位移检测装置
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103075964A

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN201210397490.4

    申请日:2012-10-18

    Inventor: 田宫英明

    Abstract: 本发明涉及位移检测装置,该位移检测装置(1)包括:光源(2)、光束分离部(3)、衍射光栅(4)、反射部(6)、光束结合部(3)、光接收部(8)以及相对位置信息输出部(10)。衍射光栅(4)用于衍射由待测构件(9)的待测表面反射的第一光束(L1),并且使被衍射的第一光束(L1)再次入射在待测表面上。反射部(6)用于将由光束分离部(3)分离的第二光束(L2)反射至光束分离部(3)。光接收部(8)用于接收第一光束(L1)和第二光束(L2)的干涉光。相对位置信息输出部(10)用于基于接收到的干涉光的强度,输出待测表面在高度上的位移信息。

    位置检测装置
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102364307A

    公开(公告)日:2012-02-29

    申请号:CN201110163204.3

    申请日:2011-06-17

    Inventor: 黒田明博

    CPC classification number: G01D5/38 G01D5/34746

    Abstract: 本发明提供一种位置检测装置,抑制产生2次以上的衍射光以及杂散光,改善位置检测信号的S/N比而提高检测精度。设用折射率n的保护层(12)覆盖了光栅面(11a)的衍射光栅(11)的栅距为d、所照射的可干涉光的真空中的波长为λ0时,设d<2λ0/n,将向上述衍射光栅(11)入射的可干涉光的入射角θ0设定为满足式子|sinθ0|<(2λ0/dn)-1的角度并将1次衍射光用于位置检测。

    位移检测装置
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102364298A

    公开(公告)日:2012-02-29

    申请号:CN201110167567.4

    申请日:2011-06-20

    Inventor: 田宫英明

    CPC classification number: G01D5/38

    Abstract: 一种位移检测装置,具有:衍射光栅(2)、光栅干涉仪(4、5)以及相对位置信息输出部(6、7)。光栅干涉仪(4、5)具有光源(3)、反射器(12、13)、分光器(17)以及光接收部(18、19)。反射器(12、13)反射由衍射光栅(2)所衍射的一次衍射光(L1、-L1),并使所反射的一次衍射光(L1、-L1)入射到与来自光源(3)的光(L)所照射到的位置基本上相同的位置。此外,反射器(12、13)使一次衍射光(L1、-L1)以与光从光源(3)入射到衍射光栅(2)的入射角度不同或与一次衍射光(L1、-L1)透过衍射光栅(2)或被衍射光栅(2)反射的角度不同的角度入射到衍射光栅(2)。

    工件测量装置和测量机床上的工件的方法

    公开(公告)号:CN102211294A

    公开(公告)日:2011-10-12

    申请号:CN201110084739.1

    申请日:2011-04-01

    CPC classification number: B23Q17/20 B23Q17/22 Y02P90/265

    Abstract: 工件测量装置(20)和测量机床上的工件的方法,该装置具有设置在NC设备(13)外部的外部模块(29),以取得连接有测量头(8)的可移动单元的一个或一个以上可移动坐标轴的位置数据(C1)。所述测量头的位置数据(C1)与所述测量头的距离测量在相同的时间间隔内取得。对取得的所述距离测量数据(B1)和所述测量头的所述位置数据(C1)进行计算,从而获得所述工件(9)的位置。在移动所述测量头的同时进行连续的测量,从而测得所述工件(9)的连续的形状。因此,无需修改或改变,例如无需为NC设备添加新功能。此外,本发明可应用于配备有任何配置的NC设备的任何机床,而不受限于NC设备的限制。

    具有内部流体通道的刀具
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101758249A

    公开(公告)日:2010-06-30

    申请号:CN200910262067.1

    申请日:2009-12-23

    Abstract: 一种具有内部流体通道的刀具(5),该刀具(5)具有刀杆(20)和安装在该刀杆(20)上的切削刀片(21)。该刀具(5)还包括内部流体通道(4),以用于将切削刀片(21)加工工件(8)时产生的碎屑(22)和空气(23)一起吸入。所述内部流体通道(4)包括:形成于刀杆(20)中通孔(24);用于将碎屑(22)与空气(23)一起吸入的至少一个主吸入孔(25),所述主吸入孔(25)形成于所述切削刀片(21)中并且与所述通孔(24)流体连通;以及用于至少吸入所述空气(23)的至少一个副吸入孔(26、26a),副吸入孔(26、26a)形成于所述刀杆(20)中并且与所述通孔(24)流体连通。碎屑(22)能够有效地通过空气(23)从刀具(5)中排出而不会沉积在所述内部流体通道(4)中,无论刀具(5)的直径为多大,所述空气(23)均以适当的速度流过所述内部流体通道(4)并且吸引所述碎屑(22)。

Patent Agency Ranking