阵列衍射光通过其汇聚谱平面上的直线边界滤波单元滤波操作后，再经成像透镜由光学接收器接收。用于实施上述方法的不可见像的光学成像装置是由光源、兼有获取热像能力的微梁阵列、成像透镜、光学接收器和零部件组装用的支架组成，在由来自微梁阵列的衍射光的汇聚谱平面上设有直线边界滤波单元且成像透镜位于直线边界滤波单元之后，光源为点光源。
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公开(公告)号：CN1556648A
公开(公告)日：2004-12-22
申请号：CN200310112820.1
申请日：2003-12-31
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 一种用于获取并转换红外信号的光－机械式微梁阵列热型红外图象传感器，包括按阵列分布的微梁单元，微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板，热变形机构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧，本发明的关键在于：整个微梁单元为侧向支撑的无底单层平面结构；热变形机构由热隔离梁和变形梁构成折转式分布；红外吸收板与变形梁连接，支撑梁与热隔高梁连接；每组热变形机构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成；所述的微梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列。本发明不仅工艺实现简单，而且器件不发生粘连、不容易失效和破坏，对器件的真空度要求也大幅降低。无硅衬底部分反射红外线，更多的能量直接到达探测单元，使探测更灵敏。
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公开(公告)号：CN1474162A
公开(公告)日：2004-02-11
申请号：CN03132258.1
申请日：2003-08-07
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明提出一种适应于工程应用的不可见像的光学成像方法及光学成像装置，它是通过检测微梁的转角来实现的，既有很高的测量灵敏度，又有很好的抗振性能。上述不可见像的光学成像方法是：用点光源的光照射兼有获取热像信号的微梁阵列，来自微梁阵列衍射光通过其汇聚谱平面上的直线边界滤波单元滤波操作后，再经成像透镜由光学接收器接收。用于实施上述方法的不可见像的光学成像装置是由光源、兼有获取热像能力的微梁阵列、成像透镜、光学接收器和零部件组装用的支架组成，在由来自微梁阵列的衍射光的汇聚谱平面上设有直线边界滤波单元且成像透镜位于直线边界滤波单元之后，光源为点光源。
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公开(公告)号：CN201184818Y
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200820031830.0
申请日：2008-02-01
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 光学读出热型红外图像传感器中加强型红外吸收板，其结构形式是以非金属红外吸收膜为下层、以金属镀层为上层，形成单层膜结构；其结构特征是在所述红外吸收膜的底部，设置抗弯曲加强筋，所述抗弯曲加强筋与所述非金属红外吸收膜为同种材质或不同种材质。本实用新型以较为简单的结构形式解决了红外吸收板在厚度与平整度之间所存在的矛盾，从而更进一步提高了FPA性能。本实用新型制备工艺简单、易于实施。
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公开(公告)号：CN2932866Y
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200620072386.8
申请日：2006-04-12
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H04N5/33 , H01L31/09 , H01L37/00 , H01L49/00 , H01L27/146
Abstract: 本实用新型是一种光学读出热型红外图像传感器，包括固定在支撑梁上的微梁单元，微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板，热变形机构形成折转式分布；其特征在于：热变形机构为两层，由上层和下层连续回折构成；上层的初级与红外吸收板连接、下层的末级与支撑梁连接；上下两层热变形梁的不同方向的表面上有金属薄膜，最末一级或二级为热隔离梁；上层和下层微梁还可以错位。所述微梁单元可以直接采用顺序平铺的方式构成阵列。本实用新型克服了现有技术中感热像素的平面尺寸有限而红外吸收板和热变形机构又希望尽可能大的矛盾，使微梁单元单位温升的热变形量、感热单元的占空比、红外线的吸收效率等进一步提高，从而提高其红外探测灵敏度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN2639846Y
公开(公告)日：2004-09-08
申请号：CN03277436.2
申请日：2003-08-07
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本实用新型提出一种适应于工程应用的不可见像的光学成像装置，它是通过检测微梁的转角来实现的，既有很高的测量灵敏度，又有很好的抗振性能。该装置是由光源、兼有获取热像能力的微梁阵列、成像透镜、光学接收器和零部件组装用的支架组成，在由来自微梁阵列的衍射光的汇聚谱平面上设有直线边界滤波单元且成像透镜位于直线边界滤波单元之后，光源为点光源。本实用新型提出了直线边界(例如刀口、狭缝和矩形孔)的光学滤波技术，在保证光学测量装置的探测灵敏度的同时，使光学测量装置具有很高的空间分辨率和数据的可靠性。本实用新型采用非干涉测量方式，光学抗振性能高，适合工程应用。
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公开(公告)号：CN206945489U
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201720699934.8
申请日：2017-06-15
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01N15/06
Abstract: 本实用新型公开了一种便携式电子产品及其微颗粒物传感装置，微颗粒物传感装置，包括本体部件(1)及设置于所述本体部件(1)的气流通道内，用于检测微粒含量的检测单元，还包括设置于所述气流通道内的流量传感器(2)。本实用新型提供的微颗粒物传感装置，有效避免了在微颗粒物传感装置内设置风扇，有效减小了微颗粒物传感装置的体积，便于集成于随身携带的产品中；并且，功耗低且降低了生产成本；避免了风扇的耗损器件，有效提高了微颗粒物传感装置的使用寿命；无需运动部件(如风扇)，有效避免了微颗粒物传感装置振动的情况，以便于集成在其他设备上，方便了微颗粒物传感装置的设置。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN2703328Y
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN200320123633.9
申请日：2003-12-31
Applicant: 中国科学技术大学
CPC classification number: G01J5/023
Abstract: 一种用于获取并转换红外信号的光－机械式微梁阵列热型红外图象传感器，包括按阵列分布的微梁单元，微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板，热变形机构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧，本实用新型的关键在于：整个微梁单元为侧向支撑的无底单层平面结构；热变形机构由热隔离梁和变形梁构成折转式分布；红外吸收板与变形梁连接，支撑梁与热隔离梁连接；每组热变形机构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成；所述的微梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列。本实用新型不仅工艺实现简单，而且器件不发生粘连、不容易失效和破坏，对器件的真空度要求也大幅降低。无硅衬底部分反射红外线，更多的能量直接到达探测单元，使探测更灵敏。
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