微波耦合/组合装置及相关联的微波发生器

    公开(公告)号:CN112154569B

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN201980034034.3

    申请日:2019-05-22

    Abstract: 本发明涉及一种用于耦合和组合至少两个微波源的微波耦合/组合装置(1),包括波导(2),所述波导设置有:套筒(20),其沿着主轴线(X)纵向延伸并且具有两个相对的端部,该两个相对的端部包括设置有形成短路的元件(23)的第一端部(21)和第二开口端部(22);以及至少一个横向杆(3a;3b),其在套筒(20)内沿着正交于主轴线(X)的横向轴线(Y)延伸;所述微波耦合/组合装置(1)还包括至少两个同轴连接器(4a;4b),该同轴连接器被设置用于分别连接到微波源,其中每个同轴连接器外部地安装在套筒上并且具有连接到导电天线(42)并且由该导电天线延伸的中央导电芯(41),该导电天线在套筒内沿与横向轴线和主轴线正交的方向延伸并且终止于附接到横向杆的端部。

    具有同轴施加器、用于产生等离子体的基本装置

    公开(公告)号:CN108353492A

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201680064747.0

    申请日:2016-10-04

    Abstract: 本发明涉及一种用于产生等离子体的基本装置(1),包括:微波功率的同轴施加器(2),该同轴施加器包括传导中央芯体(23)、包围所述中央芯体的传导外护罩(24)以及用于传播微波能量的介质(25),所述介质位于中央芯体和护罩之间;以及用于耦合到微波发生器的系统(3),该系统被放置在护罩上,其中,所述护罩具有利用由对微波能量透明的电介质材料制成的绝缘体(26)堵塞的近端,并且该绝缘体(26)具有被设置用于与位于室内部的待激励的气体接触的外表面(27),并且其中,绝缘体从护罩向外延伸并且其外表面(27)是非平面的并且突出到护罩的外部,该体的外径从护罩至其顶端减小。本发明适用于产生等离子体的设备的领域。

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