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公开(公告)号：CN109903370A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910044662.1
申请日：2019-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于双DMD的single-shot叠层相位恢复技术，属于相位恢复成像领域。本发明解决了传统叠层相位恢复技术需要扫描物体的问题。本发明首先在样品之前放置两个DMD；然后配合开关这两个DMD上的微镜并利用准直相干光照明，当两个DMD对应的微镜都是开状态时光经过全开微镜反射在物体上，被探测器接收；再次，联合更换双DMD微镜的开关状态，照明样品不同的部位被探测器接收；最后通过相位恢复算法恢复样品的复振幅。本发明可以无需机械扫描实现叠层相位恢复。
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公开(公告)号：CN109884051A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910044664.0
申请日：2019-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/84
Abstract: 基于图像扫描的谐波共焦显微测量方法属于非线性光学测量领域；在谐波显微测量中，用位置敏感CCD探测代替传统共焦扫描显微中的点探测，可将谐波显微测量分辨率提升两倍。飞秒激光脉冲经扫描振镜反射后进入4f光学系统进行光束整形，接着由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发聚焦光斑。样品激发出的谐波信号，被显微物镜收集后再一次进入4f系统。信号经二向分色镜分离后，基频信号进入光束诊断相机；谐波信号依次经过共焦针孔和窄带滤光片后被位置敏感CCD接收。对于每一个扫描位置，整个图像均被位置敏感CCD记录，通过算法合成所有扫描位置记录的图像，可以提升谐波显微成像分辨率。
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公开(公告)号：CN108007382B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201711238219.5
申请日：2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京锐驰恒业仪器科技有限公司
Abstract: 基于结构光照明的面形测量装置和方法，属于光学显微成像与测量技术领域。本发明专利的技术特点是：装置包括：结构光照明模块、轴向扫描模块和探测模块。本发明在常规结构光照明显微系统中增加由偏振分光镜、低孔径物镜、管镜和平面反射镜等组成的轴向扫描装置，实现结构光照明条纹在被观测样品空间的高速轴向移动，并且利用窗口傅里叶变换对不同z向位置条纹投影下拍摄的图片进行处理，计算每个子区域图像在投影条纹频率处的相关系数，获取每个横向位置清晰度轴向响应曲线，曲线的峰值位置即为样品该横向位置的相对高度，最终获取样品表面面形。该发明具有装调简单，轴向扫描速度快，测量结果受样品表面反射率差异影响小和信噪比高的优点。
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公开(公告)号：CN109859127A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201910045374.8
申请日：2019-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06T5/00
Abstract: 一种基于编码孔径的物体相位恢复技术，属于相位恢复成像领域。本发明解决了传统相位恢复算法物体需小于探测面的问题。本发明首先在样品和探测器之间放置一个编码孔径；然后利用准直部分相干光照明样品，通过编码孔径被探测器接收；再次，调制轴向改变探测器的位置，产生不同的频谱被探测器接收；最后通过相位恢复算法和压缩传感算法恢复样品的复振幅。本发明可以一次恢复相当于探测面大小的样品。
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公开(公告)号：CN109579700A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811497908.2
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了盘扫描的高分辨力立体视觉测量装置与方法，具体涉及一种利用立体视觉与盘扫描放大测量系统联用快速测量大尺度三维物体形貌、形变、位移等的装置和方法；该装置两个及以上盘扫描高分辨力立体视觉单目测量装置组成，每一个盘扫描高分辨力立体视觉单目测量装置包括激光照明模块、视觉摄像模块、盘扫描放大测量模块；该方法首先将待测物体放置在本装置视场范围及清晰成像范围内；其次，利用扫描放大测量模块通过摄像模块点扫描整个物体；利用视觉三维成像原理对采集到的图片进行处理得到高分辨力的物体三维形貌；本发明可以显著提高大尺度视觉系统的测量分辨力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106980176B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201710407979.8
申请日：2017-06-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B21/08
Abstract: 本发明双变径式椭球面反射镜的全内反射荧光显微成像装置属于光学显微照明领域；该装置采用了由光阑和遮光片调制的环形光，经过椭球面反射镜的反射后，产生了在椭球面反射镜第一焦点处的聚焦的大顶角空心锥光束，进而实现了全内反射荧光成像现象；该装置能够通过移动遮挡片和调节光阑的方法，改变空心光锥顶角的大小，最终改变倏逝场的激发深度，扩展了荧光像的轴向信息，而遮挡片和光阑能够实现并行调节，增强了仪器的适用性，并且该装置提供的0°～360°的环形照明光能够实现无阴影照明，从而减弱图像中的干涉条纹，增加图像的对比度，从而提高成像质量。
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公开(公告)号：CN106908017B
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201710104479.7
申请日：2017-02-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/30
Abstract: 基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法，属于光学精密测量技术领域，本发明为解决由于样品表面的荧光中介层的不均匀，导致面形高度误差大的问题。本发明所述基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置的测量方法，在待测样品表面镀一层金属荧光薄膜；激光器发出激光光束经准直镜和光阑形成平行光，经偏振分光棱镜、扫描振镜和扫描透镜在待测样品上形成聚焦光斑，激发金属荧光薄膜发出荧光；经扫描透镜、扫描振镜、偏振分光棱镜、滤光片、收集透镜和针孔被光电探测器收集；通过轴向响应曲线顶点位置确定待测样品表面位置；三维微位载物台带动待测样品在三维方向上移动，形成三维扫描成像。本发明用于测量大口径自由曲面物体表面形貌。
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公开(公告)号：CN109470145A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811496708.5
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 偏振调制高分辨力立体视觉测量系统与方法属于光学非接触三维测量领域，具体涉及一种利用立体视觉与扫描放大测量系统联用测量大尺度三维物体形貌、形变、位移等的装置和方法；该装置两个及以上偏振调制高分辨力立体视觉单目测量装置组成，每一个偏振调制高分辨力立体视觉单目测量装置包括激光照明模块、视觉摄像模块和扫描放大测量模块；该方法首先将待测物体放置在本装置视场范围及清晰成像范围内；其次，利用扫描放大测量模块通过摄像模块逐点扫描整个物体；利用视觉三维成像原理对采集到的图片进行处理得到高分辨力的物体三维形貌；本发明可以显著提高大尺度视觉系统的测量分辨力。
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公开(公告)号：CN109445081A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811494437.X
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种高速追踪扫描共焦显微测量装置和数据处理方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径光学元件测量效率低的问题。激光器发出平行光经过偏振分光棱镜(PBS)和四分之一波片后，经高速谐振镜反射，依次通过扫描透镜、管镜和物镜后汇聚至待测样品表面，载有待测样品信息的反射光依次经过物镜、管镜、扫描透镜、高速谐振镜、四分之一波片、偏振分光棱镜、收集透镜汇聚至针孔，最终入射至光电探测器。位移执行器带动物镜做轴向扫描，同时运动平台带动样品做横向运动，高速谐振镜使光束横向偏转追踪被测点，然后利用测量得到的数组数据解算轴向包络，同时得到多个测量点位置信息。本发明适用于测量大口径光学元件表面轮廓。
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公开(公告)号：CN109443711A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811494413.4
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种基于针孔随动高速扫描共焦显微技术的大口径光学元件测量装置和方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径光学元件测量效率低的问题。激光器发出的p光(s光)通过耦合光纤输出，依次经过物镜、四分之一波片和物镜，物镜将激光汇聚至待测样品，载有待测样品信息的反射光依次经过物镜、四分之一波片变为s光(p光)、物镜，回到耦合光纤，最终入射至光电探测器，高速微位移执行器带动耦合光纤扫描，从而完成对被测点的测量。本发明适用于测量大口径光学元件表面轮廓。
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