-
公开(公告)号：CN104893954A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510288041.X
申请日：2015-05-29
申请人： 上海交通大学
CPC分类号： C12Q1/686 , B01L3/5027 , B01L7/52
摘要： 本发明提供一种三温度区域通道内嵌连续流式叠层PCR芯片，其中：测温电极排布于上衬底的上表面；加热电极排布于下衬底的下表面；上、下衬底键合成一整体，所述反应通道由对称刻蚀于上衬底的下表面和下衬底的上表面的凹槽拼接形成。本发明将衬底按照PCR三个不同的反应区分为三个不同区域，不同区域保持一定距离，让反应液连续流过这三个不同区域，完成反应，在同一块反应区，温度分布均匀性较高，由于温度不再需要反复上升下降，反应总时间变短，节省时间。同时上下表面对称性排布反应通道，使测温元件与反应液距离变小，测温更准确。反应通道中使用微细软管约束反应液，可以减少气泡发生。
-
公开(公告)号：CN102519444B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201110383205.9
申请日：2011-11-25
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5776
摘要： 本发明公开一种微固体模态陀螺的AGC自激振荡驱动电路，由电荷放大器、移相器、放大器、带通滤波器和自动增益控制器五部分组成振荡回路。陀螺振动信号首先通过电荷放大器的接收和增强，然后通过移相器将电荷放大器输出的信号进行相位调整，使其满足闭环驱动电路自激振荡条件；信号通过放大器进行放大，再经过带通滤波器进行选频；通过带通滤波器的信号进入自动增益控制器，自动增益控制器将得到的信号幅值与参考信号幅值的差值来控制增益，最终得到恒幅、稳频的正弦驱动信号，使整个闭环驱动系统稳定。本发明能够为微固体模态陀螺提供恒幅、稳频的驱动信号，有效地解决了目前开环驱动电路中存在的问题。
-
公开(公告)号：CN102278983B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201110206942.1
申请日：2011-07-22
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5656 , G01C19/5663
摘要： 本发明涉及一种微机电技术领域的具有三角形振子的硅微陀螺仪及其制作方法，包括：一个具有三个振动梁的等边三角形振子，与振动梁平行且有一定间隙的驱动电极，位于驱动电极的两侧且与驱动梁平行的检测电极以及基板。该微陀螺的制作方法采用体硅微加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小，结构简单，加工工艺易于实现，能够同CMOS工艺兼容，抗冲击，不需要真空封装，适用于批量化生产。
-
公开(公告)号：CN102815399A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210282453.9
申请日：2012-08-09
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： B64C33/00
摘要： 本发明公开一种仿生微飞行器领域的仿蜂鸟扑翼微飞行器，包括：机架、减速齿轮组、电机、传动机构、平行轴结构以及一对翅膀。其中机架上面直接装配减速齿轮组、电机和平行轴结构；传动机构装配在减速齿轮组和平行轴结构之间，用来将减速齿轮组输出的连续转动转化成平行轴的往复转动；一对翅膀装配在平行轴结构上面，从而实现自身的拍打运动，并与其他部分形成一个完整的扑翼微飞行器。本发明中两翅膀的拍打运动完全对称，很大程度上减小了振动对飞行器性能的影响，降低了飞行器的控制难度；同时，本发明结构简洁合理，便于加工，更便于进行改进以完成各种复杂的任务。
-
公开(公告)号：CN102692221A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201210138147.8
申请日：2012-05-04
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/567
摘要： 本发明公开一种微固体模态陀螺闭环驱动与科氏力检测电路，包括闭环锁相稳幅驱动电路以及与其连接的科氏力检测电路，其中科氏力检测电路包括第二电荷放大器电路、第三电荷放大器电路、第四电荷放大器电路、第二等幅调相电路、第一放大器电路、差分电路、乘法器电路、低通滤波电路，第二放大器电路组成。本发明能够为微固体模态陀螺提供恒幅且跟踪陀螺谐振频率的驱动信号，保证陀螺时刻都处于谐振状态，减小因谐振频率漂移或振动幅值波动带来的误差，可以有效地解决目前开环驱动检测电路中存在的问题，同时能有效检测到微固体陀螺上的检测点电荷，分辨出科氏力效应引起的电荷变化，因而有效的检测出微固体陀螺在旋转时产生的科氏力效应。
-
公开(公告)号：CN102679967A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210139878.4
申请日：2012-05-07
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/56
摘要： 本发明涉及一种微机电技术领域的摇动质量块压电双轴微陀螺，它包括一个摇动质量块谐振子，支撑摇动质量块的基板，四个与基板边方向平行且具有间隙的驱动电极，四个与基板边方向平行检测电极。本发明利用摇动质量块谐振子的特殊振动模态，采用逆压电效应驱动，通过检测压电电极上的电压变化来检测两个基板面内方向的角速度，最后通过外围调解处理电路，得到基板面内两个方向的输入角速度。本发明采用MEMS微细加工工艺，结构简单，能实现双轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高。
-
公开(公告)号：CN102305627A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201110206948.9
申请日：2011-07-22
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/56
摘要： 本发明涉及一种微机电技术领域的具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪，包括：圆盘状压电振子，支撑圆柱，驱动电极，信号检测电极，模态检测电极和电位参考电极；圆盘状压电振子下表面和支撑圆柱相连，支撑圆柱另一端固定在基体上，驱动电极、信号检测电极以及模态检测电极位于圆盘状压电振子的上表面，电位参考电极位于圆盘状压电振子的下表面。本发明采用圆盘状压电振子的特殊模态，利用科氏加速度效应和压电效应来敏感平行于压电振子上下表面内的角速度。本发明采用MEMS微细加工技术，结构简单，能实现双轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高，功耗低，抗冲击性强，不需要真空封装，在恶劣的环境下能够很好的工作。
-
公开(公告)号：CN102288173A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110206941.7
申请日：2011-07-22
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明公开一种微机电技术领域的静电驱动电容检测的微固体模态陀螺，包括弹性微振子以及位于其周围的参考振动驱动电极、参考振动感应电极、科氏力感应电极，利用弹性微振子的两个兼并的特殊振动模态进行工作，即参考振动和感应振动模态，采用静电力进行驱动，可变电容机理来检测参考振动和科氏力感应振动。本发明中无独立的质量弹簧结构，具有高的抗冲击、抗震动能力，可用于恶劣环境中；工作频率高，利于增大微陀螺的测量带宽和降噪；可工作在大气环境下，减小了封装的难度，可靠性提高，生产成本减低；采用静电激励和电容检测，便于微固体模态陀螺和CMOS测控电路进行集成，易于批量化生产，同时也减小了寄生电阻或电容的影响。
-
公开(公告)号：CN102253238A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110086293.6
申请日：2011-04-07
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01P15/125 , B81C1/00
摘要： 一种微机电系统技术领域的静电悬浮六轴微加速度计及其制造方法，该微加速度计为下定子、悬浮质量块和上定子的三明治式三层键合结构，上定子和下定子均采用玻璃作为衬底，悬浮质量块位于上定子和下定子之间的键合空腔中，悬浮质量块所处的位置为键合空腔的中心且不与上定子或下定子接触以实现沿XYZ轴平移或绕XYZ轴转动，悬浮质量块的中心即为惯性坐标系OXYZ的原点O，OZ方向垂直于上下定子所在的平面。本发明基于非硅MEMS工艺制造得到采用方形质量块具有六轴加速度测量功能的高灵敏度静电悬浮微加速度计，该方法简便灵活且制造成本低。
-
公开(公告)号：CN100510629C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200610116291.6
申请日：2006-09-21
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种双定子静电稳定电磁悬浮微转动陀螺，属于微机电系统技术领域。本发明包括：上基体、上定子、微转子、下定子、下基体、密封圈。微转子是一种导电圆环。上定子设在上基体上，并和上基体形成固定联接；下定子设在下基体上，并和下基体形成固定联接；在下基体的外缘设有密封圈，并和下基体形成固定联接；密封圈和上基体通过键合工艺形成固定联接，在上定子和下定子上，由外而内均依次分布有稳定悬浮线圈外圈、传感电极、联接线稳定悬浮线圈内圈、旋转线圈，下定子中央还设有防粘着柱。本发明中引入了静电电极结构，这种结构能增加微转子悬浮后的侧向刚度及整个微陀螺系统的抗冲击能力，推广微陀螺的应用范围。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
128 条记录 (耗时 0.057 秒)