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公开(公告)号：CN104380485A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201280073999.1
申请日：2012-06-22
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: H01J37/32807 , B01J3/002 , C23C14/06 , C23C14/243
Abstract: 本发明涉及一种具有防破损功能的基板处理系统，本发明的具有防破损功能的基板处理系统包含：流体罐，可储存流体；腔室，提供从所述流体罐接收流体而处理基板的空间；管道，将所述流体罐与所述腔室彼此连接，从而使所述流体能够流动；和防破损部，应对所述管道随着所述流体的流动接收热量而产生的热膨胀，能够改变所述流体罐的位置。由此提供一种应对管道的热膨胀引起的体积变化，能够防止流体罐的破损的具有防破损功能的基板处理系统。
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公开(公告)号：CN102422121B
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201080020216.4
申请日：2010-04-13
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/005 , G01B11/03 , G01C11/025
Abstract: 本发明涉及视觉检测系统及利用该系统的坐标转换方法。该系统包括：工作台，支撑被检测体；台架，使工作台在Y轴方向上直线往复运动；多个摄像机，为了获得被检测体或工作台的图像，沿X轴方向相隔配置，其中包括：多个第一标记，沿着与Y轴交叉的X轴方向相隔配置在工作台的一端；多个第二标记，一部分从多个第一标记中最左侧的第一标记开始在工作台的一侧沿Y轴方向相隔配置，另一部分从多个第一标记中最右侧的第一标记开始在工作台的另一侧沿Y轴方向相隔配置。获得多个第一标记的图像后，将此图像坐标值转换成台架坐标值，获得多个第二标记的图像后，将此图像坐标值和台架坐标值转换成台架的精确度得到补偿的以被检测体为基准的绝对坐标值。
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公开(公告)号：CN103574080A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210359477.X
申请日：2012-09-24
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: H01J37/18
Abstract: 本发明提供真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜。本发明的真空保持阀门通过密封形成在腔室上的开口部，将腔室内部保持真空，其特征在于，包括：主体部，从外部接收动力而沿着腔室的壁面进行并进运动；止挡部，位于腔室上，具备旋转辊；阀门部，在与主体部连接的状态下移动，其一面与旋转辊接触，从而其移动方向转换为开口部侧方向或者远离开口部的方向中的一个方向而开闭腔室；旋转构件，在主体部上与旋转辊相对配置，当止挡部和阀门部接触时接触阀门部的另一面，以引导阀门部的移动方向。由此，本发明提供一种通过旋转辊和旋转构件引导阀门部的运动，以防止主体部的前进或者后退时发生的冲击，从而能够抑制粉尘产生。
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公开(公告)号：CN102362146A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201080013587.X
申请日：2010-02-26
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明涉及反射度分布曲线建模方法及应用该方法的厚度检测方法、厚度检测反射仪。所述建模方法针对规定厚度的薄膜层建模基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布，包括：反射度分布曲线制作步骤，制作用于表示基于光线波长而变化的薄膜层反射度分布的反射度分布曲线；输入强度设定步骤，针对特定波长带通白色光后，在以所述特定波长为中心的规定波长带中制作用于表示光线强度分布的强度分布曲线，并在所述波长带中积分强度分布曲线后将其结果设定为特定波长的输入强度；输出强度设定步骤，在所述波长带中积分由反射度分布曲线和强度分布曲线结合而成的复合强度分布曲线，并将其结果设定为特定波长的输出强度；积分反射度设定步骤，将把特定波长输出强度除以特定波长输入强度的商作为针对特定波长的薄膜层的积分反射度；及积分反射度分布曲线生成步骤，边改变特定波长，边重复执行输入强度设定步骤、输出强度设定步骤及积分反射度设定步骤，以生成用于表示基于波长变化的积分反射度分布的积分反射度分布曲线。
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公开(公告)号：CN105492861B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201480046738.X
申请日：2014-09-23
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明涉及厚度检测装置，本发明的厚度检测装置利用反射光度计(Reflectometer)，其特征在于包括：光源，用于发射光；滤光部，接收从所述光源发射的光后，相对于不同的多个频率选择性地透射所述光而调制为具有强度分布的光，并能调节所述具有强度分布的光的波长宽度；光学系统，将由所述滤光部调制后的光向检测对象侧照射，并且接收从所述检测对象侧反射的光；光检测部，接收通过所述光学系统的光，并获得反射度信息；及控制部，通过设定能够透射所述滤光部的多个频率来调节由所述滤光部调制的光的波长宽度，并且通过比较理论反射度信息和由所述光检测部获得的反射度信息来检测检测对象的厚度，所述理论反射度信息通过数学式建模后预先被储存。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103890896B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201180073722.4
申请日：2011-09-28
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/28 , H01J2237/24535
Abstract: 本发明涉及扫描电子显微镜及利用它的原电子及次级电子电流量的检测方法，扫描电子显微镜的特征在于包括：镜筒，在内部形成有收容空间；源头，设置在所述镜筒的内部，用于向所述镜筒的外部的试样产生带电的原电子；过滤器，在所述镜筒的内部设置在所述源头的下部，用于改变所述原电子及所述原电子与所述试样冲撞后发射的次级电子的移动路径；第一检测器，设置在所述过滤器和所述试样之间的所述镜筒的内部，用于检测通过在所述过滤器中产生的电磁场的作用下改变移动路径的所述原电子产生的电流量；第二检测器，设置在所述源头和所述过滤器之间的所述镜筒的内部，用于检测通过所述过滤器改变移动路径的所述次级电子；过滤器控制部，用于控制所述过滤器，以使所述过滤器选择性地改变所述原电子及所述次级电子的移动路径。由此提供保证检查作业的效率性且装置的整体大小小型化的扫描电子显微镜及利用它的原电子电流量的检测方法。
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公开(公告)号：CN103579037B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201310311671.5
申请日：2013-07-23
Applicant: SNU精度株式会社
Abstract: 本发明公开了一种利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。本发明的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法，包括：光源，用于放射光线；光分束器，用于反射从光源放射的光线或者通过被检测对象反射的光线；透镜部，用于将被光分束器反射的光线汇聚到检测对象；反射型光路变换部，用于有选择地反射从光分束器透射的光线；分光器，用于分析从反射型光路变换部反射的光线以获取所述检测对象的厚度信息。因此根据本发明，提供一种利用光线的反射能够使光损失最小化，并且能够同时检测多个检测区域厚度的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。
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公开(公告)号：CN103460368B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201280018215.5
申请日：2012-04-13
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01B11/24 , G01B2210/56 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及一种TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法，本发明的TSV检测用干涉仪在检测TSV时，利用可变视场光阑检测TSV的直径及深度，从而能够缩短检测时间，并且减少结果数据容量，其中可变视场光阑将光线的焦点调节到TSV的入口和底面。而且，本发明利用远心透镜，从而即使在如TSV那样纵横比大的情况下也能确保到达底面的光量，从而提高检测精度，其中远心透镜使向TSV入射的光线实质上成为直线光。
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公开(公告)号：CN103890896A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201180073722.4
申请日：2011-09-28
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/28 , H01J2237/24535
Abstract: 本发明涉及扫描电子显微镜及利用它的原电子及次级电子电流量的检测方法，扫描电子显微镜的特征在于包括：镜筒，在内部形成有收容空间；源头，设置在所述镜筒的内部，用于向所述镜筒的外部的试样产生带电的原电子；过滤器，在所述镜筒的内部设置在所述源头的下部，用于改变所述原电子及所述原电子与所述试样冲撞后发射的次级电子的移动路径；第一检测器，设置在所述过滤器和所述试样之间的所述镜筒的内部，用于检测通过在所述过滤器中产生的电磁场的作用下改变移动路径的所述原电子产生的电流量；第二检测器，设置在所述源头和所述过滤器之间的所述镜筒的内部，用于检测通过所述过滤器改变移动路径的所述次级电子；过滤器控制部，用于控制所述过滤器，以使所述过滤器选择性地改变所述原电子及所述次级电子的移动路径。由此提供保证检查作业的效率性且装置的整体大小小型化的扫描电子显微镜及利用它的原电子电流量的检测方法。
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公开(公告)号：CN102439415B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201080016220.3
申请日：2010-04-06
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/002 , G01N21/956 , G01N2021/8887
Abstract: 本发明涉及影像对中方法，包括：登录阶段，用第一倍率光学系拍摄检测对象后在拍摄到的第一倍率图像中设定欲寻找的检测区域位置并登录为原型图像；拍摄阶段，用倍率比第一倍率高的第二倍率光学系按规定顺序拍摄检测对象而获得目标图像；缩小阶段，将在拍摄阶段获得的目标图像缩小成第一倍率大小并登录为检测图像；匹配阶段，在原型图像中检索检测图像；对中阶段，若通过匹配阶段检测到检测图像则移动第二倍率光学系或检测对象，使之对应于在登录阶段设定的检测区域的位置。这样即使没有光学系的比率转换也能迅速获得最终图像。而在随着检索过程中的移动而登录的目标图像中只显示原型图像的一部分或者不显示时也能获得检测区域位于中央的最终图像。
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