公开(公告)号：CN104298027B

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201410577371.6

申请日：2014-10-24

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 张新宇 ,  雷宇 ,  罗俊 ,  佟庆 ,  桑红石 ,  谢长生

IPC: G02F1/1343 ,  G02F1/133 ,  G02F1/29 ,  G01J3/12

Abstract: 本发明公开了一种基于电控液晶红外发散平面微透镜的红外波束控制芯片。其包括电控液晶红外发散平面微透镜阵列；电控液晶红外发散平面微透镜阵列包括液晶材料层，依次设置在液晶材料层上表面的第一液晶初始取向层、第一电隔离层、图形化电极层、第一基片和第一红外增透膜，以及依次设置在液晶材料层下表面的第二液晶初始取向层、第二电隔离层、公共电极层、第二基片和第二红外增透膜；公共电极层由一层匀质导电膜构成；图形化电极层由m×n元阵列分布的子电极构成，每个子电极均由圆形或方形导电膜构成。本发明能实现特定形态红外波束的电控成形与精细调变，易与其它红外光学光电结构、电子和机械装置等匹配耦合，环境适应性好。

公开(公告)号：CN104363368B

公开(公告)日：2017-06-27

申请号：CN201410579934.5

申请日：2014-10-24

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 张新宇 ,  雷宇 ,  罗俊 ,  佟庆 ,  桑红石 ,  张天序 ,  谢长生

IPC: H04N5/225 ,  H04N5/232

Abstract: 本发明公开了一种液晶基单眼复眼一体化成像探测芯片，包括陶瓷外壳、金属支撑和散热板、以及单眼复眼一体化成像探测架构，陶瓷外壳后部固置于金属支撑和散热板顶部，单眼复眼一体化成像探测架构设置于陶瓷外壳内，并包括同轴顺序设置的驱控与图像预处理模块、面阵可见光探测器以及面阵电控液晶成像微透镜，面阵电控液晶成像微透镜用于从陶瓷外壳顶部开口接收可见光，并将该可见光聚焦到面阵可见光探测器，驱控与图像预处理模块通过通讯与控制信号输出端口接收来自于外部的工作信号，根据该工作信号生成驱动信号。本发明的液晶基单眼复眼一体化成像探测芯片具有结构紧凑，使用方便，易与常规成像光学系统耦合，目标和环境适应性好等特点。

公开(公告)号：CN104298030B

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201410579932.6

申请日：2014-10-24

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 张新宇 ,  雷宇 ,  佟庆 ,  罗俊 ,  桑红石 ,  谢长生

IPC: G02F1/1343 ,  G02F1/133 ,  G02F1/29 ,  G01J3/12

Abstract: 本发明公开了一种基于电控液晶红外汇聚平面微柱镜的红外波束控制芯片。包括电控液晶红外汇聚平面微柱镜阵列；电控液晶红外汇聚平面微柱镜阵列包括液晶材料层，依次设置在液晶材料层上表面的第一液晶初始取向层、第一电隔离层、图形化电极层、第一基片和第一红外增透膜，以及依次设置在液晶材料层下表面的第二液晶初始取向层、第二电隔离层、公共电极层、第二基片和第二红外增透膜；公共电极层由一层匀质导电膜构成；图形化电极层由布有m×n元阵列分布的长方孔的一层匀质导电膜构成。本发明能构建微聚焦线阵光场，电调变焦线亮度、线宽和焦长，电控匀质化远场红外波束，易与其它红外光学光电结构、电子和机械装置等匹配耦合，环境适应性好。

公开(公告)号：CN104201233B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201410456515.2

申请日：2014-09-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 罗俊 ,  别业华 ,  李维军 ,  张新宇 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  张天序 ,  谢长生

IPC: H01L31/108 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种基于超材料的肖特基型毫米波多谱信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极；其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列，所述金属开环共振单元阵列包含了多种图形及其特征尺寸参数，每个图形对于特定电磁波具有完全吸收特性，通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段，通过改变N型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中金属开环共振单元阵列的电磁波吸收强度。本发明具有多谱、高灵敏度和高速特性，通过选择不同金属开环共振单元结构并进行单片集成可以将探测器工作于毫米波的多个波段。

公开(公告)号：CN103896206B

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201410141817.0

申请日：2014-04-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 涂良成 ,  刘金全 ,  范继 ,  伍文杰 ,  罗俊

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种基于硅片刻穿的体硅加工工艺。包括如下步骤：在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；在硅片背面镀金属膜；用真空油将金属膜粘贴在托片上，托片为表面有氧化层的硅片；用感应耦合等离子体干法刻蚀系统刻穿硅片，得到体硅微结构；感应耦合等离子体干法刻蚀采用分阶段刻蚀的方法，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强；去除光刻胶掩膜和金属膜，释放体硅微结构。本发明能有效提高光刻胶的选择比，刻蚀深度以及刻蚀槽侧壁的垂直度。

公开(公告)号：CN104330930A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201410615812.7

申请日：2014-11-05

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 张新宇 ,  雷宇 ,  佟庆 ,  罗俊 ,  桑红石 ,  谢长生

IPC: G02F1/1343 ,  G02F1/133 ,  G02F1/29 ,  G01J3/12

CPC classification number: G02F1/1343 ,  G01J3/12 ,  G02F1/1313

Abstract: 本发明公开了一种红外聚光芯片。该芯片包括圆柱形的液晶调相架构，其包括液晶材料层，依次设置在液晶材料层上表面的第一液晶初始取向层、第一电隔离层、图形化电极层、第一基片和第一红外增透膜，以及依次设置在液晶材料层下表面的第二液晶初始取向层、第二电隔离层、公共电极层、第二基片和第二红外增透膜；图形化电极层由圆形导电膜和同心设置在圆形导电膜外围的至少一个圆环形导电膜构成，圆形导电膜的直径大于与其相邻的圆环形导电膜的径向宽度；在圆环形导电膜为多个时，多个圆环形导电膜依次设置在圆形导电膜的外围，且其径向宽度递减。该芯片对红外波束的聚焦效能高，光场适应性好，体积和质量小，易与其它光学光电机械结构耦合。

公开(公告)号：CN104330929A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201410614319.3

申请日：2014-11-05

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 张新宇 ,  罗俊 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  谢长生

IPC: G02F1/1343 ,  G02F1/133 ,  G02F1/29 ,  G01J3/12

CPC classification number: G02F1/13439 ,  G02F1/13306 ,  G02F1/29

Abstract: 本发明公开了一种基于电控液晶双模微透镜的控光芯片。该芯片包括面阵电控液晶双模微透镜；其包括液晶材料层，依次设置在液晶材料层上表面的第一液晶初始取向层、第一电极层、电绝缘层、第二电极层、第一基片和第一增透膜，以及依次设置在液晶材料层下表面的第二液晶初始取向层、公共电极层、第二基片和第二增透膜；第一电极层由其上布有m×n元阵列分布的圆孔的一层匀质石墨烯膜构成，公共电极层和第二电极层分别由一层与第一电极层同质的匀质石墨烯膜构成。该芯片能执行波束的阵列化光汇聚或光发散变换操作，具有光学波束调变能力强，电光性能优越，环境适应性好，易与其它光学光电机械结构匹配等特点。

公开(公告)号：CN104298026A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201410577290.6

申请日：2014-10-24

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 张新宇 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  罗俊 ,  桑红石 ,  谢长生

IPC: G02F1/1343 ,  G02F1/133 ,  G02F1/29 ,  G01J3/12

CPC classification number: G02F1/134309 ,  G02F1/13306 ,  G02F1/29

Abstract: 本发明公开了一种基于电控液晶平面微透镜的波前控制芯片。芯片包括面阵电控液晶平面微透镜，其包括液晶材料层，依次设置在液晶材料层上表面的第一液晶初始取向层、图形化电极层、第一基片和第一增透膜，以及依次设置在液晶材料层下表面的第二液晶初始取向层、公共电极层、第二基片和第二增透膜；公共电极层由一层匀质导电膜构成；图形化电极层由m×n元阵列分布的子电极构成，每个子电极均由绕圆周呈十字叉型均匀分布的四个条状导电膜构成，单个子电极内的各条状导电膜互不接触。本发明能实现波前的受控调变、凝固、检录、搜索或跟踪以及复杂波前的构建，易与其它光学光电结构以及电子和机械装置耦合，环境适应性好。

公开(公告)号：CN104298024A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201410577153.2

申请日：2014-10-24

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 张新宇 ,  罗俊 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  张天序 ,  谢长生

IPC: G02F1/1343 ,  G02F1/133 ,  G01J3/12

CPC classification number: G02F1/0136 ,  G02F1/133528 ,  G02F1/134309 ,  G02F2001/134318

Abstract: 本发明公开了一种液晶基红外波束偏振控制芯片，包括芯片壳体(4)以及位于该芯片壳体(4)内的阵列化液晶偏振控制结构(3)；芯片壳体(4)上设置有第一驱控信号输入端口(1)，第二驱控信号输入端口(2)，第三驱控信号输入端口(5)，第四驱控信号输入端口(6)。红外光波进入芯片的阵列化液晶偏振控制结构后，按照液晶偏振控制结构的阵列规模和排布情况被离散化为子波束阵。子波束与受控电场激励下的液晶分子相互作用，被执行水平、垂直、45°和135°等取向上的相位延迟操作再经合束得到特定偏振态的透射波束。本发明的液晶基红外波束偏振控制芯片结构紧凑，可进行红外波束偏振态的电控构建、凝固或调变。

公开(公告)号：CN104298023A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201410576828.1

申请日：2014-10-24

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 张新宇 ,  佟庆 ,  罗俊 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  谢长生

IPC: G02F1/1343 ,  G02F1/133 ,  G02F1/29 ,  G01J3/12

CPC classification number: G02F1/134309 ,  G02F1/13306 ,  G02F1/29

Abstract: 本发明公开了一种双路电压信号驱控的面阵电控液晶光发散微透镜芯片，包括电控液晶散光微透镜阵列、第一驱控信号输入端口和第二驱控信号输入端口，面阵电控液晶散光微透镜为m×n元，其中，m、n均为大于1的整数，电控液晶散光微透镜阵列采用液晶夹层结构，且下上层之间顺次设置有第一基片、共地电极层、第一液晶定向层、液晶层、第二液晶定向层、顶面图案化电极层、顶层电极间绝缘层、顶面电极层、第二基片，共地电极层和顶面电极层分别固定在第一基片和第二基片上，顶面图案化电极由m×n个孔有序排布构成。本发明结构紧凑，通过独立加载双路驱控信号快速构建微光孔阵光场并可对其作进一步精细修形，易与常规光学光电机械结构耦合，环境适应性好。