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公开(公告)号：CN111947778B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202010837660.0
申请日：2020-08-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种超导纳米线及超导纳米线单光子探测器，包括：依次形成于衬底上的光学结构及超导纳米线，超导纳米线包括依次交替叠置的n层电隔离层及n+1层超导纳米材料层；各超导纳米材料层的厚度从下至上依次递增、宽度从下至上依次递减，各超导纳米材料层的材料相同，具有两层以上电隔离层时各电隔离层的材料相同，n为大于等于1的自然数。本发明采用叠层结构的纳米线提升吸收效率；同时将上层的纳米线设置为具有较大的厚度，以补偿加工上的缺陷，进一步提升上层纳米线的吸收效率，实现高效探测；叠层结构中每层超导纳米材料层厚度均比较薄，可以保证每条超导纳米线都能较好响应光子；还通过设置反射镜结构或薄膜覆盖层得到不同的光谱响应特性。
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公开(公告)号：CN110031094B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201910334409.X
申请日：2019-04-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 浙江赋同科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种提高单光子探测器的光子数分辨率能力的系统及方法,包括：若干个单光子探测器；若干个读出电路，各读出电路的输入端与各单光子探测器的输出端一一对应连接；若干个电平转换电路，各电平转换电路的输入端与各读出电路的输出端一一对应连接；合路器，合路器的输入端与各电平转换电路的输出端相连接。本发明的提高单光子探测器的光子数分辨率能力的系统可以将响应光子数较多时将读出电路的输出信号中波峰与波峰之间区分开，从而可以获得高光子数分辨探测动态范围；可以在保证单光子探测器探测效率的同时，提高单光子探测器的信噪比，从而提高单光子探测器统计数据的准确性。
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公开(公告)号：CN109633490B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201910061718.4
申请日：2019-01-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/00
Abstract: 本发明提供一种全张量磁梯度测量组件标定系统及标定方法，所述系统包括：激励源；电连接于激励源的标定源，用于在激励源的驱动下产生标定磁场；设于标定源下方的无磁转台，用于对标定源进行角度调整；设于标定源一侧的安装支架，用于提供安装平台；设于安装支架上的全张量磁梯度测量组件，用于测量标定源在全张量磁梯度测量组件处产生的磁场梯度值；电连接于全张量磁梯度测量组件的测控组件，用于采集磁场梯度值并存储；设于标定源一侧的姿态调整装置，用于固定安装支架并通过对安装支架进行定点转动以对全张量磁梯度测量组件进行姿态调整。通过本发明解决了现有技术无法提供一种简单、高效的标定系统及标定方法的问题。
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公开(公告)号：CN111947778A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010837660.0
申请日：2020-08-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种超导纳米线及超导纳米线单光子探测器，包括：依次形成于衬底上的光学结构及超导纳米线，超导纳米线包括依次交替叠置的n层电隔离层及n+1层超导纳米材料层；各超导纳米材料层的厚度从下至上依次递增、宽度从下至上依次递减，各超导纳米材料层的材料相同，具有两层以上电隔离层时各电隔离层的材料相同，n为大于等于1的自然数。本发明采用叠层结构的纳米线提升吸收效率；同时将上层的纳米线设置为具有较大的厚度，以补偿加工上的缺陷，进一步提升上层纳米线的吸收效率，实现高效探测；叠层结构中每层超导纳米材料层厚度均比较薄，可以保证每条超导纳米线都能较好响应光子；还通过设置反射镜结构或薄膜覆盖层得到不同的光谱响应特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111623552A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202010738144.2
申请日：2020-07-28
Applicant: 浙江赋同科技有限公司 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及低温技术领域，本发明的技术方案为：一种采用吸附式制冷机的低温恒温器，包括支架和固设于所述支架上的冷头固定板，所述冷头固定板上设有光纤进出密封接口和同轴电缆进出接口，所述冷头固定板的上端设有G-M制冷机，所述冷头固定板的下端连接真空罩，所述G-M制冷机的冷头连接在冷头固定板的中间并且延伸至所述真空罩内部，所述冷头的中部连接第一级冷平台，所述第一级冷平台下端连接有第一级冷屏，所述冷头的端部连接有第二级冷平台，所述第二级冷平台下方连接吸附床冷屏罩，所述吸附床冷屏罩内设有吸附式制冷机，所述第二级冷平台下端连接有第二级冷屏，所述第二级冷屏将吸附式制冷机笼罩在内。
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公开(公告)号：CN108365049B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201810083509.5
申请日：2018-01-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种大光敏面超导纳米线单光子探测器，包括至少一层超导纳米线结构，超导纳米线结构包括：若干条平行间隔排布的直线部，包括至少两条平行间隔排布的超导纳米线；若干个第一连接部，将直线部依次首尾连接成蜿蜒状；若干个第二连接部，位于直线部内，且位于直线部内平行间隔排布的超导纳米线之间；位于同一直线部内的若干个第二连接部平行间隔排布；沿平行于所述直线部的方向，超导纳米线结构对应于写场拼接处的部分为第二连接部；沿垂直于直线部的方向，超导纳米线结构对应于写场拼接处的部分为相邻直线部之间的间隙。本发明可以避免写场拼接误差对超导纳米线核心区域的影响，从而不可以确保大光敏面超导纳米线单光子探测器的性能。
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公开(公告)号：CN110793630A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201911088164.3
申请日：2019-11-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J1/46
Abstract: 本发明提供一种具有阻抗匹配传输线的超导纳米线单光子探测系统，包括：超导纳米线单光子探测器；1/4波长阻抗匹配传输线，一端与超导纳米线单光子探测器相连接；高通滤波器，一端与1/4波长阻抗匹配传输线连接于超导纳米线单光子探测器的一端相连接，另一端接地；三端口器件三端口器件的第一端口与1/4波长阻抗匹配传输线远离超导纳米线单光子探测器的一端相连接；电流源，一端与三端口器件的第二端口相连接；放大器，放大器的输入端与三端口器件的第三端口相连接，放大器的接地端接地。本发明可以实现特定频率信号的匹配读出，实现脉冲幅度的放大，降低时间抖动；可以将信号中低频成分整形去掉，提高计数率及探测速率。
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公开(公告)号：CN110635021A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910871389.X
申请日：2019-09-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种飞秒激光直写波导耦合超导纳米线单光子探测器及其制备方法，飞秒激光直写波导耦合超导纳米线单光子探测器包括：二氧化硅衬底；光波导，位于二氧化硅衬底内，且光波导的一端面与二氧化硅衬底的一侧面相平齐，另一端面延伸至二氧化硅衬底的上表面；光波导基于飞秒激光直写工艺而形成；超导纳米线，位于二氧化硅衬底的上表面，且位于光波导延伸至二氧化硅衬底的上表面的端面上。本发明的飞秒激光直写波导耦合超导纳米线单光子探测器通过飞秒激光直写工艺形成于二氧化硅衬底内，制备工艺简单，器件集成度高；本发明的飞秒激光直写波导耦合超导纳米线单光子探测器中光波导的材料与光纤的材料相近，耦合效率较高。
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公开(公告)号：CN107507911B
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201710678338.6
申请日：2017-08-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 浙江赋同科技有限公司
IPC: H01L39/02
Abstract: 本发明提供一种超导纳米线单光子探测器，所述超导纳米线单光子探测器包括至少一层超导纳米线结构，所述超导纳米线结构包括若干条平行间隔排布的直线部及将所述直线部依次首尾连接的第一连接部；其中，所述直线部包括至少两条平行间隔排布的超导纳米线，各所述直线部内的所述超导纳米线经由所述第一连接部相连接。通过将超导纳米线结构的直线部设置为至少两条平行间隔排布的超导纳米线，可以降低器件的总电感，提升器件的响应速度，器件内的电流得以提升，提高器件的信噪比。
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