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公开(公告)号：CN104990495A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510443526.1
申请日：2015-07-24
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 高分辨率频率扫描干涉仪中基于峰值演化消畸变的色散相位补偿方法，涉及扫描干涉仪色散补偿技术领域。本发明是为了解决辅助干涉仪光纤色散效应引起的校正后的测量干涉仪信号拍频随调频带宽和被测距离增大而产生线性变化导致的测量分辨率较低和测距误差较大的问题。本发明将光纤马赫泽德干涉仪频率采样法校正非线性后的信号乘以复相位补偿项后，得到根据补偿相位为将Ib表示为选择相位补偿系数αcomp，使-πσdispn2+παcompn2最小，得到经过色散相位补偿的测量信号Ib，完成对频率扫描干涉仪色散影响的补偿。本发明适用于扫描干涉仪的色散补偿。
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公开(公告)号：CN104390603A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201410663749.4
申请日：2014-11-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 微球面型短相干点衍射干涉测量系统及测量方法，属于微球面型检测技术领域。本发明是为了解决现有短相干移相点衍射干涉测量方法的干涉场对比度差，影响测量精度的问题。装置包括短相干激光器、第一λ/2波片、直角反射镜、偏振分光棱镜、第一角锥棱镜、第一平面镜、第二角锥棱镜、PZT移相器、延迟平台、第二λ/2波片、光纤耦合镜、单模保偏光纤、会聚透镜、针孔镜、第一准直透镜、λ/4波片、显微物镜、第二平面镜、第二准直透镜、偏振片、面阵CCD和计算机；方法采用λ/4波片结合偏振片的光路结构，对干涉场内的光束进行选择，降低其中的直流分量，提高干涉条纹的对比度，实现对比度的优化可调。本发明用于微球面型检测。
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公开(公告)号：CN104330027A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410658169.6
申请日：2014-11-18
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种基于误差互补修正的移相干涉测量位相提取方法，本发明涉及基于误差互补修正的移相干涉测量位相提取方法。本发明的目的是为了解决(1)现有线性移相误差普遍存在于各类干涉系统中，影响位相信息提取精度；(2)现有线性误差超过5％时，位相提取误差急剧增大；(3)以及现有公式繁琐，运算量大，包含乘方开方运算，易出现虚数位相解和超大误差点的奇异位相解情况的问题。具体是按照以下步骤进行的：步骤一、传统五帧算法表达形式；步骤二、采用与传统五帧算法相同帧序的光强，代入构造的新五帧算法，得到新五帧算法的位相信息，构造的五帧算法形式；步骤三、构造了误差互补五帧算法。本发明应用于光学检测空间物体三维形貌的技术领域。
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公开(公告)号：CN102679875B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201210173592.8
申请日：2012-05-30
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 采用主动靶对束靶耦合传感器在线标定方法，涉及主动靶及采用该主动靶对束靶耦合传感器在线标定方法。它为了解决现有技术无法实现在线对传感器在线标定及对传感器参数进行校准，且束靶耦合精度差的问题。将主动靶移入靶室中心，打开激光器使激光器发射的上下9路激光分别入射至主动靶的CCD图像传感器的光敏面上，分别形成上下9个光斑；上下9个光斑与主动靶的上下9个十字线的中心重合为止，关闭激光器，使主动靶在传感器视场内，通过上、下监测单元对主动靶上下各9个十字标志成像，计算十字标志在CCD图像传感器上的位置；打开各路激光，计算束靶耦合传感CCD上的各光斑位置，实现在线标定。本发明适用于大型激光驱动器高精度激光打靶技术领域。
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公开(公告)号：CN103389310A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201310328928.8
申请日：2013-07-31
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 一种基于辐射标定的亚像素光学元件损伤在线检测方法，本发明涉及光学元件在线检测领域，尤其涉及大型光学系统大口径光学元件快速在线检测的方法。本发明是要解决现有在线检测方法不能得到在线检测图像中损伤的高精度尺寸的问题。一、建立样本集；二、估算样品集非离群点概率ε；三、从样本集D中随机抽取M组小样本；四、通过交叉验证法建立一系列LSSVM回归模型{f(W1)，...，f(Wm)，...，f(WM)}；五、通过样本集D，选取合适的误差评价函数Z(x)逐一验证回归模型{f(W1)，...，f(Wm)，...，f(WM)}；六、得到全部损伤区域的高精度亚像素尺寸。本发明应用于光学元件在线检测领域。
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公开(公告)号：CN103345635A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310328930.5
申请日：2013-07-31
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G06K9/46
摘要： 一种基于局部信号强度及改进二维直方图的光学元件损伤在线检测方法，本发明涉及光学元件在线检测领域，尤其涉及大型光学系统大口径光学元件快速在线检测的方法。本发明是要解决传统分割算法很容易漏检的问题。一、背景图像I(x,y)back的获得；二、局部信号强度比图像M(x,y)的获得；三、将图像I(x,y)归一化为L1级，将局部信号强度比图像M(x,y)归一化为L2级，生成改进二维直方图；四、截取局部二维直方图Q，计算图像I(x,y)的平均灰度；五、将二维峰值剔除问题转化为一维峰值剔除问题；六、一维峰值剔除；七、二维直方图单峰剔除；八、最终损伤区域提取。本发明应用于光学元件在线检测领域。
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公开(公告)号：CN102565070B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201110435830.3
申请日：2011-12-22
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 多自由度光学元件损伤在线检测装置，属于光学领域，本发明为解决在靶室内不能快速的实现对多路光学元件的损伤在线检测的问题。本发明包括光学成像平台、俯仰角调整机构、翻转机构、环转机构、减速箱和六自由度机械手，光学成像平台的光轴、俯仰角调整中心轴线、环转机构中心轴线和翻转机构旋转中心轴线在空间上相交于中心点o，所述中心点o与被测靶室球中心重合；实现多自由度光学元件损伤在线检测装置在纬度、经度及上下方向的对被测靶室中光学元件的扫描，扫描获取的光学元件图像发送给计算机进行损伤在线检测。
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公开(公告)号：CN102679912A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210163692.2
申请日：2012-05-24
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01B11/26
摘要： 基于差动比较原理的自准直仪，涉及一种自准直仪。为了解决目前自准直仪测量精度不高的问题。在激光器发射的光的光轴上依次设置起偏器、聚光镜、针孔和分光镜，激光器发射的激光束经起偏器透射之后入射至聚光镜，经聚光镜聚焦至针孔，透过针孔之后的光入射至分光镜，经分光镜反射之后的光入射至偏振分光镜，经偏振分光镜透射的光束入射至准直镜，经准直镜透射的光束入射至平面反射镜和λ/4波片，经λ/4波片透射的光束入射至角锥棱镜，经平面反射镜反射的光束沿入射光路返回并入射至第一面阵CCD光敏面；入射至角锥棱镜的光束反射后沿入射光路返回，入射至偏振分光镜，经偏振分光镜反射之后的光束入射至第二面阵CCD的光敏面。本发明作为自准直仪。
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公开(公告)号：CN102565070A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110435830.3
申请日：2011-12-22
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 多自由度光学元件损伤在线检测装置，属于光学领域，本发明为解决在靶室内不能快速的实现对多路光学元件的损伤在线检测的问题。本发明包括光学成像平台、俯仰角调整机构、翻转机构、环转机构、减速箱和六自由度机械手，光学成像平台的光轴、俯仰角调整中心轴线、环转机构中心轴线和翻转机构旋转中心轴线在空间上相交于中心点o，所述中心点o与被测靶室球中心重合；实现多自由度光学元件损伤在线检测装置在纬度、经度及上下方向的对被测靶室中光学元件的扫描，扫描获取的光学元件图像发送给计算机进行损伤在线检测。
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公开(公告)号：CN102519358A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110442478.6
申请日：2011-12-26
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 用于检测微小球面三维形貌的相移式衍射干涉测量仪及测量方法，属于空间物体三维形貌的光学检测技术领域。它解决了传统对微小球面的检测手段存在的单次测量检测范围小及参考面理想球面制造困难的问题。本发明装置包括短相干激光器、二分之一波片、起偏器、第一四分之一波片、第二四分之一波片、直角延迟棱镜、偏振分光镜、检偏器、光纤耦合器、单模单芯光纤、直角移相棱镜、汇聚透镜、针孔片、刀口反射镜、显微物镜、大尺寸CCD和计算机；本发明方法通过上述装置形成的光路，调节被测微小球进行旋转，获得相应的微小球形貌参数，实现微小球面的形貌检测。本发明适用于微小球面三维形貌的检测。
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