公开(公告)号：CN115738936A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211626278.0

申请日：2022-12-16

申请人： 上海交通大学

发明人： 刘景全 ,  涂柯俊 ,  文惠敏 ,  胡之勇 ,  阮涛 ,  林祖德 ,  王晓林 ,  刘武

IPC分类号： B01J13/02

摘要： 本发明提供一种CD‑CH聚合物复合空心微球及其制备方法，所述方法包括：采用微流控方法制备CD微球；所述CD微球依次经旋转固化、清洗、干燥处理，得到CD空心微球；筛选符合预设条件的CD空心微球，通过气相沉积的方式在CD空心微球上制备CH层，得到CD‑CH聚合物复合空心微球。本发明的制备方法具有简单高效、球壳内径和不同层厚度可控、易于批量化的优点，所制备的CD‑CH聚合物复合空心微球适用于惯性约束聚变实验。

公开(公告)号：CN112689227B

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202011534464.2

申请日：2020-12-22

申请人： 上海交通大学

发明人： 刘景全 ,  王淇 ,  阮涛

IPC分类号： H04R19/02 ,  H04R31/00

摘要： 本发明提供一种仿耳蜗螺旋形振动膜结构的压电MEMS扬声器及其制备方法，包括：基底，基底的底部设有背部腔，背部腔的腔室呈仿耳蜗螺旋形；第一电极设置于基底的上表面，且第一电极与背部腔的腔室间隔致动层；压电层设置于第一电极的上表面；第二电极设置于压电层上；由致动层、第一电极、压电层及第二电极构成仿耳蜗螺旋形振动膜，且仿耳蜗螺旋形振动膜与背部腔的位置上下对应且形状相匹配。本发明实现了在一个仿耳蜗螺旋形腔室结构上，有多个共振频率覆盖在20Hz‑20000Hz之间的高声压级压电MEMS扬声器；仿耳蜗螺旋形振动膜完全覆盖了人耳能够听到的音频范围，能达到足够满足商业应用的声压级，可用于手机扬声器，耳机，助听器等可穿戴电子设备。