有机发光显示器件的制造方法

    公开(公告)号:CN100540326C

    公开(公告)日:2009-09-16

    申请号:CN200610146555.2

    申请日:2006-11-15

    Abstract: 本发明公开了一种激光诱导热成像(LITI)装置及使用该LITI装置制造电子器件的方法。LITI装置包括腔体、基底支撑件、晒版器件和激光源或振荡器。LITI装置将可转印层从膜供体器件转印到中间电子器件的表面上。LITI装置利用磁力来提供可转印层和中间器件表面之间的紧密接触。通过形成在LITI装置的彼此分隔的两个组件中的磁性材料产生磁力,可转印层和中间器件表面置于这两个组件之间。磁体或磁性材料形成在LITI装置的两个下面的组件中:1)中间器件和膜供体器件;2)中间器件和晒版器件;3)基底支撑件和膜供体器件;或4)基底支撑件和晒版器件。

    激光诱导热成像装置、方法和制造有机发光二极管的方法

    公开(公告)号:CN101186160B

    公开(公告)日:2011-07-06

    申请号:CN200610138193.2

    申请日:2006-11-16

    CPC classification number: B41J2/447 H01L51/0013 H01L51/56

    Abstract: 一种激光诱导热成像装置和激光诱导热成像方法,其能够利用磁力将供体薄膜均匀地粘合到受体基板上,以实现有效的激光诱导热成像方法;以及一种利用该激光诱导热成像方法来制造有机发光二极管的方法。所述激光诱导热成像装置包括室,其中设置有具有磁性物质的接触框架,以朝向包含磁体的受体基板挤压,所述受体基板设置于基板台上,所述供体薄膜设置于所述受体基板和所述接触框架之间;以及通过所述接触框架中的开口照射所述供体薄膜的激光振荡器。由此,所述激光诱导热成像装置提高了所述受体薄膜与所述基板之间的粘合力,从而生产出具有改进的寿命、产量和可靠性的有机发光二极管。

    用于平板显示器薄膜沉积的掩模框架组件和使用该组件的沉积设备

    公开(公告)号:CN101280411B

    公开(公告)日:2011-06-29

    申请号:CN200810089856.5

    申请日:2008-04-03

    Inventor: 金善浩 鲁硕原

    Abstract: 提供了一种用于平板显示器的薄膜沉积的掩模框架组件及使用该组件的沉积设备,包括设置有具有多个开口的图样部分的图样掩模;与图样掩模的下边缘部分连接以支撑图样掩模的第一框架;和沿水平或竖直方向与第一框架连接的第二框架。用于薄膜沉积的掩模框架组件安装到沉积设备,所述沉积设备用于沉积有机发光显示器的有机发射层,从而在基底上沉积薄膜的特定图样。此时,第二框架由质量小于形成第一框架的SUS或因瓦材料的质量的金属和合金之一形成,从而实现用于薄膜组件的轻质掩模框架组件。因此,可以易于搬运用于薄膜组件的轻质掩模框架组件,并减少设置在沉积设备中的运输设备的重量载荷,从而提高生产率。

    具有晒版器件的激光诱导热成像装置

    公开(公告)号:CN100577440C

    公开(公告)日:2010-01-06

    申请号:CN200610146554.8

    申请日:2006-11-15

    Abstract: 本发明公开了一种激光诱导热成像(LITI)装置及使用该LITI装置制造电子器件的方法。LITI装置包括腔体、基底支撑件、晒版器件和激光源或振荡器。LITI装置将可转印层从膜供体器件转印到中间电子器件的表面上。LITI装置利用磁力来提供可转印层和中间器件表面之间的紧密接触。在LITI装置的彼此分隔地将可转印层和中间器件表面置于其间的两个组件中形成的磁性材料产生磁力。磁体或磁性材料形成在下面的LITI装置的两个组件中:1)中间器件和膜供体器件;2)中间器件和晒版器件;3)基底支撑件和膜供体器件;4)基底支撑件和晒版器件。

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