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公开(公告)号:CN1208599C
公开(公告)日:2005-06-29
申请号:CN03132258.1
申请日:2003-08-07
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明提出一种适应于工程应用的不可见像的光学成像方法及光学成像装置,它是通过检测微梁的转角来实现的,既有很高的测量灵敏度,又有很好的抗振性能。上述不可见像的光学成像方法是:用点光源的光照射兼有获取热像信号的微梁阵列,来自微梁阵列衍射光通过其汇聚谱平面上的直线边界滤波单元滤波操作后,再经成像透镜由光学接收器接收。用于实施上述方法的不可见像的光学成像装置是由光源、兼有获取热像能力的微梁阵列、成像透镜、光学接收器和零部件组装用的支架组成,在由来自微梁阵列的衍射光的汇聚谱平面上设有直线边界滤波单元且成像透镜位于直线边界滤波单元之后,光源为点光源。
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公开(公告)号:CN1556648A
公开(公告)日:2004-12-22
申请号:CN200310112820.1
申请日:2003-12-31
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 一种用于获取并转换红外信号的光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器,包括按阵列分布的微梁单元,微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板,热变形机构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧,本发明的关键在于:整个微梁单元为侧向支撑的无底单层平面结构;热变形机构由热隔离梁和变形梁构成折转式分布;红外吸收板与变形梁连接,支撑梁与热隔高梁连接;每组热变形机构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成;所述的微梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列。本发明不仅工艺实现简单,而且器件不发生粘连、不容易失效和破坏,对器件的真空度要求也大幅降低。无硅衬底部分反射红外线,更多的能量直接到达探测单元,使探测更灵敏。
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公开(公告)号:CN1474162A
公开(公告)日:2004-02-11
申请号:CN03132258.1
申请日:2003-08-07
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明提出一种适应于工程应用的不可见像的光学成像方法及光学成像装置,它是通过检测微梁的转角来实现的,既有很高的测量灵敏度,又有很好的抗振性能。上述不可见像的光学成像方法是:用点光源的光照射兼有获取热像信号的微梁阵列,来自微梁阵列衍射光通过其汇聚谱平面上的直线边界滤波单元滤波操作后,再经成像透镜由光学接收器接收。用于实施上述方法的不可见像的光学成像装置是由光源、兼有获取热像能力的微梁阵列、成像透镜、光学接收器和零部件组装用的支架组成,在由来自微梁阵列的衍射光的汇聚谱平面上设有直线边界滤波单元且成像透镜位于直线边界滤波单元之后,光源为点光源。
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公开(公告)号:CN1228615C
公开(公告)日:2005-11-23
申请号:CN03132259.X
申请日:2003-08-07
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01J5/10
Abstract: 本发明提出一种用于将不可见图像转化为可见图像的红外热像成像仪,由光源,微梁阵列,成像透镜,光学接受器和零部件组装用的支架组成,在微梁阵列前方设有红外透镜,在来自微梁阵列的衍射光的汇聚谱平面上设有直线边界滤波单元且成像透镜位于直线边界滤波单元之后,光源为点光源。本发明有以下几个方面的优点:①在本发明的直线边界的光学滤波技术,在保证光学测量装置的探测灵敏度的同时,使光学测量装置具有很高的空间分辨率和数据的可靠性。②确认了照明强度(光学接收器的量化级数)与探测灵敏度的关系,探测灵敏度的提高可以通过简单的调节照明强度加以实现。③光学测量装置采用非干涉测量方式,光学抗振性能高,适合工程应用。
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公开(公告)号:CN1254959C
公开(公告)日:2006-05-03
申请号:CN200310112820.1
申请日:2003-12-31
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 一种用于获取并转换红外信号的光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器,包括按阵列分布的微梁单元,微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板,热变形机构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧,本发明的关键在于:整个微梁单元为侧向支撑的无底单层平面结构;热变形机构由热隔离梁和变形梁构成折转式分布;红外吸收板与变形梁连接,支撑梁与热隔离梁连接;每组热变形机构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成;所述的微梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列。本发明不仅工艺实现简单,而且器件不发生粘连、不容易失效和破坏,对器件的真空度要求也大幅降低。无硅衬底部分反射红外线,更多的能量直接到达探测单元,使探测更灵敏。
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公开(公告)号:CN1474169A
公开(公告)日:2004-02-11
申请号:CN03132259.X
申请日:2003-08-07
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01J5/10
Abstract: 本发明提出一种用于将不可见图像转化为可见图像的红外热像成像仪,由光源,微梁阵列,成像透镜,光学接受器和零部件组装用的支架组成,在微梁阵列前方设有红外透镜,在来自微梁阵列的衍射光的汇聚谱平面上设有直线边界滤波单元且成像透镜位于直线边界滤波单元之后,光源为点光源。本发明有以下几个方面的优点:①在本发明的直线边界的光学滤波技术,在保证光学测量装置的探测灵敏度的同时,使光学测量装置具有很高的空间分辨率和数据的可靠性。②确认了照明强度(光学接收器的量化级数)与探测灵敏度的关系,探测灵敏度的提高可以通过简单的调节照明强度加以实现。③光学测量装置采用非干涉测量方式,光学抗振性能高,适合工程应用。
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公开(公告)号:CN2703328Y
公开(公告)日:2005-06-01
申请号:CN200320123633.9
申请日:2003-12-31
Applicant: 中国科学技术大学
CPC classification number: G01J5/023
Abstract: 一种用于获取并转换红外信号的光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器,包括按阵列分布的微梁单元,微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板,热变形机构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧,本实用新型的关键在于:整个微梁单元为侧向支撑的无底单层平面结构;热变形机构由热隔离梁和变形梁构成折转式分布;红外吸收板与变形梁连接,支撑梁与热隔离梁连接;每组热变形机构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成;所述的微梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列。本实用新型不仅工艺实现简单,而且器件不发生粘连、不容易失效和破坏,对器件的真空度要求也大幅降低。无硅衬底部分反射红外线,更多的能量直接到达探测单元,使探测更灵敏。
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公开(公告)号:CN2639846Y
公开(公告)日:2004-09-08
申请号:CN03277436.2
申请日:2003-08-07
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本实用新型提出一种适应于工程应用的不可见像的光学成像装置,它是通过检测微梁的转角来实现的,既有很高的测量灵敏度,又有很好的抗振性能。该装置是由光源、兼有获取热像能力的微梁阵列、成像透镜、光学接收器和零部件组装用的支架组成,在由来自微梁阵列的衍射光的汇聚谱平面上设有直线边界滤波单元且成像透镜位于直线边界滤波单元之后,光源为点光源。本实用新型提出了直线边界(例如刀口、狭缝和矩形孔)的光学滤波技术,在保证光学测量装置的探测灵敏度的同时,使光学测量装置具有很高的空间分辨率和数据的可靠性。本实用新型采用非干涉测量方式,光学抗振性能高,适合工程应用。
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公开(公告)号:CN2795834Y
公开(公告)日:2006-07-12
申请号:CN03277435.4
申请日:2003-08-07
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01J5/10
Abstract: 本实用新型提出一种用于将不可见图像转化为可见图像的红外热像成像仪,由光源,微梁阵列,成像透镜,光学接受器和零部件组装用的支架组成,在微梁阵列前方设有红外透镜,在来自微梁阵列的衍射光的汇聚谱平面上设有直线边界滤波单元且成像透镜位于直线边界滤波单元之后,光源为点光源。本实用新型有以下几个方面的优点:①在本实用新型的直线边界的光学滤波技术,在保证光学测量装置的探测灵敏度的同时,使光学测量装置具有很高的空间分辨率和数据的可靠性。②确认了照明强度(光学接收器的量化级数)与探测灵敏度的关系,探测灵敏度的提高可以通过简单的调节照明强度加以实现。③光学测量装置采用非干涉测量方式,光学抗振性能高,适合工程应用。
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