具有晒版器件的激光诱导热成像装置

    公开(公告)号:CN100577440C

    公开(公告)日:2010-01-06

    申请号:CN200610146554.8

    申请日:2006-11-15

    Abstract: 本发明公开了一种激光诱导热成像(LITI)装置及使用该LITI装置制造电子器件的方法。LITI装置包括腔体、基底支撑件、晒版器件和激光源或振荡器。LITI装置将可转印层从膜供体器件转印到中间电子器件的表面上。LITI装置利用磁力来提供可转印层和中间器件表面之间的紧密接触。在LITI装置的彼此分隔地将可转印层和中间器件表面置于其间的两个组件中形成的磁性材料产生磁力。磁体或磁性材料形成在下面的LITI装置的两个组件中:1)中间器件和膜供体器件;2)中间器件和晒版器件;3)基底支撑件和膜供体器件;4)基底支撑件和晒版器件。

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