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公开(公告)号：CN109819570B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201810825295.4
申请日：2018-07-25
申请人： 日新离子机器株式会社
IPC分类号： G02F1/13 , H05F3/04 , H01L21/265
摘要： 本发明涉及平面面板显示器制造装置。本发明提供一种平面面板显示器制造装置，其具有适合于在高真空下进行玻璃基板的除电的除电装置。本发明的平面面板显示器制造装置具有：处理室，对于玻璃基板施行加工处理；搬送路，形成玻璃基板往处理室搬入搬出的搬入搬出路径；其中，处理室与搬送路处于真空环境下；且在构成搬送路的真空容器的外壁面连接有除电装置，该除电装置用以朝向真空容器的内侧放出用于进行玻璃基板的除电的电子。
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公开(公告)号：CN109427526B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201810532390.5
申请日：2018-05-29
申请人： 日新离子机器株式会社
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/16 , H01J37/244
摘要： 本发明提供一种能够使束电流测量器的维保操作简单化的离子束照射装置。该离子束照射装置(1)具有固定在离子束照射位置的束电流测量器(P)，束电流测量器(P)包括测量部(C)和配置在测量部(C)周围的防护罩(S)，防护罩(S)包括：前面防护罩(FS)，具有使离子束(3)的一部分通向测量部(C)的开口(H)；后面防护罩(BS)，配置在与前面防护罩(FS)相对的位置；侧面防护罩(SS)，配置在除了前面防护罩(FS)和后面防护罩(BS)以外的部位，在离子束照射装置(1)的真空室(8)的壁面上具有能够开闭的门(D)，门(D)兼用作后面防护罩(BS)。
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公开(公告)号：CN109817546A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201711372925.9
申请日：2017-12-19
申请人： 日新离子机器株式会社
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , H05B33/10 , H05F3/04 , G02F1/13
摘要： 本发明涉及一种具有静电消除装置的平面面板显示器制造装置，该静电消除装置适于在高真空下的玻璃基板的静电消除。平面面板显示器制造装置(ID)具备有：处理舱室(1)，其对玻璃基板(S)施予加工处理；以及搬运路径(3)，其形成将玻璃基板(S)搬入或搬出处理舱室(1)的搬入搬出路径；其中，处理舱室(1)及搬运路径(3)为处于真空环境下，且静电消除装置(O)连接于构成搬运路径(3)的真空容器的外壁面，该静电消除装置(O)朝向真空容器的内侧释放玻璃基板(S)的静电消除用的电子。
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公开(公告)号：CN109427526A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201810532390.5
申请日：2018-05-29
申请人： 日新离子机器株式会社
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/16 , H01J37/244
摘要： 本发明提供一种能够使束电流测量器的维保操作简单化的离子束照射装置。该离子束照射装置(1)具有固定在离子束照射位置的束电流测量器(P)，束电流测量器(P)包括测量部(C)和配置在测量部(C)周围的防护罩(S)，防护罩(S)包括：前面防护罩(FS)，具有使离子束(3)的一部分通向测量部(C)的开口(H)；后面防护罩(BS)，配置在与前面防护罩(FS)相对的位置；侧面防护罩(SS)，配置在除了前面防护罩(FS)和后面防护罩(BS)以外的部位，在离子束照射装置(1)的真空室(8)的壁面上具有能够开闭的门(D)，门(D)兼用作后面防护罩(BS)。
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公开(公告)号：CN109819570A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201810825295.4
申请日：2018-07-25
申请人： 日新离子机器株式会社
IPC分类号： H05F3/04 , H01L21/265 , B65G49/06
摘要： 本发明涉及平面面板显示器制造装置。本发明提供一种平面面板显示器制造装置，其具有适合于在高真空下进行玻璃基板的除电的除电装置。本发明的平面面板显示器制造装置具有：处理室，对于玻璃基板施行加工处理；搬送路，形成玻璃基板往处理室搬入搬出的搬入搬出路径；其中，处理室与搬送路处于真空环境下；且在构成搬送路的真空容器的外壁面连接有除电装置，该除电装置用以朝向真空容器的内侧放出用于进行玻璃基板的除电的电子。
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