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公开(公告)号:CN1783602A
公开(公告)日:2006-06-07
申请号:CN200510124749.8
申请日:2002-04-24
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01S3/2316 , H01S3/08072 , H01S3/0941 , H01S3/10007 , H01S3/1022
Abstract: 本发明的目的是降低从激光装置中输出的激光光束的激光光束直径和光束曲率因激发强度不同引起的变化。配置在比多个光束腰中两端的光束腰更靠近端侧的激光活性媒质的至少一方的激光活性媒质的总激发能量,大致为配置在多个光束腰中相邻的两个光束腰之间的激光活性媒质的总激发能量的二分之一。
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公开(公告)号:CN113615014B
公开(公告)日:2023-12-08
申请号:CN201980094640.4
申请日:2019-03-29
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 特征在于,具有:多个半导体激光元件(1011、1012),其射出波长彼此不同的激光(2001、2002);部分反射元件(104),其与多个半导体激光元件(1011、1012)构成外部谐振器的两端;透射型波长色散元件(103),其在多个半导体激光元件(1011、1012)及部分反射元件(104)之间的激光的光路上,配置于多个激光(2001、2002)重叠起来的位置,具有波长色散性,通过在包含多个激光(2001、2002)的光轴的第1面(XY面)内,使多个激光(2001、2002)的行进方向变化,从而使多个激光共有光轴、进行耦合;以及非对称折射光学元件(105),其配置于透射型波长色散元件(103)及部分反射元件(104)之间的光路上,与包含于第1面(XY面)且与激光的光轴正交的方向即第1朝向(D1)上的位置变化相伴地,从内部通过的距离即元件内通过距离减少。
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公开(公告)号:CN113615014A
公开(公告)日:2021-11-05
申请号:CN201980094640.4
申请日:2019-03-29
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 特征在于,具有:多个半导体激光元件(1011、1012),其射出波长彼此不同的激光(2001、2002);部分反射元件(104),其与多个半导体激光元件(1011、1012)构成外部谐振器的两端;透射型波长色散元件(103),其在多个半导体激光元件(1011、1012)及部分反射元件(104)之间的激光的光路上,配置于多个激光(2001、2002)重叠起来的位置,具有波长色散性,通过在包含多个激光(2001、2002)的光轴的第1面(XY面)内,使多个激光(2001、2002)的行进方向变化,从而使多个激光共有光轴、进行耦合;以及非对称折射光学元件(105),其配置于透射型波长色散元件(103)及部分反射元件(104)之间的光路上,与包含于第1面(XY面)且与激光的光轴正交的方向即第1朝向(D1)上的位置变化相伴地,从内部通过的距离即元件内通过距离减少。
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公开(公告)号:CN105940577A
公开(公告)日:2016-09-14
申请号:CN201580006615.8
申请日:2015-01-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S5/40 , H01S5/0683 , B23K26/06 , B23K26/70
CPC classification number: H01S5/4012 , B23K26/0613 , B23K26/705 , C03B23/20 , H01S3/08059 , H01S5/06825 , H01S5/0683 , H01S5/14 , H01S5/143 , H01S5/4025 , H01S5/4062 , H01S5/4087
Abstract: 提供一种光束耦合装置等,该光束耦合装置使来自多个光源以及1个或多个预备光源的光束射入至光束耦合光学系统,在经过光束耦合元件后进行耦合而输出,其中,对所述多个光源的故障进行检测,使所述各光源、预备光源以及所述光束耦合光学系统之中的至少一部分移动,取代发生了故障的所述光源的光束而从所述预备光源使光束射入至所述光束耦合光学系统,并在所述光束耦合元件后的光路与来自所述多个光源的光束耦合。
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公开(公告)号:CN102893409A
公开(公告)日:2013-01-23
申请号:CN201080066804.1
申请日:2010-05-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/18 , H01L31/02363 , Y02E10/50
Abstract: 为了高速且高精度地形成逆金字塔状的纹理构造,利用抗蚀刻膜的激光构图和湿蚀刻而在使用了单晶硅的光电动势装置表面形成防反射纹理时,使用脉冲激光和激光波束分支部件,在成为所期望的金字塔状凹部的底面的正方形的对角线方向上加工多个激光孔,使各正方形之间的激光孔的间距大于所述对角线上的间距。
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公开(公告)号:CN1751420A
公开(公告)日:2006-03-22
申请号:CN03826101.4
申请日:2003-03-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/042 , H01S3/0941
CPC classification number: H01S3/025 , H01S3/0407 , H01S3/042 , H01S3/061 , H01S3/094084 , H01S3/0941 , H01S3/1611 , H01S3/1643
Abstract: 本发明的激光振荡器,具有:聚光器单元块,其具有收容激光介质的通孔,设置用于向该通孔导入来自于激励光源模块的激励光的开口;端板,其固定于该聚光器单元块的端部,形成使冷却水导入上述聚光器单元块及上述激励光源模块的冷却水路;流管,其由该端板固定及密封,形成对上述激光介质的冷却水路;以及激励光源模块,其与上述端板的激励光源模块侧冷却水路连通,形成冷却激励光源的冷却水路。
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公开(公告)号:CN105940577B
公开(公告)日:2019-01-18
申请号:CN201580006615.8
申请日:2015-01-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S5/40 , H01S5/0683 , B23K26/06 , B23K26/70
Abstract: 提供一种光束耦合装置等,该光束耦合装置使来自多个光源以及1个或多个预备光源的光束射入至光束耦合光学系统,在经过光束耦合元件后进行耦合而输出,其中,对所述多个光源的故障进行检测,使所述各光源、预备光源以及所述光束耦合光学系统之中的至少一部分移动,取代发生了故障的所述光源的光束而从所述预备光源使光束射入至所述光束耦合光学系统,并在所述光束耦合元件后的光路与来自所述多个光源的光束耦合。
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公开(公告)号:CN105705468B
公开(公告)日:2018-11-16
申请号:CN201480059234.1
申请日:2014-10-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C03B33/0222 , B23K26/0006 , B23K26/16 , B23K26/382 , B23K26/40 , B23K2103/50 , B23K2103/54 , C03B33/074 , C03B33/082
Abstract: 本发明得到一种激光加工方法,该激光加工方法能够减小在玻璃(2)发生的翘曲,并减小在将保护件(3)从玻璃(2)剥离时在玻璃(2)发生的应力。具有下述工序:保护件形成工序,在玻璃(2)的双面形成保护件(3);激光加工工序,在保护件形成工序之后,对玻璃(2)与保护件(3)一起照射激光(101)而对玻璃(2)进行加工;以及保护件剥离工序,在激光加工工序之后,从玻璃(2)将保护件(3)剥离。
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公开(公告)号:CN105705468A
公开(公告)日:2016-06-22
申请号:CN201480059234.1
申请日:2014-10-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C03B33/0222 , B23K26/0006 , B23K26/16 , B23K26/382 , B23K26/40 , B23K2103/50 , B23K2103/54 , C03B33/074 , C03B33/082
Abstract: 本发明得到一种激光加工方法,该激光加工方法能够减小在玻璃(2)发生的翘曲,并减小在将保护件(3)从玻璃(2)剥离时在玻璃(2)发生的应力。具有下述工序:保护件形成工序,在玻璃(2)的双面形成保护件(3);激光加工工序,在保护件形成工序之后,对玻璃(2)与保护件(3)一起照射激光(101)而对玻璃(2)进行加工;以及保护件剥离工序,在激光加工工序之后,从玻璃(2)将保护件(3)剥离。
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公开(公告)号:CN103459083B
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:CN201280015595.7
申请日:2012-03-13
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23K26/00 , B23K26/046 , B23K26/0643 , B23K26/0665 , B23K26/707
Abstract: 为了将焦距自动调整装置设为单纯的结构来得到廉价的激光加工装置,具备:加工透镜(3),使激光(2)聚光到加工对象(9);焦距调整单元(4)、(6),调整加工透镜(3)的焦距;接触式的温度传感器(5),具有从加工透镜(3)的激光(2)的入射侧的中心沿着径向在一个直线上设置于不被照射激光(2)的透镜表面、且距加工透镜(3)的中心的距离不同的第1以及第2温度测定点,用第1以及第2温度测定点检测温度差;以及控制装置(7)、(8),根据与由温度传感器(5)检测出的温度差对应的电位差计算加工透镜的热透镜的大小,根据所计算出的热透镜的大小,以使聚光到加工对象的激光的束径成为恒定的方式计算焦距校正量,对焦距调整单元(6)输出控制信号。
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