公开(公告)号：CN102668020B

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201080050687.X

申请日：2010-09-14

申请人： ERS电子有限公司

发明人： 鲁迪格·辛德勒

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67132 ,  Y10T156/1132 ,  Y10T156/1911 ,  Y10T156/1944

摘要： 本发明涉及一种用于从盘形工件(3)、特别是铸模圆片(3)上揭下薄膜(2)的剥除辊(12)，具有用于力配合地揭开或用于推开薄膜(2)的分段(14)的薄膜操纵段(13)。本发明还涉及一种用于从盘形工件(3)、特别是铸模圆片(3)上揭下薄膜(2)的设备(1)，具有：用于力配合地固紧盘形工件(3)的固紧装置(4)；此类剥除辊(12)；用于使剥除辊(12)相对于固紧装置(4)的表面(10)水平和/或垂直行驶的行驶装置(17)；以及用于使剥除辊(12)围绕剥除辊(12)的中轴(25)旋转的旋转装置(24)。此外，本发明还涉及一种借助于此类设备(1)将薄膜(2)从盘形工件(3)、特别是铸模圆片(3)上揭下的方法。

公开(公告)号：CN102171807B

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN200980138775.2

申请日：2009-08-06

申请人： ERS电子有限公司

发明人： 埃里希·赖廷格

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67784 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6838

摘要： 本发明提供用于热加工塑料片，特别是成型晶片的方法和设备。所述方法包括以下步骤：在第一温度(T1)下将塑料片(15)夹持在第一夹持装置(5，50)上；将夹持在所述第一夹持装置(5，50)上的所述塑料片(15)加热到第二温度(T2)，所述第二温度(T2)高于所述第一温度(T1)；结束在所述第一夹持装置(5，50)上的夹持，并且将加热的所述塑料片(15)从所述第一夹持装置(5，50)基本上无接触地输送到第二夹持装置(9，90)；将所述加热的塑料片(15)夹持在所述第二夹持装置(9，90)上；将夹持在所述第二夹持装置(9，90)上的所述塑料片(15)冷却到第三温度(T3)，所述第三温度低于所述第二温度(T2)；和结束在所述第二夹持装置(9，90)上的夹持。

公开(公告)号：CN102171807A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN200980138775.2

申请日：2009-08-06

申请人： ERS电子有限公司

发明人： 埃里希·赖廷格

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67784 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6838

摘要： 本发明提供用于热加工塑料片，特别是成型晶片的方法和设备。所述方法包括以下步骤：在第一温度(T1)下将塑料片(15)夹持在第一夹持装置(5，50)上；将夹持在所述第一夹持装置(5，50)上的所述塑料片(15)加热到第二温度(T2)，所述第二温度(T2)高于所述第一温度(T1)；结束在所述第一夹持装置(5，50)上的夹持，并且将加热的所述塑料片(15)从所述第一夹持装置(5，50)基本上无接触地输送到第二夹持装置(9，90)；将所述加热的塑料片(15)夹持在所述第二夹持装置(9，90)上；将夹持在所述第二夹持装置(9，90)上的所述塑料片(15)冷却到第三温度(T3)，所述第三温度低于所述第二温度(T2)；和结束在所述第二夹持装置(9，90)上的夹持。