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公开(公告)号：CN107110640B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201680005622.0
申请日：2016-05-16
申请人： CKD株式会社
CPC分类号： G01B9/0203 , G01B9/02007 , G01B9/02011 , G01B9/02018 , G01B9/02024 , G01B9/02027 , G01B9/02057 , G01B9/02079 , G01B9/02081 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01J3/0205 , H01L22/12 , H05K3/00
摘要： 提供一种三维测量装置，能够利用波长不同的两种光扩大测量范围，并且提高测量効率。三维测量装置(1)包括：偏振分光器(20)，能够将入射的预定的光分割为偏振光方向彼此正交的两种偏振光，将一者作为测量光照射至工件(W)且将另一者作为参照光照射至参照面(23)，并且将它们再次合成而射出；第一投光系统(2A)，使具有第一波长的第一光入射至该偏振分光器(20)的第一面(20a)；第二投光系统(2B)，使具有第二波长的第二光入射至偏振分光器(20)的第二面(20b)；第一拍摄系统(4A)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第二面(20b)射出的所述第一光；以及第二拍摄系统(4B)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第一面(20a)射出的所述第二光。
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公开(公告)号：CN105492860B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201580001345.1
申请日：2015-01-22
申请人： 北京交通大学
CPC分类号： G01B11/272 , G01B9/02003 , G01B9/02007 , G01B9/02021 , G01B11/002 , G01B21/042 , G01B2290/70
摘要： 一种可检测21项几何误差的激光测量系统，其几何误差敏感单元包括三个相互垂直的六自由度误差敏感部件，以分别对数控机床、加工中心或三坐标测量机的三个相互垂直的直线运动轴的六项几何误差敏感；或者，所述几何误差敏感单元由两个相互垂直的六自由度误差敏感部件组成，所述两个六自由度误差敏感部件分别对数控机床、加工中心或三坐标测量机的两个相互垂直的直线运动轴的六项几何误差敏感，所述两个六自由度误差敏感部件之中的一个六自由度误差敏感部件旋转90°之后对数控机床、加工中心或三坐标测量机的第三个直线运动轴的六项几何误差敏感。本发明结构简单、操作方便，一次安装、分步测量，可得到三个相互垂直的直线运动导轨的21项几何误差。
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公开(公告)号：CN107110640A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201680005622.0
申请日：2016-05-16
申请人： CKD株式会社
CPC分类号： G01B9/0203 , G01B9/02007 , G01B9/02011 , G01B9/02018 , G01B9/02024 , G01B9/02027 , G01B9/02057 , G01B9/02079 , G01B9/02081 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01J3/0205 , H01L22/12 , H05K3/00
摘要： 提供一种三维测量装置，能够利用波长不同的两种光扩大测量范围，并且提高测量効率。三维测量装置(1)包括：偏振分光器(20)，能够将入射的预定的光分割为偏振光方向彼此正交的两种偏振光，将一者作为测量光照射至工件(W)且将另一者作为参照光照射至参照面(23)，并且将它们再次合成而射出；第一投光系统(2A)，使具有第一波长的第一光入射至该偏振分光器(20)的第一面(20a)；第二投光系统(2B)，使具有第二波长的第二光入射至偏振分光器(20)的第二面(20b)；第一拍摄系统(4A)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第二面(20b)射出的所述第一光；以及第二拍摄系统(4B)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第一面(20a)射出的所述第二光。
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公开(公告)号：CN106767428A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611052846.5
申请日：2016-11-24
申请人： 李达成
发明人： 李达成
CPC分类号： G01B11/02 , G01B9/02055 , G01B9/02062 , G01B9/027 , G01B2290/70
摘要： 本发明涉及一种激光准直系统，包括：激光输出单元，用于输出激光；第一分光镜，用于对激光输出单元输出的激光进行反射及透射，形成第一反射光及第一透射光；第二分光镜，用于对所述第一透射光进一步分光，再次形成第二反射光及第二透射光，所述第二透射光为信息光，用于入射到待测目标并采集位相信息；共轭光发生组件，设置于从第一反射光的传播光路上，用于输出信息光的共轭光作为测量光；光电探测器，设置于被所述第二分光镜反射的测量光的光路上，用于探测被第二反射镜反射的测量光并转换为电信号。本发明进一步提供一种位移测量系统。本发明提供的激光准直系统及位移测量系统能够有效减少空气扰动的影响。
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公开(公告)号：CN103189711B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201180036688.3
申请日：2011-05-11
申请人： 瓦莱里奥·普鲁纳里 , 马克·霍夫雷克鲁阿涅斯 , 佩德罗·安东尼奥·马丁内斯科尔德罗
发明人： 乔瓦尼·巴尔巴罗萨
CPC分类号： G01B9/02027 , G01B9/02024 , G01B9/0209 , G01B2290/70 , G01N21/23
摘要： 本发明涉及侦测仪器和方法，其使用部分剪切光学干涉仪器来侦测靶试样探针体积阵列相比于参考样品探针体积的阵列的光学性质。该仪器产生格式化探针波束，其含有部分剪切的波束对，该波束对被格式化为完全剪切探针波束对的阵列。靶试样探针体积和参考样品探针体积被适当地组织并暴露于完全剪切探针波束对的阵列。
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公开(公告)号：CN102313509B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201110152803.5
申请日：2011-06-08
申请人： 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
发明人： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 迈克尔·斯特普塔特 , 格哈德·福格特 , 弗洛里安·加茨扎雷克
CPC分类号： G01B9/02081 , G01B9/02028 , G01B2290/15 , G01B2290/30 , G01B2290/70 , G01S7/4812 , G01S7/499 , G01S17/08
摘要： 一种光学距离测量装置，由光源和干涉仪单元组成，单元具有测量-逆向反射器、位置固定地设置的基准-逆向反射器、分光器元件、光束聚合单元和检测单元。由光源发出的光束能围绕基准-逆向反射器的中心偏转。通过分光器元件将由光源入射的光束分离成至少一个测量光束和基准光束。测量光束在测量-逆向反射器的方向上传播且基准光束相对于测量光束共线地在基准-逆向反射器的方向上传播。测量-逆向反射器对测量光束和基准-逆向反射器对基准光束在光束聚合单元的方向上回反射，测量光束在测量-逆向反射器上反射之前和之后相对于基准-逆向反射器对称延伸。聚合单元使测量光束和基准光束干涉。通过检测单元能检测取决于距离的干涉信号。
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公开(公告)号：CN102985785B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201180034004.6
申请日：2011-07-04
申请人： 佳能株式会社
CPC分类号： G01B9/02091 , A61B3/102 , A61B5/0066 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02044 , G01B9/02048 , G01B9/02087 , G01B2290/65 , G01B2290/70
摘要： 光学断层图像摄像设备(100)包括：第一分割单元(136-A)，用于将第一合成光束(142-1)分割成具有不同偏振方向的第一光束(175-A1)和第二光束(175-A2)，其中第一合成光束是通过将来自利用第一测量光束照射的被检查物的返回光束和与第一测量光束相对应的参考光束进行合成来形成的；选择单元(137)，用于选择第三光束(142-2、175-B1)或第二光束，其中第三光束是基于通过将来自利用第二测量光束照射的被检查物的返回光束和与第二测量光束相对应的参考光束进行合成而形成的第二合成光束(142-2)的；第一获取单元(125)，用于在选择单元选择第二光束的情况下，基于第一光束和第二光束获取表示被检查物的偏振信息的断层图像；以及第二获取单元(125)，用于在选择单元选择第三光束的情况下，基于第一光束和第三光束获取表示被检查物的多个强度信息的断层图像。
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公开(公告)号：CN102057269B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN200980120703.5
申请日：2009-11-23
申请人： 齐戈股份有限公司
发明人： 马克·戴维森 , 简·莱塞纳 , 彼得·德格鲁特 , 泽维尔·科洛纳德莱加 , 莱斯利·L·德克
CPC分类号： G01B9/0209 , G01B9/02007 , G01B9/0201 , G01B9/02027 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02068 , G01B9/02077 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , Y10T29/49002
摘要： 一种设备包括宽带扫描干涉测量系统，该系统包括光学部件，用以结合来自测试物的测试光和参考光，而在探测器上形成干涉图案。该设备还包括配置为扫描从共用光源至探测器的、所述测试光和参考光之间的光程差(OPD)的台，以及包括探测器的探测器系统，用以记录一系列的光程差增量的每一者的干涉图案，每一个光程差增量的频率定义帧频。光学部件被配置以产生至少二个监测干涉测量信号，当扫描光程差时，干涉测量信号的每一者表示光程差的变化，探测器系统被配置以记录监测干涉测量信号。该设备包括处理器，被配置以对于大于所述帧频的频率的OPD增量，决定所述光程差增量对扰动灵敏度的信息。
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公开(公告)号：CN103961056A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201310573943.9
申请日：2013-11-15
申请人： 日立视听媒体股份有限公司
IPC分类号： A61B3/14
CPC分类号： G01B9/02091 , G01B9/02063 , G01B9/02064 , G01B2290/35 , G01B2290/45 , G01B2290/65 , G01B2290/70
摘要： 提供一种不需要进行反射镜的扫描、且不使用波长扫描型光源和分光器而能够获取测定对象的像的小型且廉价的光测量装置。将从光源(401)出射的激光分支为第1光束和第2光束，将第1光束作为信号光通过透镜(406)向测定对象(409)聚光照射，将第2光束不向测定对象照射而作为参照光在反射镜(411)上反射，将通过测定对象反射或散射的信号光与参照光合波后入射到干涉光学系统(412)，生成相位关系互不相同的三个以上的干涉光并由光检测器(417、422)进行检测，由信号处理部(424)运算检测信号。在测定时至少在光轴方向上扫描透镜(406)的第1光束的聚光位置。
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公开(公告)号：CN103322927A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310243132.2
申请日：2013-06-19
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01B11/02
CPC分类号： G01B9/02007 , G01B9/02003 , G01B9/02021 , G01B9/02022 , G01B9/02027 , G01B11/14 , G01B2290/70
摘要： 一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器出射的双频激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出四路光信号至接收器，后至电子信号处理部件。当光栅干涉仪与测量光栅做三自由度线性相对运动时，系统可输出三个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量三个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。
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