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公开(公告)号：CN105980819A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201580007227.1
申请日：2015-02-03
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0224 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/0294 , G01J3/18 , G01J3/1838 , G01J3/24 , G01J3/2803
摘要： 本发明的分光器(1A)具有分光单元(2A)、(2B)、(2C)。分光单元(2A)具有的光通过部(21A)、反射部(11A)、共通反射部(12)、分光部(40A)和光检测部(22A)，从Z轴方向看时，沿着基准线(RL1)排列。分光单元(2B)具有的光通过部(21B)、反射部(11B)、共通反射部(12)、分光部(40B)和光检测部(22B)，从Z轴方向看时，沿着基准线(RL2)排列。分光单元(2C)具有的光通过部(21C)、反射部(11C)、共通反射部(12)、分光部(40C)和光检测部(22C)，从Z轴方向看时，沿着基准线(RL3)排列。基准线(RL1)与基准线(RL2)、(RL3)交叉。
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公开(公告)号：CN105960579A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201580007240.7
申请日：2015-02-03
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： G01J3/021 , G01J3/0256 , G01J3/0262 , G01J3/0264 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/04 , G01J3/18
摘要： 分光器(1A)具备：光检测元件(20)，其设置有光通过部(21)及光检测部(22)；支撑体(30)，其以在与光通过部(21)及光检测部(22)之间形成空间(S)的方式固定于光检测元件(20)；第1反射部(11)，其设置于支撑体(30)，且在空间(S)中，将通过光通过部(21)的光(L1)反射；第2反射部(12)，其设置于光检测元件(20)，且在空间(S)中，将由第1反射部(11)反射的光(L1)反射；以及分光部(40)，其设置于支撑体(30)，且在空间(S)中，将由第2反射部(12)反射的光(L1)相对于光检测部(22)进行分光并反射。
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公开(公告)号：CN103424187B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201310359016.7
申请日：2008-06-05
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G01J3/02
CPC分类号： G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/18 , G01J3/2803
摘要： 分光模块（1）中，由于本体部（2）为板状，因而能够通过本体部（2）的薄型化来谋求小型化。并且，由于本体部（2）为板状，因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块（1）。即，通过对作为多个本体部（2）的玻璃晶圆，以矩阵状设置透镜部（3）、衍射层（4）、反射层（6）以及光检测元件（7）设置成矩阵状，并切割该玻璃晶圆，能够制造多个分光模块（1）。如此，能够容易地大量生产分光模块（1）。
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公开(公告)号：CN102628711B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210091508.8
申请日：2008-06-10
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： G01J3/18 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0259 , G01J3/0291
摘要： 在与衍射层(8)一体地形成的周缘部(11)的平面(11a)形成有对准标记(12a、12b、12c、12d)，在将透镜部(7)安装于基板(2)时，通过相对于基板(2)对这些对准标记(12a、12b、12c、12d)进行对位，从而能够相对于光检测元件(4)的光检出部(4a)正确地对准衍射层(8)，不受例如透镜部(7)的曲率半径的误差等的影响。尤其是，通过在平面(11a)形成对准标记(12a、12b、12c、12d)，从而能够通过图像识别来正确地检测该对准标记(12a、12b、12c、12d)的位置，于是能够进行正确的对准。
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公开(公告)号：CN104541138A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201380042087.2
申请日：2013-07-29
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G01J3/02
CPC分类号： G01J3/02 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/04 , G01J3/18 , G01J3/28
摘要： 分光器(1A)具备具有底座(4)和盖体(5)的封装体(2)、配置在底座(4)上的光学单元(10A)、以及贯通底座(4)的引线接脚(3)。光学单元(10A)具有对从盖体(5)的光入射部(6)入射的光进行分光并且反射的分光部(21)、检测由分光部(21)分光并且反射的光的光检测元件(30)、以在与分光部(21)之间形成有空间的方式支撑光检测元件(30)的支撑体(40)、从支撑体(40)突出的突出部(11)、以及与光检测元件(30)电连接的配线。突出部(11)配置在接触于底座(4)的位置。引线接脚(3)电连接于配置在突出部(11)的配线的第2端子部。
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公开(公告)号：CN104520694A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380042045.9
申请日：2013-08-09
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： G01N21/658 , B82Y40/00 , G01J3/02 , G01J3/12 , G01J3/44 , G01N2201/02 , G01N2201/0227 , G01N2201/06113
摘要： SERS单元(1A)包括：基板(4)；光学功能部(10)，其形成于基板(4)上，且产生表面增强拉曼散射；及封装体(20A)，其将光学功能部(10)收纳于不活泼的空间(S)中，且使空间(S)不可逆地开放。
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公开(公告)号：CN104508465A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201380040609.5
申请日：2013-08-09
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： G01N21/658 , B82Y40/00 , G01N2021/651
摘要： SERS单元(1A)包括：一体地形成的处理基板(2)；及SERS元件(3)，其被固定于以在处理基板(2)的厚度方向上的一侧开口的方式设置于处理基板(2)的收纳空间(S)内。SERS元件(3)具有：基板(5)，其配置于收纳空间(S)的内面(S1)上；及光学功能部(10)，其形成于基板(5)上，且产生表面增强拉曼散射。
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公开(公告)号：CN102472663B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201080036948.2
申请日：2010-08-11
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： G01J3/18 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/2803 , G02B5/1814 , G02B5/1852 , G02B5/1861
摘要： 本发明的分光模块(1)中，边缘部(7)以比衍射层(6)厚的方式沿着衍射层(6)的周缘(6a)一体地形成。由此，使用母模形成衍射层(6)及边缘部(7)的情况的脱模时，可防止以沿着透镜部(3)的凸状曲面(3a)的方式形成的衍射层(6)维持于母模上而从曲面(3a)剥离。而且，以相对衍射层(6)的中心偏向规定侧的方式形成有衍射光栅图案(9)。由此，以相对于衍射层(6)的规定侧使其相反侧先进行的方式进行脱模，从而可防止衍射层(6)剥离、或衍射光栅图案(9)损坏。
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公开(公告)号：CN102027343B
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN200980117552.8
申请日：2009-05-07
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G02B7/00
CPC分类号： G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0286 , G01J3/0297 , G01J2003/1213 , G02B5/1814 , G02B5/1852 , G02B5/1861 , G02B7/025 , G02B27/4244
摘要： 本发明所涉及的分光模块(1)具备使从前表面(2a)入射的光(L1)透过的基板(2)、使入射到基板(2)的光(L1)透过的透镜部(3)、对入射到透镜部(3)的光(L1)进行分光并且反射的分光部(4)、以及检测由分光部(4)进行反射的光(L2)的光检测元件(5)。在基板(2)上设置有相对于成为用于定位光检测元件(5)的基准部的对准定位标记(12a、12b)等而具有规定的位置关系的凹部(19)，透镜部(3)被嵌合于凹部(19)。根据分光模块(1)，仅通过将透镜部(3)嵌合于凹部(19)，从而能够实现分光部(4)与光检测元件(5)的被动对准定位。
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公开(公告)号：CN101788703B
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201010113511.6
申请日：2006-06-22
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G02B6/42
CPC分类号： G02B6/29352 , G02B6/12007 , G02B6/4246
摘要： 本发明提供一种光器件。光器件1具备：光检测元件6和光波导基板2，光波导基板2具有包括在与层厚方向交叉的方向上延伸的芯部4a～4c以及覆盖芯部4a～4c的包层部4h的光波导层4，并且在侧面2a上具有与光检测元件6光学耦合的芯部4c的端面4g。光波导基板2具有相互的主面3a及5a相向地配置的基板3及5。光波导层4设置在基板3和基板5之间。光检测元件6设置在光波导基板2的侧面2a中的设置区域2c上。设置区域2c设定为包括芯部4c的端面4g、基板3的侧面3b的一部分、以及基板5的侧面5b的一部分。由此，由光器件可以提高发光元件和光检测元件等半导体光元件与光波导管的光耦合效率。
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