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公开(公告)号：CN115463803A
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202111532888.X
申请日：2021-12-15
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供一种化学气相沉积装置以及高厚度Parylene‑N膜的制备方法，该装置包括通过管道依次相连的蒸发室、裂解炉、沉积室和冷阱；所述冷阱通过真空泵与所述沉积室连通；所述沉积室的底部设有用于与所述冷阱连通的连通口，所述连通口处设有节流片，所述节流片用于调节所述连通口的大小；所述沉积室内还设有降温平台，所述降温平台位于所述沉积室的腔室底部，所述降温平台用于降低衬底的温度。本发明的高厚度Parylene‑N膜的制备方法，使用该装置，并通过控制裂解温度和沉积压力等参数，可以实现微米级别的Parylene‑N膜的快速沉积，且只需要在常见的Parylene沉积设备上进行改进和调节参数即可实现，有利于减少制造成本。
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公开(公告)号：CN112637748B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202011534438.X
申请日：2020-12-22
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供一种双环形环绕圆形振动膜结构的压电MEMS扬声器及其制备方法，包括：由第一电极层、压电层、第二电极以及致动层构成振动膜层；振动膜层设有圆形振动膜、第一环形振动膜及第二环形振动膜；圆形振动膜位于振动膜层的中心位置，第一环形振动膜套设于圆形振动膜的外层；第二环形振动膜套设于第一环形振动膜的外层；圆形振动膜与第一环形振动膜之间设有第一沟槽间隙；第一环形振动膜与第二环形振动膜之间设有第二沟槽间隙；圆形振动膜、第一、第二环形振动膜通过支撑梁连接；基底的背面设有背部腔；背部腔与第一、第二沟槽间隙连通。本发明在一整体单元上分布三个不同共振频率的振动膜，完全覆盖人耳能听到的20‑20000Hz频率范围，达到商业应用的声压级。
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公开(公告)号：CN115463803B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202111532888.X
申请日：2021-12-15
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供一种化学气相沉积装置以及高厚度Parylene‑N膜的制备方法，该装置包括通过管道依次相连的蒸发室、裂解炉、沉积室和冷阱；所述冷阱通过真空泵与所述沉积室连通；所述沉积室的底部设有用于与所述冷阱连通的连通口，所述连通口处设有节流片，所述节流片用于调节所述连通口的大小；所述沉积室内还设有降温平台，所述降温平台位于所述沉积室的腔室底部，所述降温平台用于降低衬底的温度。本发明的高厚度Parylene‑N膜的制备方法，使用该装置，并通过控制裂解温度和沉积压力等参数，可以实现微米级别的Parylene‑N膜的快速沉积，且只需要在常见的Parylene沉积设备上进行改进和调节参数即可实现，有利于减少制造成本。
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公开(公告)号：CN112870562A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110012155.7
申请日：2021-01-06
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： A61N7/00
摘要： 本发明提供一种植入式压电MEMS超声换能器及其制备方法，包括：设有压电MEMS超声换能器单元阵列的压电MEMS超声换能器基片，通过后端电路控制压电MEMS超声换能器单元阵列进行三维超声聚焦，实现对颅内的指定位置或多个位置进行聚焦超声刺激和超声成像；用于将压电MEMS超声换能器基片植入颅内的植入衬底；植入衬底的上面与压电MEMS超声换能器基片的底面键合在一起；植入衬底上表面设有多个用于采集脑电信号的采集电极，采集电极分布于压电MEMS超声换能器基片两侧；根据采集电极采集的脑电信号和反射的超声波，判断是否达到刺激效果。本发明实现植入式三维空间的超声聚焦刺激，刺激效果好；同时实现三维空间的超声成像，从而可分析刺激效果。
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公开(公告)号：CN112637748A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011534438.X
申请日：2020-12-22
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供一种双环形环绕圆形振动膜结构的压电MEMS扬声器及其制备方法，包括：由第一电极层、压电层、第二电极以及致动层构成振动膜层；振动膜层设有圆形振动膜、第一环形振动膜及第二环形振动膜；圆形振动膜位于振动膜层的中心位置，第一环形振动膜套设于圆形振动膜的外层；第二环形振动膜套设于第一环形振动膜的外层；圆形振动膜与第一环形振动膜之间设有第一沟槽间隙；第一环形振动膜与第二环形振动膜之间设有第二沟槽间隙；圆形振动膜、第一、第二环形振动膜通过支撑梁连接；基底的背面设有背部腔；背部腔与第一、第二沟槽间隙连通。本发明在一整体单元上分布三个不同共振频率的振动膜，完全覆盖人耳能听到的20‑20000Hz频率范围，达到商业应用的声压级。
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公开(公告)号：CN112689227A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011534464.2
申请日：2020-12-22
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供一种仿耳蜗螺旋形振动膜结构的压电MEMS扬声器及其制备方法，包括：基底，基底的底部设有背部腔，背部腔的腔室呈仿耳蜗螺旋形；第一电极设置于基底的上表面，且第一电极与背部腔的腔室间隔致动层；压电层设置于第一电极的上表面；第二电极设置于压电层上；由致动层、第一电极、压电层及第二电极构成仿耳蜗螺旋形振动膜，且仿耳蜗螺旋形振动膜与背部腔的位置上下对应且形状相匹配。本发明实现了在一个仿耳蜗螺旋形腔室结构上，有多个共振频率覆盖在20Hz‑20000Hz之间的高声压级压电MEMS扬声器；仿耳蜗螺旋形振动膜完全覆盖了人耳能够听到的音频范围，能达到足够满足商业应用的声压级，可用于手机扬声器，耳机，助听器等可穿戴电子设备。
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公开(公告)号：CN117542547A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311560316.1
申请日：2023-11-22
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G21B1/19
摘要： 本发明提供一种双锥对撞点火方案中调制球壳靶及其制备方法，所述方法包括：提供网孔板，网孔板具有多个微孔；在微孔中放置具有预设三维形状的微模具，并将微模具固定于网孔板上；在网孔板放置微模具的表面制作牺牲层；在牺牲层的表面制作聚合物薄膜；采用激光切割的方法对聚合物薄膜进行环形切割；去除牺牲层，得到具备预设三维形状的调制球壳靶。本发明调制球壳靶的表面结构可根据物理实验的需求而灵活多样，并且采用牺牲层的思想简化了球壳剥离过程；本发明对于双锥对撞点火方案中靶的制作提供了可靠的技术线路，满足了点火实验对各个结构参数靶的灵活需求和批量化生产要求，还可以提高调制球壳靶的制作成功率和制作速度。
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公开(公告)号：CN115971676A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211652770.5
申请日：2022-12-16
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/0622 , C23C16/22 , B01L3/00
摘要： 本发明提供一种双锥对撞点火中CD‑CH复合聚合物球冠及其制备方法，制备方法包括：采用微流控方法制备CD聚合物空心球；于所述CD聚合物空心球上沉积一层CH薄膜，形成CD‑CH复合聚合物空心球；采用激光留尾切割的方法对所述CD‑CH复合聚合物空心球进行切割；用端部尖锐的工具沿切割轮廓拨开，将切割后的CD‑CH复合聚合物球冠从所述CD‑CH复合聚合物空心球上剥离，得到双锥对撞点火中CD‑CH复合聚合物球冠。本发明解决了CD‑CH复合聚合物球冠制备中CH层厚度难以精确控制、切割球冠和取样难度大的问题，实现了高精度及可批量制备CD‑CH复合聚合物球冠。
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公开(公告)号：CN112870562B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202110012155.7
申请日：2021-01-06
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供一种植入式压电MEMS超声换能器及其制备方法，包括：设有压电MEMS超声换能器单元阵列的压电MEMS超声换能器基片，通过后端电路控制压电MEMS超声换能器单元阵列进行三维超声聚焦，实现对颅内的指定位置或多个位置进行聚焦超声刺激和超声成像；用于将压电MEMS超声换能器基片植入颅内的植入衬底；植入衬底的上面与压电MEMS超声换能器基片的底面键合在一起；植入衬底上表面设有多个用于采集脑电信号的采集电极，采集电极分布于压电MEMS超声换能器基片两侧；根据采集电极采集的脑电信号和反射的超声波，判断是否达到刺激效果。本发明实现植入式三维空间的超声聚焦刺激，刺激效果好；同时实现三维空间的超声成像，从而可分析刺激效果。
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公开(公告)号：CN116809363A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202211022991.4
申请日：2022-08-25
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： B06B1/06
摘要： 本发明提供一种仿郎之万振子的压电MEMS超声换能器及其制备方法，包括由下至上依次设置的第一硅层、第一电极层、压电层、第二电极层和第二硅层；其中：第一硅层上设有多个阵列单元，阵列单元之间通过沟槽隔开，沟槽贯穿压电层和第二电极层，第二电极层通过沟槽被划分为多个第二电极层单元；第二硅层包括多个呈台阶状的凸起结构，凸起结构分别位于第二电极层单元上；凸起结构包括同轴设置的上层第二硅层和下层第二硅层，上层第二硅层远离第二电极层单元；上层第二硅层的面积小于下层第二硅层的面积。本发明实现了仿郎之万振子的d33振动模态，本发明的压电MEMS超声换能器可以用于心内血管成像、指纹识别等小尺寸高精度的场合。
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