平板显示设备及其制造方法

    公开(公告)号:CN102142427A

    公开(公告)日:2011-08-03

    申请号:CN201010588327.7

    申请日:2010-11-30

    CPC classification number: H01L51/5262 G02F1/1368 H01L27/3258

    Abstract: 公开平板显示设备及其制造方法。在实施例中,平板显示设备包括:i)第一基板,ii)形成在第一基板上方的有源层,其中有源层包括源区、漏区和沟道区,iii)形成在有源层上的栅极绝缘层,iv)形成在栅极绝缘层上并在有源层的沟道区上方的栅电极以及v)形成在栅极绝缘层和栅电极上的第一层间绝缘膜。该设备可进一步包括1)通过接触孔分别电连接至有源层的源区和漏区的源电极和漏电极,其中接触孔形成在第一层间绝缘膜和栅极绝缘层中,2)仅插入i)第一层间绝缘膜与ii)源电极和漏电极之间的第二层间绝缘膜,3)形成在第一层间绝缘膜以及源电极和漏电极上的平坦层以及4)通过形成在平坦层中的通孔电连接至源电极或漏电极的像素电极。

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