用于微球表面形貌快速检测的短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法

    公开(公告)号:CN103196361A

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201310063729.9

    申请日:2013-02-28

    Abstract: 用于微球表面形貌快速检测的短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法,涉及光学检测空间物体三维形貌的领域。本发明解决了现有同类技术检测效率低、横向分辨能力差、孤立缺陷点容易遗漏、参考面制造困难且精度低等问题。干涉测量仪中,参考光经单模光纤传递给光纤准直器,准直后形成入射参考光束;测量光束经多次反射后形成与入射参考光束垂直的入射测量光束,入射参考光束和入射测量光束入射第三偏振分光棱镜后合束,依次经第四、第五偏振分光棱镜分成四束平行光束,四束平行光束经波片阵列分别加入不同的移相量后在面阵CCD上形成四个光斑。本测量方法是通过对四个光斑进行图像处理获得被测微球的球面形貌。本发明适用于微球表面形貌的快速检测。

    基于重反射技术的调频连续波干涉仪

    公开(公告)号:CN103091681A

    公开(公告)日:2013-05-08

    申请号:CN201310050971.2

    申请日:2013-02-16

    Abstract: 基于重反射技术的调频连续波干涉仪,属于光学领域。本发明为解决现有采用线性调频激光干涉技术的干涉仪不能达到很高的精度问题。它的调频激光器输出的激光束经准直透镜准直后输出准直平行光束,并入射至分光棱镜,经分光棱镜反射的光束入射至第一角锥棱镜,再返回入射至分光棱镜,再透射出去形成参考光束,该参考光束经聚焦透镜汇聚在点探测器的光敏面上;经分光棱镜透射的光束入射至第二角锥棱镜;第二角锥棱镜反射后形成的向上偏移光束入射至第三角锥棱镜,经第三角锥棱镜、第二角锥棱镜和分光棱镜依次反射后形成测量光束,该测量光束经聚焦透镜汇聚在点探测器的光敏面上。本发明作为一种干涉仪。

    基于液晶光学相控阵的光束焦点三维独立控制的方法

    公开(公告)号:CN102122089B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN201010611377.2

    申请日:2010-12-29

    Abstract: 基于液晶光学相控阵的光束焦点三维独立控制的方法。它属于液晶光学、应用光学和衍射光学交叉技术领域。它解决了现有方法存在因机械惯量而导致的功耗大和重量大的问题,以及控制方式为被动控制的缺陷。其中采用了两种方法:一种把一个液晶光学相控阵的有效口径分为多个分口径,在每个分口径上形成二维周期可变闪耀光栅和可变焦的透镜相位光栅复合而成的复合相位光栅;另一种二维等腰三角形相位光栅与二维透镜相位光栅或透镜阵列光栅复合而成的复合相位光栅;都分别通过调整复合相位光栅的相位控制焦点在三维空间内的无机械惯量任意移动;它不仅各服了机械惯量导致的问题,而且能够主动实现光束三维无机械惯量、独立控制。

    基于液晶光学相控阵实现大角度光束偏转装置及其偏转方法

    公开(公告)号:CN102122096A

    公开(公告)日:2011-07-13

    申请号:CN201010598255.4

    申请日:2010-12-21

    Abstract: 基于液晶光学相控阵实现大角度光束偏转装置及其偏转方法,本发明属于液晶光学、应用光学和衍射光学交叉技术领域,它的目的是用液晶光学相控阵产生偏心液晶透镜或液晶透镜阵列实现大角度光束偏转,具有无机械惯量、可编程控制的特点。本发明是通过液晶光学相控阵产生偏心液晶透镜或液晶透镜阵列组成的光束扫描装置来实现大角度无机械惯量可编程控制光束偏转。本发明采用液晶光学相控阵实现无机械惯量、可编程控制的大角度光束偏转技术,该项技术发明根据液晶光学相控阵的特性形成偏心液晶透镜或液晶透镜阵列实现大角度光束偏转,通过编程控制各个液晶光学相控阵的相位分布产生光束偏转所需要的偏心量,以实现期望的光束指向。

    一种基于光学相控阵等光强多激光束的控制方法

    公开(公告)号:CN101561563B

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:CN200910072100.4

    申请日:2009-05-22

    Abstract: 一种基于光学相控阵等光强多激光束的控制方法属于衍射光学技术领域,主要涉及一种用光学相控阵将一激光束转换成对称分布、光强相等、方向可控的多激光束的方法;在光学相控阵器件上形成一维等腰三角形相位光栅,使正入射到光学相控阵器件上的激光束出射后分成两组光束,并且这两组光束可被对称地偏转;也可在光学相控阵器件上形成二维相位光栅,从而使正入射的激光束在二维空间中分成四组光束,并且这四组光束也可被对称地偏转;可以用反馈的方式来微调等腰三角形相位光栅的高Φh;本方法可以形成和偏转小束宽的多激光束,易实现对光强的反馈控制,可用于多激光束的扫描和跟踪,如激光通讯、激光雷达、光镊等领域。

    一种基于光学相控阵等光强多激光束的高精度控制方法

    公开(公告)号:CN101762889A

    公开(公告)日:2010-06-30

    申请号:CN201010032491.X

    申请日:2010-01-19

    Abstract: 一种基于光学相控阵等光强多激光束的高精度控制方法属于衍射光学技术领域,在光学相控阵器件上形成一维复合型相位光栅,使正入射到光学相控阵器件上的激光束出射后分成等光强的两束光束,这两束光束可被同步高精度地偏转,用平移相加的方法可以在一个光学相控阵上形成两个独立的一维复合型光栅;一维复合型光栅在正交方向上展开可以得到二维复合型光栅,在光学相控阵器件上形成二维复合型光栅,从而使正入射的激光束在二维空间中分成等光强的四束光束,这四束光束可被同步高精度地偏转,用平移相加的方法可以在一个光学相控阵上形成四个独立的二维复合型光栅;本方法易实现对光强以及指向的精确控制,可用于多激光束的扫描和跟踪。

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