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公开(公告)号：CN102339738A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201110182983.1
申请日：2011-06-27
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01L21/268
CPC classification number: H01L21/268
Abstract: 一种激光辐照设备，其沿扫描方向向包括多个像素区域的半导体层提供激光束。所述激光辐照设备包括：至少一个激光掩膜，包括分别与所述多个像素区域的部分面对的多个狭缝组；以及激光发生器，产生穿过所述至少一个激光掩膜的所述多个狭缝组的所述激光束。
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