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公开(公告)号：CN109559963B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN201810725722.1
申请日：2018-07-04
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明涉及一种离子源和离子源的运转方法，不论灯丝的丝径为何都可谋求与灯丝更换相关的离子源的稼动损失的降低。该离子源具备有：多根灯丝；控制装置，其个别地设定供给于各灯丝的通电电流；以及电压计，其量测在各灯丝的电压；其中，控制装置从设定的电流值与量测的电压值算出各灯丝的目前的电阻值，且根据基准的电阻值与目前的电阻值的差，将供给于各灯丝的通电电流进行再设定，以使各灯丝的目前的电阻值成为基准的电阻值。
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公开(公告)号：CN111640639A
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201911265284.6
申请日：2019-12-11
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供一种离子源及其清洁方法，该离子源在宽范围内向电极表面照射离子束来除去电极上的沉积物。一种离子源(1)，向配置在等离子体容器(2)下游的抑制电极(3)照射由清洁气体生成的离子束(IB)来清洁抑制电极(3)，其中，离子源(1)具有驱动机构(5)，该驱动机构(5)调整等离子体容器(2)与抑制电极(3)之间的距离，离子源(1)包括控制装置(C)，该控制装置(C)在进行清洁之前，控制驱动机构(5)而使抑制电极(3)或等离子体容器(2)向第一方向移动，扩大等离子体容器(2)与抑制电极(3)之间的距离。
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公开(公告)号：CN107863284B
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN201710234557.5
申请日：2017-04-11
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/04 , H01J37/244 , G01T1/29
Abstract: 本发明涉及能够在任意方向上无缝隙地且连续地执行对带电粒子束的射束电流分布的测量。射束电流测量器件包括多个收集电极，这些收集电极的检测区域在收集电极的布置方向上无缝隙地连续。
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公开(公告)号：CN109427526B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201810532390.5
申请日：2018-05-29
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/317 , H01J37/16 , H01J37/244
Abstract: 本发明提供一种能够使束电流测量器的维保操作简单化的离子束照射装置。该离子束照射装置(1)具有固定在离子束照射位置的束电流测量器(P)，束电流测量器(P)包括测量部(C)和配置在测量部(C)周围的防护罩(S)，防护罩(S)包括：前面防护罩(FS)，具有使离子束(3)的一部分通向测量部(C)的开口(H)；后面防护罩(BS)，配置在与前面防护罩(FS)相对的位置；侧面防护罩(SS)，配置在除了前面防护罩(FS)和后面防护罩(BS)以外的部位，在离子束照射装置(1)的真空室(8)的壁面上具有能够开闭的门(D)，门(D)兼用作后面防护罩(BS)。
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公开(公告)号：CN108346551B
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201710059911.5
申请日：2017-01-24
Applicant: 日新离子机器株式会社
Inventor： 内藤胜男
IPC: H01J37/065 , H01J37/317
Abstract: 质量分析电磁铁具备一对主线圈和多个副线圈，主线圈具备与离子束的行进方向平行的第1平行部及相对于第1平行部弯折的第1弯折部，一对主线圈相对于离子束的行进方向而上下对称配置，离子束在主线圈以及副线圈形成的磁场下沿着离子束的行进方向，通过由第1平行部以及第1弯折部形成的空间，多个副线圈具有与离子束的行进方向平行的第2平行部以及相对于第2平行部弯折的第2弯折部，且与主线圈的第1平行部以及第1弯折部紧密相接地匹配，相对于离子束的行进方向而上下对称配置，通过主线圈产生质量分析所需磁场，通过调整副线圈中的电流朝向及大小对主线圈产生的磁场进行微调整。可对磁场控制进行微调整且易于修正离子束形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108573842B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201711143287.3
申请日：2017-11-17
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供离子束照射装置和离子源的装拆方法，能够实现离子源装拆作业效率的提高和离子源装拆机架结构的简化。离子束照射装置(ID)具有：外壳(12)，具有比配置离子束照射装置(ID)的地面(11)高的地面(4)，在内部收纳离子源(1)；以及通道(P)，从外壳(12)的外周端部朝向内侧形成在外壳(12)的地面的一部分上，形成有通道(P)的外壳(12)的地面的高度比其它部分低，与配置离子束照射装置(ID)的地面(11)的高度大致相同。
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公开(公告)号：CN106128929B
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201510641785.5
申请日：2015-09-30
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种不导致装置构成的复杂化及装置整体的大型化而确实地固定基板的基板固定装置。本发明的基板固定装置具备平台以及夹抓机构，其中，前述夹抓机构包括：多个夹具，其与基板的各边对应而设置，并可在将基板予以固定的固定位置、与将基板予以释放的释放位置之间移动；以及动力传达机构，其在对应于基板的相对向的两边之中的一边而设置的一边侧夹具、与对应于另一边而设置的另一边侧夹具之间传达用以移动夹具的驱动力；而动力传达机构具有：滑动构件，其随着前述一边侧夹具的移动、或随着对前述一边侧夹具传达驱动力的构件的移动而往预定方向滑动移动，来对前述另一边侧夹具传达驱动力。
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公开(公告)号：CN109516106A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201711143720.3
申请日：2017-11-17
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供离子源支承台，能够以稳定的状态使放置在离子源支承台(X)上的离子源(101)成为倒伏姿势。离子源支承台(X)用于放置离子源(101)，所述离子源(101)包括长条状的等离子体生成容器(10)和一对辊(31)，所述一对辊(31)设置于等离子体生成容器(10)的在与长边方向垂直的方向上相对的侧壁(11b)上，离子源支承台(X)包括：一对轨道(5)，在离子源(101)悬吊的状态下，可转动地放置一对辊(31)；以及牵引机构(6)，在一对辊(31)放置在一对轨道(5)上的状态下，将离子源(101)从轨道(5)的一端(A)侧向另一端(B)侧牵引。
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公开(公告)号：CN105575754B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201510548657.6
申请日：2015-08-31
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J49/20
CPC classification number: H01J49/30 , H01J37/05 , H01J37/1472 , H01J37/3171 , H01J49/20 , H01J2237/055 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明提供一种质量分析电磁铁，其能抑制在离子束(IB)的质量分离方向以外的位置因离子束(IB)与分析管(9)的壁面碰撞而附着、堆积的堆积物混入目标物(5)中。质量分析电磁铁(2)具备在内侧区域形成离子束(IB)通道的分析管(9)，使离子束(IB)向规定的方向偏转，利用质量的不同分离包含在离子束(IB)中的离子，在与离子束(IB)的前进方向和离子束(IB)的质量分离方向垂直的方向上，分析管(9)具有遮蔽离子束(IB)的端部的至少一个遮蔽构件(SH)。
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公开(公告)号：CN104103554B
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201310567012.8
申请日：2013-11-14
Applicant: 日新离子机器株式会社
CPC classification number: H01L21/67757 , H01J37/185 , H01J37/3171 , H01J37/32412 , H01L21/67718 , H01L21/67754
Abstract: 本发明提供能量线照射系统和工件输送机构，能大幅度改善生产率，并且有助于有效地利用能量线。能量线照射系统包括能量线射出机构、以及把照射所述能量线的工件（W）在规定的工件交接区域和能量线的照射区域（AR）之间输送的工件支架（21），把所述工件交接区域设置在隔着通过所述照射区域（AR）的虚拟直线（C）相对的两个部位，并且作为所述工件支架（21）设置有：第一工件支架（21（1）），在一方的工件交接区域和所述照射区域（AR）之间移动；以及第二工件支架（21（2）），在另一方的工件交接区域和所述照射区域（AR）之间移动。
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