成膜方法以及成膜装置
    98.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104704144A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201380052363.3

    申请日:2013-10-08

    Inventor: 平野智资

    Abstract: 提供一种成膜方法以及成膜装置,能够抑制成膜中的被膜的氧化,能够使装置简化且低价,并且不耗费精力和时间就能够更换成膜对象的基材。成膜装置(100)使原料的粉末(2)与气体一并加速,将该粉末(2)保持为固相状态向基材(1)的表面喷涂,使该粉末(2)堆积,由此进行成膜,其中,所述成膜装置具备:腔室(10);保持部(11),其设置在该腔室(10),保持基材(1);喷嘴(12),其将粉末(2)与非活性气体一并喷射;以及驱动部(15),其使喷嘴(12)与保持部(11)中的一者相对于另一者移动,利用喷嘴(12)所喷射的非活性气体使腔室(10)内成为正压。

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