整体浮筑式抗扰动单级隔微振平台

    公开(公告)号:CN107859194B

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201710830504.X

    申请日:2017-09-15

    Abstract: 整体浮筑式抗扰动单级隔微振平台属于隔振技术领域,隔振器呈阵列式排列并以较低刚度支撑隔振台体,在隔振台体上方设置浮筑楼板、由建筑桩基础支撑,浮筑楼板与隔振台体不接触,被隔振仪器设备穿过浮筑楼板上的孔洞安装在隔振台体上、且与浮筑楼板不接触,浮筑楼板采用混凝土楼板、钢结构楼板或由二者拼接构成;本发明可消除大型/超大型隔振中人员行走、实验操作以及辅助设备运行引入的系统内振源干扰,有效提高防微振实验室的隔振平台使用面积,有利于多台仪器设备协同工作和构建大型复杂实验系统。

    基于CCD探测的减法式谐波显微成像方法

    公开(公告)号:CN109884052A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910045336.2

    申请日:2019-01-17

    Abstract: 基于CCD探测的减法式谐波显微成像方法属于非线性光学显微成像领域;用CCD相机代替传统谐波显微成像中的光电倍增管,作为谐波信号探测器。飞秒激光器发出的脉冲经过整形扩束后由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发光斑。样品激发出的谐波信号,被同一物镜收集后经过管镜、滤光片后被CCD相机探测。计算机控制CCD有效像素个数来形成不同大小的等效共焦针孔。用小针孔获得的谐波信号减去乘上系数后的大针孔下形成的谐波信号,由计算机将减法处理后的谐波信号整合成最终的谐波图像。白光光源搭配CCD可在获得亮场图像的同时,定位样品中感兴趣的成像区域。该方法可有效提升谐波显微成像的分辨率,且系统结构简单,调试方便,操作简单。

    基于远距离调焦的消像差谐波显微测量方法

    公开(公告)号:CN109884050A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910044623.1

    申请日:2019-01-17

    Abstract: 基于远距离调焦的消像差谐波显微测量方法属于非线性光学显微成像领域;在谐波信号探测模块中,引入参考反射镜,使光路反转,重复利用聚焦物镜,可补偿成像过程中的系统像差。通过轴向移动参考反射镜,实现对谐波信号的重聚焦。飞秒激光器发出的脉冲经整形后由扫描振镜反射,经过转接光学系统后由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发光斑。样品激发出的谐波信号,被探测物镜收集后经过转接系统并由中转物镜聚焦于参考反射镜镜面。反射光对称返回,再次经过中转物镜,由分束器反射后经过窄带滤光片,最后被光电倍增管探测。该方法有效补偿了系统像差,可实现谐波显微成像的大范围、快速轴向扫描,并且样品保持静止,不受调焦干扰。

    基于结构光照明的面形测量装置和方法

    公开(公告)号:CN108020173B

    公开(公告)日:2019-06-11

    申请号:CN201711238066.4

    申请日:2017-11-30

    Abstract: 基于结构光照明的面形测量装置和方法,属于光学显微成像与测量技术领域。本发明专利的技术特点是:装置包括:结构光照明模块、轴向扫描模块和探测模块。本发明在常规结构光照明显微系统中增加由偏振分光镜、低孔径物镜、管镜和平面反射镜等组成的轴向扫描装置,实现结构光照明条纹在被观测样品空间的高速轴向移动,并且利用窗口傅里叶变换对不同z向位置条纹投影下拍摄的图片进行处理,计算每个子区域图像在投影条纹频率处的相关系数,获取每个横向位置清晰度轴向响应曲线,曲线的峰值位置即为样品该横向位置的相对高度,最终获取样品表面面形。该发明具有装调简单,轴向扫描速度快,测量结果受样品表面反射率差异影响小和信噪比高的优点。

    一种窗口扫描式曝光装置
    166.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108663911B

    公开(公告)日:2019-05-07

    申请号:CN201810437318.4

    申请日:2018-05-09

    Abstract: 本发明公开一种窗口扫描式曝光装置;该装置通过4只刀片共面安装,并在石英条和曝光窗口之间的缝隙处形成矩形窗口,进行高分辨率的投影式曝光控制,同时可以实现易损耗光学元件的便捷更换,以及光学元件和拦光部件在长时间激光环境下的温度控制。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。

    一种半解耦的联动式可变光阑

    公开(公告)号:CN108627937B

    公开(公告)日:2019-05-07

    申请号:CN201810437697.7

    申请日:2018-05-09

    Abstract: 本发明公开一种半解耦联动式可变光阑。该装置包括4个主动气浮导轨和4个从动导轨并通过双层气浮模块和联动模块连接,从动导轨末端安装光阑板,4个光阑板首尾相接旋转对称式安装并形成共面的矩形窗口。该装置可通过驱动模块分别对4个光阑板进行逆时针异位控制,实现平面内任意范围的扫描,提高了窗口扫描的精度和效率。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。

    基于同心双锥面镜的暗场共焦亚表面检测装置和方法

    公开(公告)号:CN109580639A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811497335.3

    申请日:2018-12-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于同心双锥面镜的暗场共焦亚表面检测装置和方法,点光源发出的光经过中空反射镜、准直镜、凸锥面镜、凹锥面镜生成环形光,环形光经中空反射镜、分光棱镜和物镜,将环形光汇聚至待测样品,待测样品发出的反射光和散射光经过物镜和分光棱镜,入射至探测互补光阑,反射光被遮挡散射光经过收集透镜和探测针孔,入射至光电探测器,从而完成对亚表面的检测。本发明采用同心双锥面镜生成环形光,光能利用率接近百分之百,提高了成像对比度和信噪比;上下移动的圆柱销可以改变环形光占空比;采用环形光束照明,结合探测互补光阑实现暗场共焦,解决了普通共焦显微技术检测亚表面损伤信噪比低的问题,检测方法适用于亚表面无损检测。

    一种高精度大工作距自准直三维角度测量装置与方法

    公开(公告)号:CN109579782A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201910025696.6

    申请日:2019-01-11

    Inventor: 石剑 朱凡 谭久彬

    CPC classification number: G01C1/00

    Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域,具体涉及一种高精度大工作距自准直三维角度测量装置与方法;该装置由光源、分光镜、图像传感器、准直镜、固定平面反射镜以及合作靶标组成;该方法通过合作靶标,使测量光束分为两束相互垂直的测量光,分别经固定平面反射镜以及合作靶标反射后返回,分别在图像传感器上形成各自图像,利用该两图像位置解算出合作靶标相对于光轴的俯仰角、偏航角以及滚转角,从而具有对被测物空间三维转角的探测能力;由于本发明对于滚转角采用的是光杠杆放大原理,与俯仰角和偏航角的测量原理一致,因此对于三维角度测量均具有高精度大工作距的技术优势,进而具有在相同工作距离下增加测量精度,或在相同测量精度下增加工作距离的优势;此外,本发明所设计的合作靶标具有结构简单、制作成本低的技术优势。

    单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置

    公开(公告)号:CN109539975A

    公开(公告)日:2019-03-29

    申请号:CN201811352669.1

    申请日:2018-11-14

    Abstract: 单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置属于激光测量技术领域;本发明在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下,利用液晶相位延迟器在测量光束和参考光束之间产生连续的光程差变化,使得干涉信号产生足够的相位变化,实现对干涉信号特征参数的预提取,从而利用预提取的特征参数对单频激光干涉仪位移测量过程中的非线性误差进行修正,实现高精度位移测量;本发明实现了对单频激光干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题,在精密测量领域具有显著的技术优势。

Patent Agency Ranking