碱溶性树脂
    101.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110546180A

    公开(公告)日:2019-12-06

    申请号:CN201880026833.1

    申请日:2018-04-17

    Abstract: 本发明提供适合用于获得高溶解性、高灵敏度、高耐热透明性、高耐溶剂性的碱溶型放射线敏感性树脂组合物的碱溶性树脂。本发明涉及由下述式(1)表示的含不饱和基团的碱溶性树脂。(式中,A相互独立地为-CO-、-SO2-、-C(CF3)2-、-Si(CH3)2-、-CH2-、-C(CH3)2-、-O-、4,4-亚环己基或单键,B为具有脂环式骨架的四羧酸的残基,G为氢原子或-CO-X-(COOH)x(X表示2~4元的多元羧酸的残基,x表示1~3的整数)。R1相互独立地为氢原子或甲基,R2相互独立地为碳原子数1~5的烷基或卤素基团。k为0~10,n为0~4,m为1~50的整数。)[化1]

    抗蚀剂剥离液和抗蚀剂的剥离方法

    公开(公告)号:CN107390482B

    公开(公告)日:2019-07-09

    申请号:CN201710610215.9

    申请日:2017-07-25

    Inventor: 向喜广

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种抗蚀剂剥离液和抗蚀剂的剥离方法,所述抗蚀剂剥离液为用于将抗蚀剂从具备金属配线和/或金属氧化物膜的基材剥离的抗蚀剂剥离液,该抗蚀剂剥离液的剥离性优异,所剥离的抗蚀剂的再附着量少,消泡性也优异。一种抗蚀剂剥离液,其特征在于,其含有(A)胺、(B)有机溶剂和(C)重均分子量为5000~1000000的磺酸或羧酸或者它们的盐,(C)成分的含量为5.0重量%以下,不含有(D)水,或者含有(D)水且(D)成分的含量为60重量%以下。

    光致抗蚀剂剥离液
    105.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108139692A

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201680056923.6

    申请日:2016-10-12

    Inventor: 西岛佳孝

    CPC classification number: G03F7/42 H01L21/027 H01L21/304

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种光致抗蚀剂剥离液,其在维持充分的抗蚀剂剥离性的同时,氢氧化季铵的溶解性和经时稳定性优异。本发明涉及一种光致抗蚀剂剥离液,其特征在于,包含二甲基亚砜、氢氧化季铵、亚烷基胺、以及多元醇和/或分子量为100以下的二醇醚。亚烷基胺优选为下述通式(1)所表示的亚乙基胺(通式(1)中,n表示1~5的整数)。[化1]

    碱溶性树脂
    107.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107531880A

    公开(公告)日:2018-01-02

    申请号:CN201680023095.6

    申请日:2016-04-25

    Inventor: 六人部壮

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种碱溶性树脂,其适合用于获得碱溶性、显影液耐性、细线密合性和图案直进性优异、膜收缩小的碱溶型放射线敏感性树脂组合物。本发明的碱溶性树脂的特征在于,其通过使(a)具有环状结构且具有羟基的(甲基)丙烯酸酯、(b)(甲基)丙烯酸酯单体和(c)羧酸或其酸酐进行反应而得到。

    聚酰胺6的制造方法
    108.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105026462B

    公开(公告)日:2018-01-02

    申请号:CN201480011447.7

    申请日:2014-03-04

    Inventor: 安井勉

    CPC classification number: C08G69/20 C08G69/18 C08L77/02 C08L79/00

    Abstract: 本发明提供一种聚酰胺6的制造方法,其能够使阴离子聚合性己内酰胺熔融液的聚合工序完成时的聚合物成为更高的结晶度。本发明为制造聚酰胺6的方法,其中,在反应器中,通过在碳二亚胺化合物、任一种非碳二亚胺化合物型的阴离子聚合催化剂以及活性剂的存在下,对熔融己内酰胺进行阴离子聚合,所述聚合工序完成后,从反应器取得聚合物,且没有使反应器内的温度从聚合工序完成时的温度升温,取得的聚合物的结晶度为42%以上。

    抗蚀剂树脂及其制造方法
    110.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106255714A

    公开(公告)日:2016-12-21

    申请号:CN201580020255.7

    申请日:2015-04-15

    CPC classification number: C08G73/10

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种在维持高耐热性的同时低温操作性优异的聚酰胺酸和聚酰亚胺。本发明的聚酰胺酸以下述通式(1)表示[式中,R1和R2分别独立地表示单键、碳原子数为1~5的亚烷基、碳原子数为2~5的亚烯基或碳原子数为6~10的亚芳基;R3和R4分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~5的烷基、碳原子数为2~5的烯基、碳原子数为6~10的芳基或卤原子;n表示0~20的整数;Y表示除了二羧酸的羧基或二羧酸酐的酸酐基以外的残基;以及Z表示除了四羧酸的羧基或四羧酸二酐的酸酐基以外的残基]。

Patent Agency Ranking