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公开(公告)号：CN103999301B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280060355.9
申请日：2012-10-23
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： H01S3/2232 , B23K26/06 , B23K26/0626 , B23K26/064 , B23K26/066 , G02F1/11 , H01S3/036 , H01S3/076 , H01S3/08 , H01S3/08054 , H01S3/0816 , H01S3/0971 , H01S3/117 , H01S3/2325 , H01S3/2366
摘要： 得到一种CO2激光装置及CO2激光加工装置，其射出高输出、且光束直径稳定而不依赖于重复频率的脉冲激光。具有：激光气体(G)，其成为CO2激光介质；近同心型的稳定型光共振器，其将至少1个共振器反射镜的曲率半径设置为与从光开关至共振器反射镜为止的距离相等；光开关，其设置在稳定型光共振器内；以及传输反射镜(51～56)，其设置为使从稳定型光共振器产生的激光(41)再次通过CO2激光介质。
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公开(公告)号：CN103459083B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201280015595.7
申请日：2012-03-13
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： B23K26/00 , B23K26/046 , B23K26/0643 , B23K26/0665 , B23K26/707
摘要： 为了将焦距自动调整装置设为单纯的结构来得到廉价的激光加工装置，具备：加工透镜（3），使激光（2）聚光到加工对象（9）；焦距调整单元（4）、（6），调整加工透镜（3）的焦距；接触式的温度传感器（5），具有从加工透镜（3）的激光（2）的入射侧的中心沿着径向在一个直线上设置于不被照射激光（2）的透镜表面、且距加工透镜（3）的中心的距离不同的第1以及第2温度测定点，用第1以及第2温度测定点检测温度差；以及控制装置（7）、（8），根据与由温度传感器（5）检测出的温度差对应的电位差计算加工透镜的热透镜的大小，根据所计算出的热透镜的大小，以使聚光到加工对象的激光的束径成为恒定的方式计算焦距校正量，对焦距调整单元（6）输出控制信号。
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公开(公告)号：CN103459083A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201280015595.7
申请日：2012-03-13
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： B23K26/00 , B23K26/046 , B23K26/0643 , B23K26/0665 , B23K26/707
摘要： 为了将焦距自动调整装置设为单纯的结构来得到廉价的激光加工装置，具备：加工透镜（3），使激光（2）聚光到加工对象（9）；焦距调整单元（4）、（6），调整加工透镜（3）的焦距；接触式的温度传感器（5），具有从加工透镜（3）的激光（2）的入射侧的中心沿着径向在一个直线上设置于不被照射激光（2）的透镜表面、且距加工透镜（3）的中心的距离不同的第1以及第2温度测定点，用第1以及第2温度测定点检测温度差；以及控制装置（7）、（8），根据与由温度传感器（5）检测出的温度差对应的电位差计算加工透镜的热透镜的大小，根据所计算出的热透镜的大小，以使聚光到加工对象的激光的束径成为恒定的方式计算焦距校正量，对焦距调整单元（6）输出控制信号。
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公开(公告)号：CN1146027C
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN00118744.9
申请日：2000-06-23
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： H01L21/324 , C30B33/02 , B23K26/06
CPC分类号： B23K26/0732 , B23K2101/40 , H01L21/02675 , H01L21/2026
摘要： 光学系统及其装置和使用该光学系统制造半导体装置的方法。在激光热处理方法中，提供控制形成高性能薄膜用的激光照射剖面的光学系统。在向形成于基板上的膜上照射长方形束的光学系统中，通过用强度分布成形装置使长度方向的强度分布均匀，短边方向保持振荡激光的定向性等向的结构，能在振荡激光性质限制的界限内进行聚光，在基板上的膜上得到最大限度的强度梯度。因此，可在基板上的膜上形成陡峻的温度分布，其结果，可形成高性能薄膜。
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公开(公告)号：CN1124917C
公开(公告)日：2003-10-22
申请号：CN97182515.7
申请日：1997-12-26
申请人： 三菱电机株式会社
摘要： 本发明揭示一种激光加工装置，包括变化由激光振荡器输出的激光的方向的偏转装置，以及使由前述偏转装置射入的激光折射而在加工对象工件上成像的聚焦透镜。在这种激光加工装置中，组入根据聚焦透镜温度、使由多片的透镜组成的聚焦透镜的透镜间的相对位置变化的透镜位置调整装置，根据聚焦透镜温度、使多片的透镜间的相对位置变化、以便根据透镜位置调整装置、消除透镜的折射率的温度变化。
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公开(公告)号：CN110337763B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201780077849.0
申请日：2017-01-20
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： H01S5/14
摘要： 本发明提供一种激光装置(100－1)，其与产生波长彼此不同的激光束的多个激光介质(11)，使从多个激光介质(11)各自射出的激光束通过重叠透镜(2)在分散元件(3)上重叠为1个而进行耦合，在该激光装置(100－1)中，分散元件(3)配置在通过重叠透镜(2)将多个激光束重叠为1个的位置，并且使多个激光束的一部分作为第1激光束而向激光介质(11)侧返回，使多个激光束的一部分作为具有1个光轴的第2激光束而输出。
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公开(公告)号：CN110036543A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201780074525.1
申请日：2017-02-13
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： H01S3/082
摘要： 激光振荡装置(100)具备外部共振器(10)，该外部共振器(10)由激光介质(11、12)和部分反射镜(14)构成，该激光介质(11、12)发出的激光束的波长不同，该部分反射镜(14)使激光束的一部分透过并且对剩余进行反射而返回至激光介质(11、12)侧，在外部共振器(10)的内部配置有：衍射光栅(13)，其将从激光介质(11、12)发出的波长不同的多个激光束重叠为1个，使其进行波长耦合而向部分反射镜(14)射出；以及棱镜(15)，其配置于激光介质(11、12)和衍射光栅(13)之间，将多个激光束在衍射光栅(13)之上重叠为1个，并且形成顶角的2个面的一个是入射面，另一个面是出射面。
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公开(公告)号：CN107925218A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201580082167.X
申请日：2015-12-25
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： H01S5/146 , H01S3/08027 , H01S3/0805 , H01S5/0071 , H01S5/0078 , H01S5/02288 , H01S5/141 , H01S5/143 , H01S5/22 , H01S5/4031 , H01S5/4062 , H01S5/4068 , H01S5/4087
摘要： 具有：半导体激光条(11)，其从连续的发光区域射出波长不同的多个光束；聚光光学系统(13)，其对多个光束进行聚光；波长色散光学元件(14)，其具有波长色散功能；光学滤光器(15)，透过该光学滤光器(15)的光束的波长周期性地改变；光阑(16)，其配置在叠加于同一轴之上的多个光束的光路之上；以及部分反射镜(17)，在半导体激光条(11)的背面形成有全反射镜(19)，被全反射镜(19)反射而从半导体激光条(11)射出的波长不同的多个光束各自的波长与从光学滤光器(15)透过的波长相同。
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公开(公告)号：CN102448660A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201080023011.1
申请日：2010-05-14
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： B23K26/08 , B23K26/06 , B23K26/073 , B23K26/38 , H01S3/00 , B23K103/04
CPC分类号： B23K26/38 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/073 , B23K2101/18 , B23K2103/04 , H01S2301/206
摘要： 具有：光纤激光振荡器(19)，其振荡形成缩顶形状的激光；聚光透镜(16)及加工头(13)，其以下述方式将缩顶形状的激光(15)聚光，并向被加工物(22)照射，即，使与加工对象的加工阈值相对应的光强度的位置处的缩顶形状的激光(15)的光束直径，成为具有与缩顶形状的激光(15)大致相同的光束品质的高斯模式的激光的光束直径的大约3倍，聚光透镜(16)以焦点深度成为加工对象的厚度的大约1/3的方式使激光(15)聚光，其中，焦点深度表示相对于与加工对象的加工阈值相对应的光强度的位置处的激光(15)的光束直径的最小值，光束直径成为该最小值的倍的焦点位置范围。
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公开(公告)号：CN101384953B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN200780006027.X
申请日：2007-03-14
申请人： 国立大学法人大阪大学 , 三菱电机株式会社
IPC分类号： G02F1/37
CPC分类号： G02F1/37 , G02F1/3551 , G02F2001/3505 , G02F2001/354
摘要： 本发明提供一种输出特性能够与入射强度相应地增加且能够在室温下使用的波长转换光学元件。本发明的波长转换光学元件是包含硼酸铯锂系列结晶的波长转换光学元件，其特征在于，上述结晶中的水杂质的含有量是如下这样的含有量，即在将上述结晶加工为Nd:YAG激光的4倍高次谐波发生方位的光学元件且长度为10mm的光学元件时，将上述光学元件的红外透射频谱中的3589cm-1的透射率(Ta)作为指标，透射率(Ta)与偏振光方向无关且不考虑在光学研磨表面上的损失时的实测值为1％以上的含有量。
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